一种密封式保温视窗机构的制作方法

本实用新型涉及了监测设备技术领域，具体的是一种密封式保温视窗机构。

背景技术：

本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

视窗作为一种监测机构应用领域较为广泛，其中为了能够实时监测蚀刻设备的蚀刻过程，在蚀刻设备上安装有视窗是一种较为常见的技术手段。

蚀刻设备的工艺流程通常需要高浓度、强喷射性酸碱药水等化学物质进行支撑，上述的化学物质对人体或其他非防腐部件具有较强的腐蚀性，进而在蚀刻过程中保证蚀刻设备的密封性是必然的要求。其次，蚀刻过程需要有温度的保证，一般是恒温在55°左右，上述的温度是高于室温的，现有蚀刻设置中的视窗机构通常作为传导介质，较容易使得热量流失，对蚀刻工艺造成较大的影响。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现要素：

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种密封式保温视窗机构，采用密封件分别和第一玻璃盖层、第二玻璃盖层和第三玻璃盖层之间的配合，在实现视窗机构与刻蚀设备之间保持密封性的同时，还能够起到保温的作用，结构设计巧妙，降低生产成本。

本申请实施例公开了：一种密封式保温视窗机构，包括支撑件、沿透视方向间隔设置在所述支撑件上的第一玻璃盖层、第二玻璃盖层、第三玻璃盖层、设置在所述支撑件上第一密封件和第二密封件，

所述第一玻璃盖层与所述第一密封件对应设置，且能够与所述第一密封件抵接；

所述第二玻璃盖层和第三玻璃盖层分别与所述第二密封件对应设置，且能够与所述第二密封件抵接；

所述第一玻璃盖层、第二玻璃盖层、第三玻璃盖层以及支撑件形成一密封腔体；

其中，所述第二玻璃盖层和第三玻璃盖层能够在透视方向穿设的平面内相对移动，从而能够使得所述第二玻璃盖层和第三玻璃盖层的侧壁分别与所述支撑件的相对的两侧壁抵接。

进一步地，所述支撑件在透视方向上呈具有第一开口和第二开口的框体结构，所述第一玻璃盖层能够密封所述第一开口，两个所述第二玻璃盖层能够密封所述第二开口。

进一步地，所述支撑件的下端部与所述第一玻璃盖层的连接处在竖直方向上的高于所述支撑件的下端部与所述第二玻璃盖层的连接处。

进一步地，所述支撑件的下端部与所述第二玻璃盖层的连接处设置有回流孔，所述回流孔与所述密封腔体连通。

进一步地，所述第一玻璃盖层与所述支撑件的上部枢轴连接。

进一步地，所述第一玻璃盖层和所述第二玻璃盖层上均设置有用于供握持的手持把手。

进一步地，所述第二玻璃盖层和第三玻璃盖层上均设置有能够旋转以与所述支撑件抵接或脱离的压紧把手。

借由以上的技术方案，本实用新型的有益效果如下：采用防腐密封件分别和第一玻璃盖层、第二玻璃盖层和第三玻璃盖层之间的配合，在实现视窗机构与刻蚀设备之间保持密封性的同时，通过双重玻璃盖层结构还能够起到保温的作用，结构设计巧妙，降低生产成本。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中的整体装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例中的部分结构示意图。

以上附图的附图标记：1、支撑件；2、第一玻璃盖层；3、第二玻璃盖层；4、第三玻璃盖层；5、第一密封件；6、第二密封件；7、密封腔体；8、回流孔；9、手持把手；10、压紧把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

结合图1和图2所示，本实施例中公开了一种密封式保温视窗机构，包括支撑件1、沿透视方向间隔设置在所述支撑件1上的第一玻璃盖层2、第二玻璃盖层3、第三玻璃盖层4、设置在所述支撑件1上第一密封件5和第二密封件6。其中，所述第一密封件5和所述第二密封件6均采用防腐密封条材质制成。其采用防腐密封件分别和第一玻璃盖层2、第二玻璃盖层3和第三玻璃盖层4之间的配合，在实现视窗机构与刻蚀设备之间保持密封性的同时，还能够起到保温的作用，结构设计巧妙，降低生产成本。

结合图1，本实施方式中的透视方向为由左至右方向，其中，所述支撑件1整体呈框体结构，其左端设置有第一开口、右端设置有第二开口。优选地，所述支撑件1采用防腐金属材料制成。其中，所述第一密封件5设置在所述支撑件1的第一开口的边缘处，所述第一玻璃盖层2与所述第一密封件5对应设置，以使得所述第一玻璃盖层2与所述第一密封件5抵接时密封所述第一开口。所述第二密封件6设置在所述支撑件1的第二开口的边缘处，所述第二玻璃盖层3和第三玻璃盖层4能够分别与所述第二密封件6对应设置，以使得所述第二玻璃盖层3和所述第三玻璃盖层4分别与所述第一密封件5抵接时密封所述第二开口。上述的设置方式，所述第一开口和所述第二开口在操作人员观察刻蚀情况的时候可打开，在非观察状态下处于密封状态，双重密封的方式有效防止刻蚀药水飞溅至外部的风险。

其中，所述第一玻璃盖层2、第二玻璃盖层3、第三玻璃盖层4配合所述第一密封件5、第二密封件6和所述制成件形成以密封腔体7。上述的设置方式，采用双重玻璃盖层的方式能够有效降低温度的外泄，能够起到保温的作用。

本实施方式中，所述第一玻璃盖层2与所述支撑件1的上部枢轴连接，且所述第一玻璃盖层2上设置有用于供握持的手持把手9。通过操作人员手动操作，能够通过机械旋转的方式使得所述第一玻璃盖板相对所述第一开口处于打开状态。所述第二玻璃盖层3和所述第三玻璃盖层4能够在透视方向穿设的平面内相对移动，两者采用相对移动的方式能够分别与所述支撑件1的相对的两侧壁抵接，以完成对所述第二开口的密封。其中，所述第二玻璃盖层3上设置有用于供握持的手持把手9，以便于所述操作人员推动所述第二玻璃盖，进而打开第二开口。

上述的设置方式中，为了能够更好地使得所述第二玻璃盖层3和所述第三玻璃盖能够与第二密封件6相互抵接，本申请中，所述第二玻璃盖层3和第三玻璃盖层4上均设置有能够旋转以与所述支撑件1抵接或脱离的压紧把手10。

本实施方式中，所述支撑件1的下端部与所述第二玻璃盖层3的连接处设置有回流孔8，所述回流孔8与所述密封腔体7连通。优选地，所述支撑件1的下端部与所述第一玻璃盖层2的连接处在竖直方向上的高于所述支撑件1的下端部与所述第二玻璃盖层3的连接处。上述的结构设置，能够使得飞溅的刻蚀药水能够通过自身重力回流至刻蚀腔体中，避免刻蚀药水的浪费，也降低刻蚀药水对部件的污染概率。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。