一种多工位化学气相沉积炉的制作方法

本实用新型涉及沉积炉技术领域，尤其涉及一种多工位化学气相沉积炉。

背景技术：

化学气相沉积炉是一种通过化学气相沉积法提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的设备，气相沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶等部分，气相沉积炉在进行上料时，需要手动将主炉上的进料管打开并抽出，然后将物料添加进去。

但是，现有技术中，当气相沉积炉刚使用完后进料管的温度还很高，如果直接用手打开的话可能会发生烫伤的情况，而通过其他工具辅助开启也较为不便。因此，有必要提供一种多工位化学气相沉积炉解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、进料管能够自动进行收送的多工位化学气相沉积炉。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉，包括：炉体；空心管，所述空心管固定安装在炉体内，所述空心管的一端延伸至炉体外；送料筒，所述送料筒滑动安装在空心管内；第一电机，所述第一电机固定安装在炉体的一侧；第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮固定安装在第一电机的输出轴上；内螺纹套筒，所述内螺纹套筒转动安装在空心管内，所述内螺纹套筒的一端延伸至炉体外；第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定套设在内螺纹套筒上，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合；外螺纹管，所述外螺纹管螺纹安装在内螺纹套筒内；转动轴承，所述转动轴承固定套设在外螺纹管上，所述转动轴承的一侧与送料筒的一端固定连接；滑管，所滑管滑动安装在外螺纹管内，所述滑管的一端延伸至外螺纹管外并与送料筒固定连接；带动杆，所述带动杆滑动安装在滑管内，所述带动杆的一端延伸至炉体外；第二电机，所述第二电机固定安装在炉体的一侧；第一圆齿轮，所述第一圆齿轮固定安装在第二电机的输出轴上；第二圆齿轮，所述第二圆齿轮固定安装在带动杆的一端；链条，所述链条铰接在第一圆齿轮和第二圆齿轮上。

优选的，所述空心管内固定安装有第一支撑块，所述内螺纹套筒与第一支撑块转动连接。

优选的，所述空心管内固定安装有第二支撑块，所述第二支撑块上开设有滑孔，所述外螺纹管与滑孔滑动连接，所述外螺纹管的顶部开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的顶部与滑孔的顶部内壁固定连接。

优选的，所述滑管的顶部内壁上开设有第二限位槽，所述第二限位槽内滑动安装有第二限位块，所述第二限位块的底部与带动杆固定连接。

优选的，所述送料筒的顶部内壁上开设有放料口，所述空心管的底部内壁上开设有出料口，所述空心管的一端设有密封阀门。

优选的，所述炉体内固定安装有漏板，所述炉体的一侧固定安装有第三电机，所述第三电机的输出轴上固定安装有驱动杆，所述驱动杆的一端延伸至炉体内并固定安装有第三锥形齿轮，所述漏板上转动安装有驱动轴，所述驱动轴的底端固定安装有第四锥形齿轮，所述第三锥形齿轮与第四锥形齿轮啮合，所述驱动轴上固定安装有抹杆。

优选的，所述漏板的底部固定安装有第三支撑块，所述驱动杆与第三支撑块转动连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉具有如下有益效果：

本实用新型提供一种多工位化学气相沉积炉，通过第一电机、第一锥形齿轮、内螺纹套筒、第二锥形齿轮、外螺纹管、转动轴承、滑管、带动杆、第二电机、第一圆齿轮、第二圆齿轮和链条相配合，实现了对送料筒的收缩和转动工作，使得沉积炉上料更为方便。

附图说明

图1为本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉第一实施例的正视剖视结构示意图；

图2为图1中a部分的放大结构示意图；

图3为本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉第一实施例的侧视剖视结构示意图；

图4为本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉第二实施例的正视剖视结构示意图。

图中标号：1、炉体；2、空心管；3、送料筒；4、第一电机；5、第一锥形齿轮；6、内螺纹套筒；7、第二锥形齿轮；8、外螺纹管；9、转动轴承；10、滑管；11、带动杆；12、第二电机；13、第一圆齿轮；14、第二圆齿轮；15、链条；16、漏板；17、第三电机；18、驱动杆；19、第三锥形齿轮；20、驱动轴；21、第四锥形齿轮；22、抹杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

第一实施例：

请结合参阅图1-图3，在本实用新型的第一实施例中，多工位化学气相沉积炉包括：炉体1；空心管2，所述空心管2固定安装在炉体1内，所述空心管2的一端延伸至炉体1外；送料筒3，所述送料筒3滑动安装在空心管2内；第一电机4，所述第一电机4固定安装在炉体1的一侧；第一锥形齿轮5，所述第一锥形齿轮5固定安装在第一电机4的输出轴上；内螺纹套筒6，所述内螺纹套筒6转动安装在空心管2内，所述内螺纹套筒6的一端延伸至炉体1外；第二锥形齿轮7，所述第二锥形齿轮7固定套设在内螺纹套筒6上，所述第一锥形齿轮5与第二锥形齿轮7啮合；外螺纹管8，所述外螺纹管8螺纹安装在内螺纹套筒6内；转动轴承9，所述转动轴承9固定套设在外螺纹管8上，所述转动轴承9的一侧与送料筒3的一端固定连接；滑管10，所滑管10滑动安装在外螺纹管8内，所述滑管10的一端延伸至外螺纹管8外并与送料筒3固定连接；带动杆11，所述带动杆11滑动安装在滑管10内，所述带动杆11的一端延伸至炉体1外；第二电机12，所述第二电机12固定安装在炉体1的一侧；第一圆齿轮13，所述第一圆齿轮13固定安装在第二电机12的输出轴上；第二圆齿轮14，所述第二圆齿轮14固定安装在带动杆11的一端；链条15，所述链条15铰接在第一圆齿轮13和第二圆齿轮14上。

所述空心管2内固定安装有第一支撑块，所述内螺纹套筒6与第一支撑块转动连接。

所述空心管2内固定安装有第二支撑块，所述第二支撑块上开设有滑孔，所述外螺纹管8与滑孔滑动连接，所述外螺纹管8的顶部开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的顶部与滑孔的顶部内壁固定连接。

所述滑管10的顶部内壁上开设有第二限位槽，所述第二限位槽内滑动安装有第二限位块，所述第二限位块的底部与带动杆11固定连接。

所述送料筒3的顶部内壁上开设有放料口，所述空心管2的底部内壁上开设有出料口，所述空心管2的一端设有密封阀门。

本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉的工作原理如下：

当需要向炉体1中放料时，先打开空心管2上的密封阀门，然后启动第一电机4，第一电机4通过输出轴带动第一锥形齿轮5转动，第一锥形齿轮5通过第二锥形齿轮7带动内螺纹套筒6转动，在螺纹的作用下，内螺纹套筒6带动外螺纹管8移动，外螺纹管8通过转动轴承9推动送料筒3移动，送料筒3在移动的同时带动滑管10移动，直到送料筒3移出空心管2外，此时，通过放料口将物料放入送料筒3中，然后反转第一电机4，使得送料筒3缩回空心管2中，随后，启动第二电机12，第二电机12通过输出轴带动第一圆齿轮13转动，第一圆齿轮13通过链条15带动第二圆齿轮14转动，第二圆齿轮14带动带动杆11转动，带动杆11通过第二限位块带动滑管10转动，滑管10则带动送料筒3转动，直到送料筒3顶部的放料口与空心管2底部的出料口相重合，此时，物料会通过放料口和出料口落入炉体1中，从而完成了对沉积炉的放料工作。

与相关技术相比较，本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉具有如下有益效果：

通过第一电机4、第一锥形齿轮5、内螺纹套筒6、第二锥形齿轮7、外螺纹管8、转动轴承9、滑管10、带动杆11、第二电机12、第一圆齿轮13、第二圆齿轮14和链条15相配合，实现了对送料筒3的收缩和转动工作，使得沉积炉上料更为方便。

第二实施例：

基于本申请的第一实施例提供的多工位化学气相沉积炉，本申请的第二实施例提出另一种多工位化学气相沉积炉。第二实施例仅仅是第一实施例的优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图和实施方式对本实用新型的第二实施例作进一步说明。

请结合参阅图4，多工位化学气相沉积炉还包括漏板16，所述漏板16固定安装在炉体1内，所述炉体1的一侧固定安装有第三电机17，所述第三电机17的输出轴上固定安装有驱动杆18，所述驱动杆18的一端延伸至炉体1内并固定安装有第三锥形齿轮19，所述漏板16上转动安装有驱动轴20，所述驱动轴20的底端固定安装有第四锥形齿轮21，所述第三锥形齿轮19与第四锥形齿轮21啮合，所述驱动轴20上固定安装有抹杆22。

所述漏板16的底部固定安装有第三支撑块，所述驱动杆18与第三支撑块转动连接。

当物料落入漏板16上时，启动第三电机17，第三电机17通过输出轴带动驱动杆18转动，驱动杆18通过第三锥形齿轮19带动第四锥形齿轮21转动，第四锥形齿轮21通过驱动轴20带动抹杆22转动，抹杆22通过转动开始对漏板16上的物料进行摊抹，使得物料可以均匀的从漏板16上落入沉积炉底部，让物料在沉积炉内分布的更均匀，可以让后续的加工更为方便。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。