一种钟罩式化学气相沉积炉的制作方法

1.本实用新型涉及化学制备技术领域，尤其涉及一种钟罩式化学气相沉积炉。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，钟罩式沉淀炉是化学气相沉积使用的设备之一，现有技术中公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉沉淀炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉沉淀炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面，该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得该设备可以对钟罩沉积炉沉淀炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉沉淀炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足。
3.该技术中还存在不足之处，改技术方案是利用两个定位板对沉淀炉本体的底部进行按按压从而保证沉淀炉本体底部问密闭性，在定位板进行按压运动进行之前，需要同时扭动两个紧固螺母，在失去紧固螺母的同时后方可对定位板进行调节，而紧固螺母位于基座的两侧，一人无法同时进行操作，且通过两个定位板的按压使得沉淀炉本体的密封程度不高。
4.因此，有必要提供一种钟罩式化学气相沉积炉解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、便有将沉淀炉本体压牢、保证沉淀炉整体的密闭性的钟罩式化学气相沉积炉。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间；四个圆盘，四个所述圆盘分别固定套设在两个所述对杆上；四个接杆，四个所述接杆分别固定安装在对应的所述圆盘上；四个压杆，四个所述压杆分别焊接在对应的所述接杆上，四个所述压杆均与沉淀炉本体相接触；四个定块，四个所述定块均固定安装在基座的顶两个转轴，两个所述转轴分别转动安装在四个所述定块之间；两个齿轮，两个所述齿轮分别固定套设在对应的所述转轴上，两个所述齿轮相啮合；四个惰轮，四个所述惰轮分别固定套设在两个所述对杆和两个所述转轴上；两个皮带，两个所述皮带分别套设在四个所述惰轮之间；转杆，所述转杆固定安装在对应的所述转轴的一端上。
7.优选的，四个所述压杆的底部均固定安装有防护垫块，所述防护垫块与沉淀炉本体相接触。
8.优选的，四个所述支杆之间转动安装有两个接应杆，两个所述接应杆分别位于对应的所述转杆的下方。
9.优选的，两个对应的所述支杆的一侧均固定安装有撑板，两个所述撑板的顶部均固定安装有电机，两个所述电机的输出轴分别与对应的所述接应杆的一端固定连接。
10.优选的，四个所述圆盘的底部均开设有杆槽，两个所述接应杆上焊接有四个卡杆，四个所述卡杆分别与对应的所述杆槽相适配。
11.优选的，所述撑板的底部固定安装有持平板，所述持平板与对应的所述支杆固定连接。
12.与相关技术相比较，本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉具有如下有益效果：
13.本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉，通过手动转动转杆从而带动四个压杆同步进行运动，使四个压杆同步对沉淀炉本体产生下压力，只需一步操作，即可对沉淀炉本体进行按压保证其密封性。
附图说明
14.图1为本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉第一实施例的结构示意图；
15.图2为本实用新型的俯视结构示意图；
16.图3为本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉第二实施例的示意图；
17.图4为图3所示的a部分的放大示意图；
18.图5为本实用新型中支杆、接应杆、撑板、电机和卡杆的装配图。
19.图中标号：1、基座；2、沉淀炉本体；3、支杆；4、对杆；5、圆盘；6、接杆；7、压杆；8、定块；9、转轴；10、齿轮；11、惰轮；12、皮带；13、转杆；14、接应杆；15、撑板；16、电机；17、杆槽；18、卡杆。
具体实施方式
20.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
21.第一实施例：
22.请结合参阅图1和图2，在本实用新型的第一实施例中，钟罩式化学气相沉积炉包括：基座1；沉淀炉本体2，所述沉淀炉本体2设在基座1的顶部；四个支杆3，四个所述支杆3均固定安装在基座1的顶部，四个所述支杆3呈矩形列阵分布；两个对杆4，两个所述对杆4分别转动安装在四个所述支杆3之间；四个圆盘5，四个所述圆盘5分别固定套设在两个所述对杆4上；四个接杆6，四个所述接杆6分别固定安装在对应的所述圆盘5上；四个压杆7，四个所述压杆7分别焊接在对应的所述接杆6上，四个所述压杆7均与沉淀炉本体2相接触；四个定块8，四个所述定块8均固定安装在基座1的顶部；两个转轴9，两个所述转轴9分别转动安装在四个所述定块8之间；两个齿轮10，两个所述齿轮10分别固定套设在对应的所述转轴9上，两个所述齿轮10相啮合；四个惰轮11，四个所述惰轮11分别固定套设在两个所述对杆4和两个所述转轴9上；两个皮带12，两个所述皮带12分别套设在四个所述惰轮11之间；转杆13，所述
转杆13固定安装在对应的所述转轴9的一端上。
23.四个所述压杆7的底部均固定安装有防护垫块，所述防护垫块与沉淀炉本体2相接触。
24.本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉的工作原理如下：
25.当需要为沉淀炉本体2提供压合力使沉淀炉本体2与基座1之间保持密封性时，手动转动转杆13，转杆13将带动对应的转轴9在对应的两个定块8之间进行转动运动，转轴9将带动对应的齿轮10同步进行运动；
26.在两个齿轮10的相互配合使用下，将使得两个转轴9实现同步反向转动，两个转轴9将带动对应的两个惰轮11转动，在四个惰轮11和两个皮带12的配合使用下，将使得两个对杆4同步转动，两个对杆4带动四个圆盘5转动，在接杆6的配合下将使得四个压杆7以对应的对杆4为圆心向沉淀炉本体2方向进行转动，直至四个压杆7的底部均与沉淀炉本体2相接触，对沉淀炉本体2产生压合。
27.与相关技术相比较，本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉具有如下有益效果：
28.通过手动转动转杆13从而带动四个压杆7同步进行运动，使四个压杆7同步对沉淀炉本体2产生下压力，只需一步操作，即可对沉淀炉本体2进行按压保证其密封性。
29.第二实施例：
30.基于本申请的第一实施例提供的钟罩式化学气相沉积炉，本申请的第二实施例提出另一种钟罩式化学气相沉积炉。第二实施例仅仅是第一实施例的优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。
31.下面结合附图和实施方式对本实用新型的第二实施例作进一步说明。
32.请结合参阅图3
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图5，钟罩式化学气相沉积炉还包括两个接应杆14，两个所述接应杆14转动安装在四个所述支杆3之间，两个所述接应杆14分别位于对应的所述对杆4的下方。
33.两个对应的所述支杆3的一侧均固定安装有撑板15，两个所述撑板15的顶部均固定安装有电机16，两个所述电机16的输出轴分别与对应的所述接应杆14的一端固定连接。
34.四个所述圆盘5的底部均开设有杆槽17，两个所述接应杆14上焊接有四个卡杆18，四个所述卡杆18分别与对应的所述杆槽17相适配。
35.所述撑板15的底部固定安装有持平板，所述持平板与对应的所述支杆3固定连接。
36.将四个压杆7的位置调整好后，为了避免压杆7自动发生松动影响对沉淀炉本体2的按压，需要对四个圆盘5的位置进行限定，启动两个电机16，使两个电机16一正一反同步进行驱动，两个电机16将带动对应的接应杆14之间进行反向转动，在两个接应杆14的带动下，四个卡杆18将逐渐旋转进对应的杆槽17内，通过杆槽17与卡杆18的配合对圆盘5的位置进行限定。
37.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。