一种化学气相沉积炉进气分布装置的制作方法

本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉进气分布装置。

背景技术：

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，相关技术中，公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置，其包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管，其特点是在进气管的上部设有导流罩，导流罩呈下部开口的圆桶形结构，导流罩的顶部或侧壁设有通孔。所述进气管的上部封闭，侧壁均布有出气孔。所述导流罩由炭/炭复合材料制成。其可以方便的实现内进气压差法或外进气压差法生产工艺，不仅可提高cvi速率，还可大大缩短cvi周期，而且材料密度梯度少，材质均匀，尤其适合于炭/炭复合材料飞机刹车盘的制造。

但是，上述技术中还存在不足之处，上述结构中空气在经过排气孔不经过处理直接进行排放，容易污染环境。

因此，有必要提供一种新的化学气相沉积炉进气分布装置解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便，能够简单有效的对排出的空气进行四级过滤，避免污染资源，操作起来简单便捷的化学气相沉积炉进气分布装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体；气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；环形连接板，所述环形连接板固定安装在气相沉积炉体的顶部；导流管一，所述导流管一固定安装在环形连接板上；方形收纳箱，所述方形收纳箱设置在气相沉积炉体的一侧，所述方形收纳箱的顶部设有开口；净化液存蓄箱，所述净化液存蓄箱固定安装在方形收纳箱的底部内壁上，所述导流管一远离环形连接板的一端延伸至净化液存蓄箱内；两个竖型板，两个竖型板分别固定安装在方形收纳箱的两侧内壁上；两个第一凹槽，两个第一凹槽分别开设在两个竖型板相互靠近的一侧，所述第一凹槽的顶部内壁设有开口；过滤箱，所述过滤箱设置在两个第一凹槽内；导流管二，所述导流管二固定安装在过滤箱的底部，所述导流管二的底端延伸至净化液存蓄箱内；第一组件，所述第一组件设置在过滤箱内。

优选的，所述气相沉积炉体靠近方形收纳箱的一侧固定安装有两个第一支撑块，所述第一支撑块远离气相沉积炉体的一侧与方形收纳箱固定连接。

优选的，所述第一组件包含有化纤无纺滤过滤层一、合成纤维滤材过滤层二、合成纤维滤材过滤层三和活性炭过滤层四，所述合成纤维滤材过滤层二固定安装在化纤无纺滤过滤层一的顶部，所述合成纤维滤材过滤层三固定安装在合成纤维滤材过滤层二的顶部，所述活性炭过滤层四固定安装在合成纤维滤材过滤层三的顶部。

优选的，所述净化液存蓄箱的一侧固定安装有第三管道和第四管道，所述第三管道远离净化液存蓄箱的一端延伸至方形收纳箱外，所述第四管道远离净化液存蓄箱的一端延伸至方形收纳箱外，所述第四管道位于第三管道的下方，所述第四管道上设有第一阀门。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置，通过导流管一、净化液存蓄箱、过滤箱、化纤无纺滤过滤层一、合成纤维滤材过滤层二、合成纤维滤材过滤层三和活性炭过滤层四相互配合下，能够简单有效的对排放的空气进行四级过滤，避免污染资源，便于使用者操作。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置还包括：第一条形块，所述第一条形块固定安装在所述过滤箱的顶部，所述第一条形块上滑动安装有第一横杆，所述第一横杆上固定套设有圆形块，所述第一横杆上滑动套设有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一端与第一条形块固定连接，所述伸缩弹簧的另一端与圆形块固定连接。

优选的，所述第一凹槽的一侧内壁上开设有卡槽，所述第一横杆的一端延伸至卡槽内并与卡槽滑动连接。

优选的，所述第一条形块的一侧开设有圆形连接孔，所述圆形连接孔与第一横杆滑动连接，所述第一横杆的一端固定安装有把手。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置，通过第一条形块、第一横杆、圆形块、伸缩弹簧和卡槽相互配合下，能够简单有效的对过滤箱进行固定和拆卸，便于使用者操作。

附图说明

图1为本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置的第一实施例的正视剖视结构示意图；

图2为本实用新型提供的第一实施例中化纤无纺滤过滤层一、合成纤维滤材过滤层二、合成纤维滤材过滤层三和活性炭过滤层四的装配图；

图3为本实用新型提供的第二实施例的正视剖视结构示意图；

图4为图3中a部分的放大结构示意图。

图中标号：1、气相沉积炉进气分布设备本体；2、气相沉积炉体；3、排气孔；4、环形连接板；5、导流管一；6、方形收纳箱；7、净化液存蓄箱；8、竖型板；9、第一凹槽；10、过滤箱；11、导流管二；12、第一条形块；13、第一横杆；14、圆形块；15、伸缩弹簧；16、卡槽；101、化纤无纺滤过滤层一；102、合成纤维滤材过滤层二；103、合成纤维滤材过滤层三；104、活性炭过滤层四。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

第一实施例

请结合参阅图1至图2，在本实用新型的第一实施例中，化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体1；气相沉积炉体2，所述气相沉积炉体2包含在气相沉积炉进气分布设备本体1内；排气孔3，所述排气孔3开设在气相沉积炉体2的顶部；环形连接板4，所述环形连接板4固定安装在气相沉积炉体2的顶部；导流管一5，所述导流管一5固定安装在环形连接板4上；方形收纳箱6，所述方形收纳箱6设置在气相沉积炉体2的一侧，所述方形收纳箱6的顶部设有开口；净化液存蓄箱7，所述净化液存蓄箱7固定安装在方形收纳箱6的底部内壁上，所述导流管一5远离环形连接板4的一端延伸至净化液存蓄箱7内；两个竖型板8，两个竖型板8分别固定安装在方形收纳箱6的两侧内壁上；两个第一凹槽9，两个第一凹槽9分别开设在两个竖型板8相互靠近的一侧，所述第一凹槽9的顶部内壁设有开口；过滤箱10，所述过滤箱10设置在两个第一凹槽9内；导流管二11，所述导流管二11固定安装在过滤箱10的底部，所述导流管二11的底端延伸至净化液存蓄箱7内；第一组件，所述第一组件设置在过滤箱10内。

所述气相沉积炉体2靠近方形收纳箱6的一侧固定安装有两个第一支撑块，所述第一支撑块远离气相沉积炉体2的一侧与方形收纳箱6固定连接。

所述第一组件包含有化纤无纺滤过滤层一101、合成纤维滤材过滤层二102、合成纤维滤材过滤层三103和活性炭过滤层四104，所述合成纤维滤材过滤层二102固定安装在化纤无纺滤过滤层一101的顶部，所述合成纤维滤材过滤层三103固定安装在合成纤维滤材过滤层二102的顶部，所述活性炭过滤层四104固定安装在合成纤维滤材过滤层三103的顶部。

所述净化液存蓄箱7的一侧固定安装有第三管道和第四管道，所述第三管道远离净化液存蓄箱7的一端延伸至方形收纳箱6外，所述第四管道远离净化液存蓄箱7的一端延伸至方形收纳箱6外，所述第四管道位于第三管道的下方，所述第四管道上设有第一阀门。

本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置的工作原理如下：

当需要对排出的空气进行处理时，排出的空气会先通过导流管一5倒入到净化液存蓄箱7内，空气继续流动时，其中的杂质会与水进行混合，然后通过导流管二11灌输在到第四箱10内；

在化纤无纺滤过滤层一101、合成纤维滤材过滤层二102、合成纤维滤材过滤层三103和活性炭过滤层四104相互配合下，能够对去除杂质的空气进行四级过滤，继而将排出的空气通过净化后，再进行排放，避免污染资源。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置，通过导流管一5、净化液存蓄箱7、过滤箱10、化纤无纺滤过滤层一101、合成纤维滤材过滤层二102、合成纤维滤材过滤层三103和活性炭过滤层四104相互配合下，能够简单有效的对排放的空气进行四级过滤，避免污染资源，便于使用者操作。

第二实施例：

基于本申请的第一实施例提供的化学气相沉积炉进气分布装置，本申请的第二实施例提出另一种化学气相沉积炉进气分布装置，第二实施例仅仅是第一实施例的优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图和实施方式对本实用新型的第二实施例作进一步说明

请结合参阅图3-图4，在本实用新型的第二实施例中，化学气相沉积炉进气分布装置还包括：第一条形块12，所述第一条形块12固定安装在所述过滤箱10的顶部，所述第一条形块12上滑动安装有第一横杆13，所述第一横杆13上固定套设有圆形块14，所述第一横杆13上滑动套设有伸缩弹簧15，所述伸缩弹簧15的一端与第一条形块12固定连接，所述伸缩弹簧15的另一端与圆形块14固定连接。

所述第一凹槽9的一侧内壁上开设有卡槽16，所述第一横杆13的一端延伸至卡槽16内并与卡槽16滑动连接。

所述第一条形块12的一侧开设有圆形连接孔，所述圆形连接孔与第一横杆13滑动连接，所述第一横杆13的一端固定安装有把手。

本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置的工作原理如下：

当需要拆卸过滤箱10，先拉动第一横杆13移动，第一横杆13带动圆形块14移动，圆形块14带动伸缩弹簧15移动，此时，伸缩弹簧15将被压缩，产生弹力；

当第一横杆13从卡槽16内移出后，便可将过滤箱10拆卸下来，反向操作，便可对其进行固定，避免其出现晃动。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置，通过第一条形块12、第一横杆13、圆形块14、伸缩弹簧15和卡槽16相互配合下，能够简单有效的对过滤箱10进行固定和拆卸，便于使用者操作。

需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构及控制系统的具体。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。