一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置的制作方法

文档序号:24695986发布日期:2021-04-16 11:51阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:包括喷淋板以及与所述喷淋板底壁接触的冷却板,所述喷淋板和冷却板内均设置有冷却管道。2.根据权利要求1所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板内的冷却管道为气冷管道或者液冷管道。3.根据权利要求1所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述冷却板内的冷却管道为气冷管道或者液冷管道。4.根据权利要求1所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板内的冷却管道为气冷管道,所述冷却板内的冷却管道为液冷管道。5.根据权利要求1所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板内的冷却管道为液冷管道,所述冷却板内的冷却管道为气冷管道。6.根据权利要求1所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述冷却板内设置有多个所述冷却管道,且多个所述冷却管道中至少包括两个介质流动方向相反的冷却管道。7.根据权利要求1所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板内设置有多个所述冷却管道,且多个所述冷却管道中至少包括两个介质流动方向相反的冷却管道。8.根据权利要求1

7中任一项所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板内的冷却管道靠近所述喷淋板底壁。9.根据权利要求1

7中任一项所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板中间设置有开口槽,所述开口槽内底壁设置有若干喷淋孔;所述喷淋板内的冷却管道靠近所述开口槽内侧壁。10.根据权利要求1

7中任一项所述的基于movcd技术制备超导材料的喷淋控温装置,其特征在于:所述喷淋板中间设置有开口槽,所述开口槽内底壁设置有若干喷淋孔;所述喷淋板内的冷却管道能够环绕所述开口槽。
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