镀膜工件悬挂装置和镀膜设备的制作方法

1.本技术涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种镀膜工件悬挂装置和镀膜设备。


背景技术：

2.现有镀膜机镀膜过程中，镀膜靶材固定，镀膜工件由驱动件驱动下进行公转同时工件自身自转。由于镀膜工件的形状多样，对于圆形工件，工件表面的不同区域与靶材的垂直距离基本相同，为了使镀膜厚度均匀，镀膜过程中，工件需要匀速自转。而对于非圆形工件，例如图1所示的矩形工件，镀膜工件的短边到靶材的距离d1与长边到靶材的距离d2不相等，如果工件保持匀速自转，容易造成工件短边上的溅射量大于工件长边上的溅射量，从而导致工件短边和长边的膜厚度不一致。为了保证镀膜厚度均匀，则工件需要变速自转，以使工件短边比长边更快速地转动，达到膜厚度一致的目的。
3.现有的镀膜设备通常是单一的匀速自转或单一的变速自转，导致一种镀膜设备只能对一种形状的工件进行镀膜，导致镀膜设备的产能受到工件形状的限制。当镀膜工件的形状改变时，使用原来的镀膜设备容易出现镀膜厚度不均匀的问题，而更换镀膜设备又会造成生产成本的增加。


技术实现要素：

4.鉴于上述状况，本技术提供一种能够带动镀膜工件匀速转动或变速转动的镀膜工件悬挂装置和具有该镀膜工件悬挂装置的镀膜设备，从而实现同一镀膜设备能够对不同形状的工件进行镀膜，并且保证镀膜厚度均匀，提升装置的通用性，降低生产成本。
5.本技术的实施例提供一种镀膜工件悬挂装置，包括驱动机构、悬挂机构、调速机构和挂杆。所述悬挂机构包括上转架、下转架、连接在所述上转架和所述下转架之间的支撑杆和固定于所述下转架的转动轴。所述驱动机构连接至所述转动轴，以用于通过驱动所述转动轴转动来带动所述下转架转动。所述调速机构与所述下转架连接，用于在所述下转架的带动下以预定速度围绕所述转动轴公转。所述调速机构包括匀速轴和变速轴，所述匀速轴在所述调速机构与所述下转架的转动配合下，在以所述预定速度围绕所述转动轴公转的同时以第一速度匀速自转，所述变速轴在所述调速机构与所述下转架的转动配合下，在以所述预定速度围绕所述转动轴公转的同时以第二速度作变速自转。所述挂杆可选择地且可拆卸地安装或连接在所述匀速轴或所述变速轴上，以用于悬挂在所述挂杆上的镀膜工件作所述匀速自转或所述变速自转。
6.进一步地，所述调速机构还包括圆齿轮组，所述圆齿轮组与所述匀速轴传动连接，以用于在所述圆齿轮组与所述下转架的转动配合下带动所述匀速轴以所述第一速度匀速自转。
7.进一步地，所述圆齿轮组包括第一圆齿轮和第二圆齿轮，所述第一圆齿轮套设于所述转动轴，且所述第一圆齿轮不转动；所述第二圆齿轮固定连接于所述匀速轴，且所述第二圆齿轮与所述第一圆齿轮啮合，以带动所述匀速轴匀速自转。
8.在一可选实施例中，所述调速机构还包括椭圆齿轮组，所述椭圆齿轮组与所述匀速轴和所述变速轴传动连接，所述椭圆齿轮组用于带动所述变速轴变速自转。
9.进一步地，所述椭圆齿轮组包括第一椭圆齿轮和第二椭圆齿轮，所述第一椭圆齿轮固定连接所述匀速轴，所述第二椭圆齿轮固定连接所述变速轴，所述第一椭圆齿轮与所述第二椭圆齿轮啮合，以带动所述变速轴作变速自转。
10.在一可选实施例中，所述调速机构还包括连接架，所述连接架可拆卸地设于所述下转架，所述连接架包括匀速轴孔和变速轴孔，所述匀速轴孔用于将所述匀速轴转动设置在内，所述变速轴孔用于将所述变速轴转动设置在内，所述连接架在所述下转架的带动下带动所述匀速轴和所述变速轴以所述预定速度围绕所述转动轴公转。
11.进一步地，所述连接架包括轴承，所述轴承分别设于所述匀速轴孔和所述变速轴孔内，并分别配合所述匀速轴的匀速自转和所述变速轴的变速自转。
12.在一可选实施例中，所述匀速轴和所述变速轴分别具有由各自所述轴承围绕的下端和面向所述上转架凸出于所述连接架表面的下端，所述匀速轴和所述变速轴分别在各自的上端具有中空本体，所述中空本体用于将所述挂杆可拆卸地设置在内。
13.进一步地，所述连接架还包括盖帽，所述盖帽用于盖设在闲置的所述中空本体上。
14.本技术的实施例还提供一种镀膜设备，包括前述任一项所述的镀膜工件悬挂装置和围绕所述镀膜工件悬挂装置的靶材，所述靶材用于对所述镀膜工件悬挂装置上悬挂的镀膜工件进行镀膜。
15.本技术提供的镀膜工件悬挂装置通过下转架带动匀速轴和变速轴在公转的同时分别匀速自转和变速自转，匀速轴或变速轴上可拆卸地安装或连接有用于悬挂镀膜工件的挂杆，从而带动挂杆上的镀膜工件匀速自转或变速自转，以适配不同形状的镀膜工件，实现同一悬挂装置能够完成对不同形状工件的镀膜制程，并且保证镀膜厚度均匀，有利于提升装置的通用性，降低生产成本。
附图说明
16.图1为镀膜工件转动至不同位置时的结构示意图。
17.图2为镀膜工件悬挂装置在一实施例中的结构示意图。
18.图3为图2所示镀膜工件悬挂装置在另一方向的结构示意图及局部放大图。
19.图4为图2所示镀膜工件悬挂装置中的调速机构的局部结构示意图。
20.图5为图4所示结构的沿剖面线a
‑
a获取的剖面结构示意图。
21.图6为镀膜设备在一实施例中的结构示意图。
22.主要元件符号说明：
[0023][0024]
具体实施方式：
[0025]
下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0026]
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0027]
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]
本技术提供一种镀膜工件悬挂装置，包括驱动机构、悬挂机构、调速机构和挂杆。悬挂机构包括上转架、下转架、连接在上转架和下转架之间的支撑杆和固定于下转架的转动轴。驱动机构连接至转动轴，以用于通过驱动转动轴转动来带动下转架转动。调速机构与下转架连接，用于在下转架的带动下以预定速度围绕转动轴公转。调速机构包括匀速轴和变速轴，匀速轴在调速机构与下转架的转动配合下，在以预定速度围绕转动轴公转的同时以第一速度匀速自转，变速轴在调速机构与下转架的转动配合下，在以预定速度围绕转动轴公转的同时以第二速度作变速自转。挂杆可选择地且可拆卸地安装或连接在匀速轴或变速轴上，以用于悬挂在挂杆上的镀膜工件作匀速自转或变速自转。
[0029]
上述镀膜工件悬挂装置通过下转架带动匀速轴和变速轴在公转的同时分别匀速自转和变速自转，匀速轴或变速轴上可拆卸地安装或连接有用于悬挂镀膜工件的挂杆，从而带动挂杆上的镀膜工件匀速自转或变速自转，以适配不同形状的镀膜工件，实现同一悬挂装置能够完成对不同形状工件的镀膜制程，并且保证镀膜厚度均匀，有利于提升装置的通用性，降低生产成本。
[0030]
以下对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。
[0031]
在本技术的实施例中，请参阅图2，镀膜工件悬挂装置100包括驱动机构10、悬挂机构20、调速机构30和挂杆41。
[0032]
悬挂机构20包括上转架21、下转架22、连接在上转架21和下转架22之间的支撑杆23和固定于下转架22的转动轴24。驱动机构10连接至转动轴24，驱动机构10用于驱动转动轴24转动来带动下转架22转动。调速机构30与下转架22连接，用于在下转架22的带动下以预定速度围绕转动轴24公转。
[0033]
调速机构30包括匀速轴31和变速轴32。匀速轴31连接在下转架22上，在调速机构30与下转架22的转动配合下，在以预定速度围绕转动轴24公转的同时以第一速度匀速自转。变速轴32连接在下转架22上，在调速机构30与下转架22的转动配合下，在以预定速度围绕转动轴24公转的同时以第二速度作变速自转。
[0034]
挂杆41可选择地且可拆卸地安装或连接在匀速轴31或变速轴32上，以用于悬挂在挂杆41上的镀膜工件40作上述的匀速自转或变速自转。例如，挂杆41为如图2所示的圆柱形杆，镀膜工件40中间开设有通孔，以便挂杆41可以穿过堆叠在一起的多个镀膜工件40各自的通孔来将它们悬挂。进一步，通过挂杆41，镀膜工件40悬挂在上转架21和匀速轴31之间，和/或悬挂在上转架21和变速轴32之间(图2所示的情况)，以将镀膜工件40更加稳定地悬挂，避免转动过程中产生晃动、甩出等问题。镀膜工件40可以随匀速轴31或变速轴32共同运动，实现镀膜工件40在公转的同时，以第一速度匀速自转，或者以第二速度变速自转，让同一悬挂装置至少适用于两种不同形状的镀膜工件40。
[0035]
上述的镀膜工件悬挂装置100通过下转架22带动匀速轴31和变速轴32在公转的同时分别匀速自转和变速自转，匀速轴31或变速轴32上可拆卸地安装或连接有用于悬挂镀膜工件40的挂杆41，从而带动挂杆41上悬挂的镀膜工件40匀速自转或变速自转，以适配不同形状的镀膜工件40，实现同一镀膜工件悬挂装置100能够完成对不同形状镀膜工件40的镀膜制程，并且保证镀膜厚度均匀，有利于提升镀膜工件悬挂装置100的通用性，降低生产成本。
[0036]
在本技术的一个实施例中，请参阅图3，调速机构30还包括圆齿轮组33。圆齿轮组33与下转架22和匀速轴31传动连接，以用于在圆齿轮组33与下转架22的转动配合下带动匀速轴31以第一速度匀速自转。换句话说，在圆齿轮组33与下转架22的转动的配合下，匀速轴31以预定速度围绕转动轴24公转的同时，还以第一速度作匀速自转。
[0037]
进一步地，在本技术的其中一个实施例中，请继续参阅图3，圆齿轮组33包括第一圆齿轮331和第二圆齿轮332。第一圆齿轮331套设在转动轴24上，且第一圆齿轮331不随转动轴24转动。第二圆齿轮332套设于匀速轴31上，并且第二圆齿轮332与匀速轴31固定连接。第一圆齿轮331固定不动，下转架22和第二圆齿轮332相对第一圆齿轮331转动。第二圆齿轮332与第一圆齿轮331啮合。下转架22带动匀速轴31和第二圆齿轮332绕转动轴24公转时，第二圆齿轮332与第一圆齿轮331啮合转动，从而带动匀速轴31以第一速度自转。
[0038]
第二圆齿轮332、匀速轴31和变速轴32的数量可以为多个，可以均匀分布于第一圆齿轮331和下转架22的周缘，使得镀膜工件悬挂装置100上可以同时悬挂多个镀膜工件40。
[0039]
在本技术的其中一个实施例中，请参阅图4，调速机构30还包括椭圆齿轮组34。椭圆齿轮组34与匀速轴31和变速轴32传动连接，椭圆齿轮组34用于带动变速轴32变速自转。具体地，变速轴32在椭圆齿轮组34和匀速轴31与下转架22的转动的配合下，以预定速度围绕转动轴24公转，同时以第二速度作变速自转。
[0040]
进一步地，请再次参阅图4，在一可选实施例中，椭圆齿轮组34包括第一椭圆齿轮341和第二椭圆齿轮342。第一椭圆齿轮341套设于匀速轴31上，并与匀速轴31固定连接，从而使第一椭圆齿轮341能够随匀速轴31共同匀速转动。第二椭圆齿轮342套设于变速轴32上，并与变速轴32固定连接。第一椭圆齿轮341与第二椭圆齿轮342啮合，当第一椭圆齿轮341随匀速轴31匀速自转时，第二椭圆齿轮342在第一椭圆齿轮341的带动下变速自转，从而带动变速轴32以第二速度变速自转。
[0041]
在本技术的其中一个实施例中，为了更清楚地说明调速机构30，请一并参阅图4和图5，调速机构30还包括连接架35，连接架35可拆卸地设于下转架22。具体地，连接架35包括匀速轴孔351和变速轴孔352。匀速轴31转动设置于匀速轴孔351，变速轴32转动设置于变速
轴孔352。下转架22通过连接架35带动匀速轴31和变速轴32以预定速度围绕转动轴24公转。
[0042]
在一可选实施例中，也请一并参阅图4和图5，连接架35还包括轴承353。至少两个轴承353分别设于匀速轴孔351和变速轴孔352内，并且至少两个轴承353分别配合匀速轴31和变速轴32，以降低匀速轴31和变速轴32的转动阻力。
[0043]
在又一可选实施例中，也请一并参阅图4和图5，匀速轴31和变速轴32分别具有各自下端和上端，该下端为匀速轴31或变速轴32由轴承353围绕的端部，该上端为匀速轴31或变速轴32面向上转架21凸出于连接架35表面的端部。匀速轴31和变速轴32的下端分别转动设于匀速轴孔351和变速轴孔352内，并且与轴承353配合。匀速轴31和变速轴32分别在各自的上端具有面向上转架21这一端开口的中空本体3541，中空本体3541凸出匀速轴孔351和变速轴孔352。挂杆41可拆卸安装或连接于中空本体3541内。中空本体3541的侧壁上设有定位槽3542，挂杆41插入中空本体3541时，安装在挂杆41表面的定位销钉36收容至定位槽3542中，以保证挂杆41与匀速轴31或变速轴32同步转动。
[0044]
可以理解的是，只要保证中空本体3541能够使挂杆41稳定和可靠转动，中空本体3541可以为匀速轴31和变速轴32的一个组成部分，也可以为不属于匀速轴31和变速轴32组成部分的外部构件。此外，中空本体3541可以与匀速轴31和变速轴32一体成型，也可以与匀速轴31和变速轴32可拆卸连接。
[0045]
设置于匀速轴孔351内的匀速轴31还与第二圆齿轮332和第一椭圆齿轮341固定连接，设置于变速轴孔352内的变速轴32还与第二椭圆齿轮342固定连接，从而使匀速轴31和变速轴32分别匀速自转和变速自转，挂杆41随对应的匀速轴31和变速轴32共同运动。
[0046]
在本技术的其中一个实施例中，也请一并参阅图4和图5，连接架35还包括盖帽355，盖帽355用于盖设在闲置的匀速轴31或变速轴32上，确切地说，盖设在闲置的中空本体3541上，防止挂杆41插入到错误的中空本体3541中。在图4中，以实线表示的挂杆41意味着挂杆41安装或连接于图5所示的中空本体3541内，即中空本体3541，亦即该中空本体3541对应的变速轴32处于使用状态；以虚线表示的挂杆41意味着挂杆41还未安装或未连接于图5所示的中空本体3541内，亦即，该中空本体3541对应的匀速轴31处于闲置状态。这样，挂杆41可选择地且可拆卸地安装或连接在匀速轴31或变速轴32上，以用于悬挂在挂杆41上的镀膜工件40作匀速自转或变速自转。因此，镀膜工件悬挂装置100能够适配不同形状的镀膜工件40，实现同一悬挂装置能够完成对不同形状工件的镀膜制程，并且保证镀膜厚度均匀，有利于提升装置的通用性，降低生产成本。
[0047]
在本技术的实施例还提供一种镀膜设备200，请参阅图6，镀膜设备200包括靶材201和上述任一实施例或实施例组合中的镀膜工件悬挂装置100。靶材201的数量可以为一个或多个，多个靶材201围绕镀膜工件悬挂装置100设置。靶材201用于对镀膜工件悬挂装置100上悬挂的镀膜工件40进行镀膜。
[0048]
以上实施方式仅用以说明本技术的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本技术进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本技术的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本技术技术方案的精神和范围。