溅射镀膜用夹治具的制作方法

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，特别涉及一种溅射镀膜用夹治具。

背景技术：

溅射镀膜机在使用时往往只能对某个特定尺寸的玻璃基板进行镀膜，而无法应用于其它尺寸的基板，这就大大地限制了溅射镀膜机的使用范围，无法满足各种尺寸基板的镀膜需求。例如，evatecsolaris镀膜机只能用于8寸玻璃基板的镀膜，无法应用于其它尺寸基板。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种溅射镀膜用夹治具，以解决现有技术中溅射镀膜机仅能用于特定尺寸基板镀膜的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型提供了一种溅射镀膜用夹治具，包括底板、盖板及连接件，所述底板上形成有凹部，所述盖板上具有与所述凹部配合的第一通孔，所述待镀膜基板放置于所述凹部，所述盖板盖设于所述底板上使所述待镀膜基板的至少部分通过所述第一通孔外露；所述底板与所述盖板通过所述连接件连接。

进一步地，所述第一通孔的孔壁周侧形成有第一台阶部以遮挡所述待镀膜基板的部分区域。

进一步地，所述凹部为贯穿所述底板的第二通孔，所述第二通孔的孔壁周侧形成有第二台阶部以承托所述待镀膜基板。

进一步地，所述凹部的数量为多个，多个所述凹部在所述底板上间隔均匀布设。

进一步地，所述盖板上形成有第三通孔，所述底板上具有与所述第三通孔配合的定位柱，所述盖板盖设于所述底板上使所述定位柱穿过所述第三通孔。

进一步地，所述定位柱的数量为多个，多个所述定位柱在所述底板上均匀间隔布设。

进一步地，所述盖板上形成有第四通孔，所述底板上具有与所述第四通孔配合的螺纹孔，所述连接件为螺钉，所述螺钉穿过所述第四通孔并螺接于所述螺纹孔内使所述底板与所述盖板连接。

进一步地，所述第四通孔及所述螺纹孔的数量均为多个，多个所述第四通孔均匀间隔布设在所述第一通孔的周侧，多个所述螺纹孔均匀间隔布设在所述凹部的周侧。

进一步地，所述底板的横截面呈圆形，所述盖板的横截面具有相对设置的两直边及相对设置的两弧形边，且所述直边与所述弧形边间隔布设，以使所述盖板与镀膜机的卡塞配合。

进一步地，所述第一通孔在所述盖板所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状；和/或所述凹部在所述底板所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状。

本实用新型提供的溅射镀膜用夹治具，将待镀膜基板放置于底板的凹部，将盖板盖设于底板上且使待镀膜基板通过盖板上的第一通孔实现至少部分外露，并将底板与盖板连接且固定于镀膜机内，以对待镀膜基板进行溅射镀膜。上述夹治具通过改变底板上凹部及盖板上第一通孔的尺寸，能够对不同尺寸的待镀膜基板进行镀膜，扩大了现有镀膜机的应用范围，满足了各种尺寸基板的镀膜需求。另外，在将待镀膜基板放入镀膜机或者从镀膜机取出时，可以用机械手抓取夹治具，避免手取或者用机械手直接抓取基板，保证基板表面的洁净度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的底板的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的盖板的结构示意图；

图3为图2中盖板上第一通孔的结构示意图。

附图标记说明：

10、底板；11、第二通孔；12、第二台阶部；13、定位柱；14、螺纹孔；

20、盖板；21、第一通孔；22、第一台阶部；23、第三通孔；24、第四通孔。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型再作进一步详细的说明。

在本实用新型中的“第一”、“第二”等描述，仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或顺序。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个、三个等，除非另有明确具体的限定。

参照图1、图2，本申请实施例提供了一种溅射镀膜用夹治具，包括底板10、盖板20及连接件，底板10上形成有凹部，盖板20上具有与凹部配合的第一通孔21，待镀膜基板放置于凹部，盖板20盖设于底板10上使待镀膜基板的至少部分通过第一通孔21外露；底板10与盖板20通过连接件连接。

本申请实施例中，凹部可以是盲孔也可以是通孔。可以理解地，底板10上凹部的作用是放置并承托待镀膜基板，因此凹部如果是通孔的话，需要在通孔内设置承托待镀膜基板的结构。凹部的形状、尺寸由待镀膜基板的形状、尺寸来决定。凹部的尺寸略大于待镀膜基板的尺寸，以便于将待镀膜基板放入凹部内。盖板20上第一通孔21的作用在于使待镀膜基板的至少部分外露于环境中，以便于对待镀膜基板进行镀膜。盖板20上第一通孔21的形状和尺寸由待镀膜基板需要镀膜的部分来决定，待镀膜基板上被遮挡的部分不会被镀膜。凹部与第一通孔21可以通过精雕工艺实现。

本申请实施例的夹治具在使用时，待镀膜基板放置于底板10的凹部以后，将盖板20盖设在底板10上，并用连接件将底板10和盖板20连接在一起，以便于对待镀膜基板外露于环境的部分进行镀膜。本申请实施例中，底板10与盖板20的形状、尺寸与镀膜机内放置待镀膜基板的平台的形状、尺寸能够配合使用即可。

本申请实施例提供的溅射镀膜用夹治具，将待镀膜基板放置于底板10的凹部，将盖板20盖设于底板10上且使待镀膜基板通过盖板20上的第一通孔21实现至少部分外露，并将底板10与盖板20连接且固定于镀膜机内，以对待镀膜基板进行溅射镀膜。上述夹治具通过改变底板10上凹部及盖板20上第一通孔21的尺寸，能够对不同尺寸的待镀膜基板进行镀膜，扩大了现有镀膜机的应用范围，满足了各种尺寸基板的镀膜需求。

可以理解地，采用盖板20来遮挡待镀膜基板部分区域的方式很多，比如可以通过减小第一通孔21的横截面尺寸实现，也可以采用遮挡结构实现。一些实施例中，第一通孔21的孔壁周侧形成有第一台阶部22以遮挡待镀膜基板的部分区域。本申请实施例中，参照图3，采用在第一通孔21的孔壁周侧设置第一台阶部22的形式，来遮挡待镀膜基板上无需镀膜的部分区域，以满足基板镀膜的需求。第一台阶部22可以设置在第一通孔21的任意深度。第一台阶部22与盖板20可以是分体式结构，也可以是一体式结构。可以理解地，由于第一通孔21内第一台阶部22的遮挡，在待镀膜基板的镀膜区域的外周形成镀膜线。

可以理解地，底板10上的凹部可以为盲孔，也就是说，盲孔的底部可以用于承托待镀膜基板；凹部也可以是通孔并设置用于承托待镀膜基板的承托结构。一些实施例中，凹部为贯穿底板10的第二通孔11，第二通孔11的孔壁周侧形成有第二台阶部12以承托待镀膜基板。也就是说，在第二通孔11的孔壁上设置台阶部作为承托结构。第二台阶部12与底板10可以是分体式结构，也可以是一体式结构。相比于盲孔，第二通孔11与第二台阶部12的设置可以避免待镀膜基板与盲孔底部的接触，从而避免待镀膜基板被划伤。

一些实施例中，凹部的数量为多个，多个凹部在底板10上间隔均匀布设。根据底板10的形状、尺寸以及待镀膜基板的形状、尺寸来设置凹部的数量。可以理解地，凹部的数量在允许范围内可以设置为最大值，以在底板10上可以放置尽量多的待镀膜基板，增加能够同时进行镀膜的基板数量。参照图1，在一具体实施例中，底板10的横截面为圆形，待镀膜基板为方形，则凹部设置为方形结构并设置为最大数量。另外，盖板20上的第一通孔21与上述凹部配合，即第一通孔21与凹部为一一对应的关系，故第一通孔21与凹部的数量相同且布设位置对应。

一些实施例中，盖板20上形成有第三通孔23，底板10上具有与第三通孔23配合的定位柱13，盖板20盖设于底板10上使定位柱13穿过第三通孔23。可以理解地，定位柱13与第三通孔23之间的配合关系，能够使盖板20与底板10相对位置固定，避免两者错位。进一步地，定位柱13的数量为多个，多个定位柱13在底板10上均匀间隔布设。可以理解地，第三通孔23与定位柱13的数量相同，布设位置也相互对应。具体地，参照图1、图2，定位柱13设置在底板10上相互对称的四个位置，同样地，第三通孔23设置在盖板20上相互对称的四个位置，以保证盖板20与底板10之间相对位置不变。

可以理解地，盖板20与底板10之间的连接方式有多种，比如螺接、卡接、粘接等。一些实施例中，盖板20上形成有第四通孔24，底板10上具有与第四通孔24配合的螺纹孔14，连接件为螺钉，螺钉穿过第四通孔24并螺接于螺纹孔14内使底板10与盖板20连接。螺接的连接方式操作简单，连接稳固，且能够简化底板10上与盖板20上的连接结构的设计。

进一步地，第四通孔24及螺纹孔14的数量均为多个，多个第四通孔24均匀间隔布设在第一通孔21的周侧，多个螺纹孔14均匀间隔布设在凹部的周侧。可以理解地，将盖板20与底板10之间的连接结构设置在待镀膜基板放置位置的周侧，能够保证每一个基板在镀膜机内转动时的稳定性。具体地，参照图1、图2，第一通孔21与凹部在平面内的投影均为方形，第一通孔21的每侧均有一个第四通孔24，凹部的每侧均有一个螺纹孔14；且相邻两个第一通孔21之间仅设置一个第四通孔24，相邻两个凹部之间仅设置一个螺纹孔14。

可以理解地，底板10的形状参考镀膜机内用于放置待镀膜基板的平台的形状设置。一些实施例中，底板10的横截面呈圆形，盖板20的横截面具有相对设置的两直边及相对设置的两弧形边，且直边与弧形边间隔布设，以使盖板20与镀膜机的卡塞配合。具体地，参照图2，盖板20的横截面形成两个直边，能够与镀膜机的卡塞卡合，以将夹治具固定在镀膜机内的平台上镀膜。

一些实施例中，第一通孔21在盖板20所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状。另一些实施例中，凹部在底板10所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状。具体地，参照图1、图2，第一通孔21在盖板20平面内的投影呈方形，凹部在底板10平面内的投影也呈方形。方形的四个角部向外凸出形成弧状，能够使放置待镀膜基板更加方便。另外，第一台阶部22的外边缘在盖板20平面内的投影也为方形。第一台阶部22外边缘的投影中方形的一角部向外凸出形成弧状，以使待镀膜基板的相应位置能够实现镀膜，方便基板在后续处理工序中的定位。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不同限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。并且，本实用新型各个实施方式之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。