一种籽晶抛光打磨机的制作方法

文档序号:27443167发布日期:2021-11-17 23:47阅读:355来源:国知局
一种籽晶抛光打磨机的制作方法

1.本实用新型涉及籽晶加工设备技术领域,尤其涉及一种籽晶抛光打磨机。


背景技术:

2.单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料,广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等,但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步,在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导,籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心,籽晶要求选材要好,要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分,一般取材部位与尾部要有足够距离,籽晶加工的过程中需要对籽晶的表面进行抛光打磨,而目前的抛光打磨机存在固定性差,打磨效果不好的问题。为此,我们提出一种籽晶抛光打磨机。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种籽晶抛光打磨机。
4.为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
5.一种籽晶抛光打磨机,包括底座,所述底座的顶部设有由电机a驱动的打磨带组件,所述打磨带组件的上方设有固定于底座上的龙门架,所述龙门架的下方设有由驱动器驱动的活动安装于于其内壁上的安装板,所述安装板的底部固定设有滑动安装于龙门架上的籽晶夹紧器,所述籽晶夹紧器包括定夹紧组件和动夹紧组件,所述定夹紧组件包括滑动安装于龙门架上的滑移块a,所述滑移块a的一侧通过若干连接杆连接有顶针座a,所述顶针座a上活动设有由电机座安装于滑移块a上的电机b驱动的旋转座a,所述旋转座a的一侧通过连接台a安装有顶针a。
6.进一步的,所述打磨带组件包括固定于底座上的支板,所述支板上活动安装有两根由电机a驱动的传动辊,两根所述传动辊之间通过传动带连接,所述传动带的表面固定安装有打磨带。
7.进一步的,所述驱动器包括螺接于安装板上的靠近其一侧处的由电机c驱动的且底部安装于底座上的丝杆,所述丝杆的两端设有安装于安装板上的且底部与底座固定的光杆a,所述光杆a的一侧设有安装于安装板上的且底部与底座固定的光杆b。
8.进一步的,所述滑移块a的一侧设有与其一体成型的且与龙门架上的滑槽a相配合的卡块a。
9.进一步的,所述旋转座a的侧壁设有与其一体成型的且与顶针座a上的环槽a相配合的卡环a。
10.进一步的,所述动夹紧组件包括滑动安装于龙门架上的滑移块b,所述滑移块b的一侧通过液压杆连接有顶针座b,所述顶针座b上活动设有旋转座b,所述旋转座b的一侧通过连接台b安装有顶针b。
11.进一步的,所述滑移块b的一侧设有与其一体成型的且与龙门架上的滑槽b相配合
的卡块b。
12.进一步的,所述旋转座b的侧壁设有与其一体成型的且与顶针座b上的环槽b相配合的卡环b。
13.本实用新型使用时将待打磨的籽晶置于定夹紧组件和动夹紧组件之间进行固定夹紧,夹紧后驱动器驱动安装板沿着龙门架向下移动,进而带动定夹紧组件和动夹紧组件沿着龙门架移动,使籽晶的下表面与打磨带组件接触,打磨带组件在电机a的驱动作用下对籽晶进行打磨,一面打磨完成后,电机b驱动旋转座a转动进而带动籽晶转动,从而实现对籽晶的另一面进行打磨,逐次完成对籽晶的各个面的打磨,由定夹紧组件和动夹紧组件配合将籽晶夹紧,籽晶的固定性好,且打磨效果好。
附图说明
14.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本技术的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
15.图1是本实用新型的整体结构示意图;
16.图2是本实用新型图1另一个角度的结构示意图;
17.图3是本实用新型的部分结构示意图;
18.图4是本实用新型图3的另一个角度的结构示意图;
19.图5是本实用新型底座和龙门架的结构示意图;
20.图6是本实用新型动夹紧组件的结构爆炸图;
21.图7是本实用新型定夹紧组件的结构爆炸图。
22.图中标号说明:1

底座、2

传动带、3

打磨带、4

电机a、5

滑移块b、6

液压杆、7

安装板、8

顶针座b、9

龙门架、10

电机c、11

滑移块a、12

槽a、13

光杆a、14

支板、15

传动辊、16

丝杆、17

连接台a、18

光杆b、19

旋转座b、20

顶针a、21

顶针座a、22

旋转座a、23

连接杆、24

电机座、25

卡块a、26

卡块b、27

顶针b、28

连接台b、29

滑槽b、30

卡环b、31

环槽b、32

电机b、33

滑槽a、34

卡环a。
具体实施方式
23.下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本实用新型。
24.如图1至7所示,本实施例提供一种籽晶抛光打磨机,包括底座1,所述底座1的顶部设有由电机a4驱动的打磨带组件,所述打磨带组件的上方设有固定于底座1上的龙门架9,所述龙门架9的下方设有由驱动器驱动的活动安装于于其内壁上的安装板7,所述安装板7的底部固定设有滑动安装于龙门架9上的籽晶夹紧器,所述籽晶夹紧器包括定夹紧组件和动夹紧组件,所述定夹紧组件包括滑动安装于龙门架9上的滑移块a11,所述滑移块a11的一侧通过若干连接杆23连接有顶针座a21,所述顶针座a21上活动设有由电机座24安装于滑移块a11上的电机b32驱动的旋转座a22,所述旋转座a22的一侧通过连接台a17安装有顶针a20。
25.将待打磨的籽晶置于定夹紧组件和动夹紧组件之间进行固定夹紧,夹紧后驱动器驱动安装板沿着龙门架9向下移动,进而带动定夹紧组件和动夹紧组件沿着龙门架9移动,
使籽晶的下表面与打磨带组件接触,打磨带组件在电机a4的驱动作用下对籽晶进行打磨,一面打磨完成后,电机b32驱动旋转座a22转动进而带动籽晶转动,从而实现对籽晶的另一面进行打磨,逐次完成对籽晶的各个面的打磨,由定夹紧组件和动夹紧组件配合将籽晶夹紧,籽晶的固定性好,且打磨效果好。
26.优选的,所述打磨带组件包括固定于底座1上的支板14,所述支板14上活动安装有两根由电机a4驱动的传动辊15,两根所述传动辊15之间通过传动带2连接,所述传动带2的表面固定安装有打磨带3。
27.电机a4驱动传动辊15转动进而带动传动带2转动,打磨带3随着传动带2一起转动,实现对籽晶的打磨。
28.优选的,所述驱动器包括螺接于安装板7上的靠近其一侧处的由电机c10驱动的且底部安装于底座1上的丝杆16,所述丝杆16的两端设有安装于安装板7上的且底部与底座1固定的光杆a13,所述光杆a13的一侧设有安装于安装板7上的且底部与底座1固定的光杆b18。
29.电机c10驱动丝杆16转动,进而带动安装板7沿着光杆a13和光杆b18移动,进而达到调节滑移块a11和动夹紧组件的效果,从而实现调整籽晶位置的目的。
30.优选的,所述滑移块a11的一侧设有与其一体成型的且与龙门架9上的滑槽a11相配合的卡块a25。
31.优选的,所述旋转座a22的侧壁设有与其一体成型的且与顶针座a21上的环槽a33相配合的卡环a34。
32.在电机c10的作用下滑移块a11上的卡块a25与滑槽a12滑动连接,便于调节滑移块a11的位置,卡环a34与卡槽a33配合,旋转座a22由电机b32驱动旋转。
33.优选的,所述动夹紧组件包括滑动安装于龙门架9上的滑移块b5,所述滑移块b5的一侧通过液压杆6连接有顶针座b8,所述顶针座b8上活动设有旋转座b19,所述旋转座b19的一侧通过连接台b28安装有顶针b27。
34.优选的,所述滑移块b5的一侧设有与其一体成型的且与龙门架9上的滑槽b29相配合的卡块b26。
35.优选的,所述旋转座b19的侧壁设有与其一体成型的且与顶针座b8上的环槽b31相配合的卡环b30。
36.液压杆6驱动顶针座b8移动从而在顶针a20的配合下将籽晶夹紧,在籽晶和旋转座a22的作用下带动旋转座b19转动。
37.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
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