蒸镀设备的制作方法

1.本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备。


背景技术：

2.在半导体显示制造过程中，蒸镀工艺被广泛应用。蒸镀工艺主要是通过坩埚加热蒸镀材料，使蒸镀材料蒸发形成蒸镀气体，蒸镀气体在玻璃板的表面沉积形成薄膜结构。由于蒸镀气体在玻璃板上沉积的效率受到蒸镀气体的温度的影响，因此，为保证沉积效率需要将玻璃板周围区域的蒸镀气体温度控制在一定范围内，通常该区域的气体温度不超过120℃。现有的蒸镀设置中，设置有一个沿水平方向延伸的工作平台，坩埚安装在工作平台的下方，玻璃板与掩模板一起组成掩模组件，掩模组件安装在工作平台的上方，且掩模组件沿工作平台的长度方向运动，在掩模组件的运动过程中，坩埚产生的蒸镀气体上升，并穿过工作平台上的蒸镀孔与掩模组件接触，实现蒸镀气体在玻璃板的表面沉积形成薄膜结构。由于坩埚与掩模组件之间存在一定的距离，因此蒸镀气体到达掩模组件附近区域的温度难以控制。以及，过高的蒸镀气体会对玻璃板造成不良的热影响，进而影响蒸镀质量以及蒸镀效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提出一种蒸镀设备，其能够对蒸镀气体的温度进行监控，提高蒸镀质量以及蒸镀效率。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供的一种蒸镀设备，包括蒸发源装置和工作平台，所述工作平台设置有贯穿其上下两侧面的多个蒸镀孔，多个所述蒸镀孔沿第一方向间隔设置，所述蒸发源装置位于所述工作平台的下方，所述工作平台的上侧面设置有温度计和用于运送掩模组件的驱动装置，所述驱动装置驱动所述掩模组件沿所述第一方向运动，并使所述掩模组件与所述蒸镀孔选择性正对，所述蒸发源装置产生的蒸镀气体能够穿过所述蒸镀孔流至所述掩模组件并形成薄膜结构，所述温度计用于测量所述蒸镀气体的温度。
6.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述温度计为多个，多个所述温度计沿所述第一方向间隔设置。
7.作为蒸镀设备的一种优选方案，沿所述第一方向，至少在所述工作平台的中部位置和两端位置设置有所述温度计。
8.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述驱动装置包括沿第二方向间隔设置的滚轮组，所述滚轮组包括多个沿所述第一方向间隔设置的滚轮，所述掩模组件放置于所述滚轮上，且所述滚轮用于驱动所述掩模组件运动，所述第二方向与所述第一方向垂直。
9.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述工作平台的上侧面还设置有散热板，所述散热板安装于相邻两个所述蒸镀孔之间，所述温度计设置于所述散热板的端部。
10.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述散热板与所述掩模组件间隔，所述散热板与
所述掩模组件之间的间距为l，l＝50～100mm。
11.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述温度计的量程为0～200℃。
12.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述工作平台的上侧面还设置有安装支架，所述温度计可拆卸设置于所述安装支架上。
13.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述安装支架包括竖直设置的第一安装板和水平设置的第二安装板，所述温度计安装于所述第二安装板上，所述第一安装板上设置有多个沿竖直方向间隔设置的连接孔，所述第二安装板通过紧固件安装于所述连接孔。
14.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述蒸镀设备还包括蒸镀腔室，所述掩模组件位于所述蒸镀腔室内。
15.本实用新型相比于现有技术的有益效果：
16.本实用新型的蒸镀设备，通过在工作平台上设置温度计，温度计用于测量掩模组件的下侧面以及周围区域的蒸镀气体的温度，以利于对蒸镀气体的温度进行实时监控。避免蒸镀气体流至掩模组件时的温度超过设定值，进而避免蒸镀气体影响蒸镀效果以及对掩模组件中的玻璃板造成不良的热影响，具有保证蒸镀质量和蒸镀效率的特点。
附图说明
17.图1为实施例的工作平台的俯视图。
18.图2为实施例的蒸镀设备的侧视剖视图。
19.图3为实施例的温度计的安装示意图。
20.图中：
21.1、设备本体；10、蒸镀腔室；2、蒸发源装置；3、工作平台；30、平台框架；31、蒸镀孔；32、滚轮；321、滚轮轴；33、散热板；34、第一安装板；341、连接孔；35、第二安装板；4、掩模板；5、玻璃板；6、温度计；61、导线；7、驱动电机。
具体实施方式
22.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
23.以下，参照附图来详细描述本实用新型。
24.实施例一
25.参照图1至图3所示，提供一种蒸镀设备，包括蒸发源装置2和工作平台3，工作平台3设置有贯穿其上下侧面的多个蒸镀孔31，多个蒸镀孔31沿第一方向间隔设置，蒸发源装置2位于工作平台3的下方，工作平台3的上侧面设置有温度计6和用于运送掩模组件的驱动装置，驱动装置驱动掩模组件沿第一方向运动，并使掩模组件与蒸镀孔31选择性正对，蒸发源装置2产生的蒸镀气体能够穿过蒸镀孔31流至掩模组件并形成薄膜结构，温度计6用于测量蒸镀气体的温度。本实施例中，蒸镀设置还包括设备本体1，设备本体1起整体支撑作用，蒸发源装置2和工作平台3均安装在设备本体1上。设备本体1具有用于蒸镀作业的空腔部，空
腔部能够对蒸镀气体的流动范围进行限制，以及通过与空腔部连通的回收管道对蒸镀后的废气进行收集。工作平台3位于空腔部内，工作平台3用于支撑位于其上方的掩模组件，掩模组件由掩模板4和玻璃板5组成，掩模板4用于承载玻璃板5，以及通过掩模板4对玻璃板5上不需要进行蒸镀的区域进行遮挡。工作平台3与空腔部的顶部之间形成用于蒸镀作业的蒸镀腔室10，掩模组件位于蒸镀腔室10内。蒸发源装置2位于工作平台3的下方，蒸发源装置2为坩埚，通过坩埚加热蒸镀材料形成蒸镀气体，蒸镀气体向上流动并穿过设置在工作平台3上的蒸镀孔31进入蒸镀腔室10，蒸镀气体与玻璃板5接触并沉积形成薄膜结构，完成对玻璃板5的蒸镀作业。蒸镀作业时，驱动装置驱动掩模组件沿第一方向运动，可使掩模组件相继通过每一个蒸镀孔31，当掩模组件位于蒸镀孔31的正上方时，即掩模组件与相对应的蒸镀孔31正对，蒸镀气体被喷射至玻璃板5的表面。温度计6设置在工作平台3的上侧面，温度计6能够测量工作平台3到掩模组件的下侧面之间区域的蒸镀气体的温度，由此获得蒸镀气体在与玻璃板5接触时的温度值，以实现在蒸镀作业过程中对蒸镀气体温度的实时监控，进而有利于保证蒸镀气体的温度在设定的范围内，具有提高蒸镀质量及蒸镀效率的特点。
26.需要说明的是，第一方向为工作平台3的长度方向，第二方向为工作平台3的宽度方向。
27.具体地，温度计6为多个，多个温度计6沿第一方向间隔设置。可以理解的是，掩模组件的下侧面的尺寸较大，一个温度计6无法对下侧面的各个位置的温度进行准确的测量。因此，沿工作平台3的长度方向间隔设置多个温度计6，有利于对掩模组件的不同区域的温度进行测量，有利于对下侧面的整个区域的温度进行更加准确的监控。作为优选方案，沿工作平台3的宽度方向的两侧均间隔设置有多个温度计6。
28.具体地，沿工作平台3的长度方向，工作平台3的中部位置和两端位置均设置有温度计6。可以理解的是，工作平台3的中部位置为工作平台3的长度方向的对称中线以及该对称中线附近区域。工作平台3的长度方向的两端分别为掩模组件开始蒸镀时以及结束蒸镀时的位置，因此，对工作平台3的两端位置以及中部位置进行温度监控，有利于对整个蒸镀区域的温度进行有效把控，使监控数据更具有代表性。当然，温度计6的具体设置位置可根据工作平台3的具体尺寸做相应选择。以及，当整个蒸镀区域的各个位置的温度值波动较大时，可减小相邻两个温度计6之间的间距，提高温度监控的准确性；当整个蒸镀区域的各个位置的温度值波动较小时，可增大相邻两个温度计6之间的间距，以减少温度计6的设置数量，节约成本。
29.具体地，驱动装置包括沿第二方向间隔设置的滚轮组，滚轮组包括多个沿第一方向间隔设置的滚轮32，掩模组件放置于滚轮32上，且滚轮32用于驱动掩模组件运动，第二方向与第一方向垂直。本实施例中，滚轮组有两个，两个滚轮组分别位于工作平台3的宽度方向的两端，每个滚轮组包括多个沿工作平台3的长度方向间隔设置的滚轮32。滚轮32沿其轴线转动，滚轮32通过滚轮轴321与安装在设备本体1上的驱动电机7同轴连接。掩模组件放置于滚轮32上，驱动电机7驱动滚轮32转动，以使掩模组件从工作平台3长度方向的一端向另一端运动。
30.具体地，工作平台3的上侧面还设置有散热板33，散热板33安装于相邻两个蒸镀孔31之间，散热板33位于工作平台3靠近掩模组件的一侧面，温度计6设置于散热板33的端部。本实施例中，工作平台3包括平台框架30，平台框架30呈矩形环状结构，平台框架30的中部
为镂空部，通过镂空部使平台框架30的上侧面和下侧面连通。散热板33沿平台框架30的长度方向间隔设置于镂空部内，并使相邻两个散热板33之间形成蒸镀孔31，或者位于平台框架30的长度方向两端的散热板33分别与平台框架30的两个端部之间形成蒸镀孔31。散热板33用于对蒸镀气体进行降温，散热板33采用导热性良好的材料制成，例如铝板、不锈钢板等，散热板33内设置有用于流通冷却液的散热通道，通过冷却液的流通带走从蒸镀气体传导至散热板33的热量。蒸镀时，由蒸发源装置2产生的蒸镀气体的温度较高，为使蒸镀气体的温度达到设定范围，需要在工作平台3与掩模组件之间设置散热板33，通过散热板33对蒸镀气体进行降温后与掩模组件接触。位于散热板33端部的温度计6可对蒸镀气体进行测温，并可根据温度计6的测量数据控制冷却液的流速，进而对散热板33的调温效率进行调节，以使蒸镀气体达到设定的温度值。
31.具体地，散热板33与掩模组件间隔，散热板33与掩模组件之间的间距为l，l＝50～100mm。可以理解的是，散热板33与掩模组件之间的间距l可直接影响掩模组件的下侧面以及周围区域的温度。间距l数值越小，散热板33对掩模组件的下侧面的散热效果越好。因此，两者之间的间距l可根据蒸镀气体的实际温度以及掩模组件的设定温度做适应性选择，本实施例优选间距l为80mm。
32.具体地，温度计6的量程为0～200℃。可以理解的是，本实施例中掩模组件的设定温度为不大于120℃，因此温度计6的量程设置为0～200℃。在其他实施例中，温度计6的量程根据被测量的蒸镀气体的实际温度做相应选择。
33.具体地，工作平台3的上侧面还设置有安装支架，安装支架设置于散热板33的两端位置，温度计6可拆卸设置于安装支架上。本实施例中，安装支架包括竖直设置的第一安装板34和水平设置的第二安装板35，第二安装板35安装在第一安装板34上。第二安装板35设置有用于安装温度计6的安装孔，温度计6与安装孔插接或者螺纹连接，以便于温度计6的拆卸。由于蒸镀气体会在温度计6上沉积形成薄膜结构，为避免薄膜结构对温度计6的测量造成影响，需要定期对温度计6进行清理。将温度计6与第二安装板35可拆卸连接，以方便清理操作。当然，温度计6通过导线61与监控主机连接，温度计6的测量数据通过导线61实时传输至监控主机。监控主机可根据测量数据控制散热板33的散热效率以及控制驱动装置的启停，确保掩模组件在蒸镀时的温度符合设计要求。
34.实施例二
35.参照图3所示，安装支架由第一安装板34和第二安装板35组成，第一安装板34沿竖直方向间隔设置有多个连接孔341，连接孔341为螺纹孔，第二安装板35通过紧固件安装于连接孔341。紧固件优选为螺钉，螺钉穿设在第二安装板35上，并将螺钉旋拧在连接孔341上。通过使螺钉与不同的连接孔341连接，实现对第二安装板35相对于工作平台3的高度调节，进而调节温度计6与掩模组件之间的间距，以便于测量不同位置的蒸镀气体的温度。
36.本实施例的技术效果为：通过在工作平台3上设置温度计6，温度计6用于测量掩模组件的下侧面以及周围区域的蒸镀气体的温度，以利于对蒸镀气体的温度进行实时监控。避免蒸镀气体流至掩模组件时的温度超过设定值，进而避免蒸镀气体影响蒸镀效果以及对掩模组件中的玻璃板5造成不良的热影响，具有保证蒸镀质量和蒸镀效率的特点。
37.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技
术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。