一种浆液桶开启装置及开盖机械手的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种浆液桶开启装置及开盖机械手。


背景技术：

2.在半导体生产工艺流程中，晶圆抛光是一道重要工序，而抛光浆液的纯净与否也是晶圆抛光重要的一环，现阶段在开启浆液桶时，容易造成浆液桶钮盖破坏、浆液桶损坏、对浆液桶内造成污染等问题，如何能在开启浆液桶的过程中高效且减少污染是极其重要的。
3.为此，亟需提供一种浆液桶开启装置及开盖机械手，以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种浆液桶开启装置，结构简单，操作灵活，能高效快速的开启浆液桶，桶内浆液无污染，有利于半导体的批量化生产。
5.本实用新型的另一个目的在于提供一种开盖机械手，能自动化的开启浆液桶，高效便捷，防止污染桶内浆液。
6.为实现上述目的，提供以下技术方案：
7.一种浆液桶开启装置，用于开启或拧紧浆液桶盖，所述浆液桶盖上凹设有十字凹槽，所述浆液桶开启装置包括：
8.操作件，所述操作件内部中空，所述操作件包括安装部和手持部，所述安装部位于所述操作件的一端，所述手持部与所述安装部连接；
9.至少两个接头件，沿周向间隔设于所述操作件上，每个所述接头件均呈一字形结构，且各所述接头件的宽度不一，所述接头件的一端与所述安装部固定连接，另一端用于插设于所述十字凹槽内；
10.延长组件，所述延长组件的一端与所述手持部可拆卸连接。
11.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述接头件与所述安装部焊接。
12.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述延长组件包括第一延长件，所述第一延长件能够插设于所述手持部内，所述第一延长件上设有弹性销，所述手持部的壁面开设有至少一个第一卡接孔，所述弹性销能够卡入所述第一卡接孔。
13.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述第一延长件内部中空，所述第一延长件上远离所述弹性销的一端开设有第二卡接孔，一个所述第一延长件的所述弹性销能够卡入另一个所述第一延长件的所述第二卡接孔。
14.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述延长组件包括第二延长件，所述第二延长件包括相连的第一轴段和第二轴段，所述第一轴段设有外螺纹，所述手持部的内壁设有内螺纹，所述第一轴段与所述手持部的内壁螺接。
15.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述延长组件采用塑料材质制成。
16.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述接头件包括第一接头件和第二接头件，所
述第一接头件的长度为50mm，宽度为25mm，高度大于所述十字凹槽的槽深；所述第二接头件的长度为50mm,宽度为17mm,高度大于所述十字凹槽的槽深。
17.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述手持部的外壁面设有防滑纹。
18.作为浆液桶开启装置的可选方案，所述操作件采用不锈钢材质制成。
19.一种开盖机械手，包括旋转机构、升降机构和如上任一方案所述的浆液桶开启装置，所述旋转机构的固定端吊装于所述升降机构的输出端，所述旋转机构的输出端与所述手持部连接。
20.与现有技术相比，本实用新型的有益效果：将至少两个呈一字形结构的接头件设置在操作件的安装部，通过将接头件的一端插设在浆液桶盖的十字凹槽内，人工旋转手持部，结构简单，操作灵活，实现浆液桶盖的开启或拧紧；各接头件的宽度不一，通过切换不同类型的接头件，实现不同型号的浆液桶盖的开启或拧紧，提高浆液桶开启装置的通用性；通过将延长组件的一端与手持部可拆卸连接，延长作用力的力臂，实现高效快速的开启浆液桶，避免污染桶内浆液，有利于半导体的批量化生产。
21.本实用新型所提供的一种开盖机械手，将旋转机构的固定端吊装在升降机构的输出端，旋转机构的输出端与手持部连接，实现自动化的开启浆液桶，高效便捷，防止污染桶内浆液，有利于半导体的批量化生产。
附图说明
22.图1为本实用新型实施例中浆液桶盖的示意图；
23.图2为本实用新型实施例中浆液桶开启装置的示意图；
24.图3为本实用新型实施例中第一延长件的结构示意图；
25.图4为本实用新型实施例中第二延长件的结构示意图。
26.附图标记：
27.1、操作件；2、接头件；3、延长组件；4、浆液桶盖；
28.11、安装部；12、手持部；121、第一卡接孔；122、挂接孔；
29.21、第一接头件；22、第二接头件；
30.31、第一延长件；311、弹性销；312、第二卡接孔；32、第二延长件；321、第一轴段；322、第二轴段；
31.41、十字凹槽。
具体实施方式
32.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
33.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
35.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
36.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
39.以下结合图1至图4对本实施例的具体内容进行详细描述。
40.本实施例提供一种浆液桶开启装置，用于开启或拧紧晶圆抛光工艺过程中所使用的浆液桶的浆液桶盖4。如图1所示，浆液桶盖4上凹设有十字凹槽41。本实施例中，为方便描述，以如图2所示方向建立坐标系，其中，x方向为接头件2的高度方向，y方向为接头件2的宽度方向，z方向为接头件2的长度方向，x方向、y方向和z方向两两垂直，符合右手坐标法则。
41.如图2所示，浆液桶开启装置包括操作件1、接头件2和延长组件3，沿z方向延伸的操作件1内部中空，操作件1包括安装部11和手持部12，手持部12位于操作件1的一端，手持部12和安装部11连接，在其他实施例中，手持部12和安装部11可以一体化成形；至少两个接头件2沿周向间隔设置在操作件1上，每个接头件2均呈一字形结构，且各接头件2的宽度不一，不同宽度的接头件2能适应不同宽度的十字凹槽41；接头件2的一端用于插设于十字凹槽41内，另一端沿x方向与安装部11垂直连接。通过旋转切换接头件2，即可实现开启不同类型的浆液桶盖4。延长组件3的一端与手持部12可拆卸连接，可以进一步延长操作件1的长度，有利于开启浆液桶盖4，当完成操作后，还可以将延长组件3从手持部12上卸下，减小占用空间，方便存放。当两个接头件2设置于操作件1时，浆液桶开启装置整体呈t字型结构，使重心位于整体的一端，便于倒立放置，既可以进一步减小占用空间，又可以使重心下移，避免倾斜摔倒，实现稳定放置。接头件2发生转动时，还可以保护浆液桶盖4不被损坏，使其可
以重复利用，节约资源。手持部12还设有挂接孔122，采用柔性绳穿过挂接孔122，便于浆液桶开启装置的收纳。本实施例中的接头件2采用呈长方体结构。
42.简而言之，将至少两个呈长方体结构的接头件2设置在操作件1的安装部11，通过将接头件2的一端插设在浆液桶盖4的十字凹槽41内，人工旋转手持部12，结构简单，操作灵活，实现浆液桶盖4的开启或拧紧；各接头件2的宽度不一，通过旋转切换不同宽度的接头件2，实现不同型号的浆液桶盖4的开启或拧紧，提高浆液桶开启装置的通用性；通过将延长组件3的一端与手持部12连接，进一步延长作用力的力臂，实现高效快速的开启浆液桶，避免污染桶内浆液，有利于半导体的批量化生产。
43.在其他实施例中，接头件2还可以设为十字形结构，该十字形结构与十字凹槽41相适配。，增大十字形的接头件2与浆液桶盖4的十字凹槽41的接触面积，进一步减小对浆液桶盖4的磨损。
44.进一步地，接头件2与安装部11焊接，实现接头件2与安装部11的稳定连接，在开启浆液桶盖4的过程中，避免浆液桶开启装置发生折断，危及人员安全。
45.在本实用新型一可选实施例中，如图3所示，延长组件3可以为第一延长件31，第一延长件31能够插设于手持部12内，第一延长件31上设有弹性销311，手持部12的壁面开设有至少一个第一卡接孔121，弹性销311能够卡入第一卡接孔121。采用弹性销311和第一卡接孔121的安装方式，操作简单，便于使用。在一优选实施例中，手持部12的壁面开设有三个第一卡接孔121，可以根据实际需要，选择弹性销311卡入手持部12的位置，实现作用力力臂的调节。
46.进一步地，第一延长件31内部中空，第一延长件31上远离弹性销311的一端开设有第二卡接孔312，一个第一延长件31的弹性销311能够卡入另一个第一延长件31的第二卡接孔312，从而实现多个第一延长件31之间的拼接，进一步延长浆液桶开启装置的力臂。
47.在本实用新型另一可选实施例中，如图4所示，延长组件3还可以为第二延长件32，第二延长件32包括相连的第一轴段321和第二轴段322，第一轴段321设有外螺纹，手持部12的内壁设有内螺纹，第一轴段321与手持部12的内壁螺接，进一步延长浆液桶开启装置的力臂，操作简单，连接稳定可靠。
48.进一步地，延长组件3采用塑料材质制成，塑料材质便于注塑成型，生产成本低，耐磨可靠，延长使用寿命。
49.进一步地，根据实际要求具体地，接头件2包括第一接头件21和第二接头件22，第一接头件21的长度为50mm，宽度为25mm，高度大于十字凹槽41的槽深，第二接头件22的长度为50mm,宽度为17mm,高度大于十字凹槽41的槽深。
50.进一步地，手持部12的外壁面设有防滑纹或防滑凸起，当人工操作时，增大手持部12与手的摩擦系数，便于操作使用。
51.进一步地，操作件1采用不锈钢材质制成，具体地，本实施中的操作件1采用不锈钢方管，轻巧耐腐蚀，一方面，便于操作人员拿取；另一方面，延长使用寿命。
52.本实施例还提供的一种开盖机械手，开盖机械手包括旋转机构、升降机构和浆液桶开启装置，旋转机构的固定端吊装于升降机构的输出端，旋转机构的输出端与手持部12连接，以带动手持部12旋转，实现自动化的开启浆液桶，高效便捷，防止污染桶内浆液，有利于半导体的批量化生产。
53.本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。