一种适用于半导体生产用晶圆抛光机的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产技术领域，具体涉及一种半导体生产用晶圆抛光机。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。半导体在过程中需要对其进行抛光，降低半导体表面的粗糙度，提升其表面的光亮度和平整度，提升半导体的使用效果。
3.现有的抛光机的在对半导体进行抛光时，只是将半导体放置于放置槽内，由于转盘在转动过程中会产生离心力并带动半导体晃动或偏移，影响对半导体的抛光效果，且对半导体在进行不同位置抛光时，需要暂停抛光并通过人工调节半导体位置进行抛光，费时费力且降低了抛光机的使用效果。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用晶圆抛光机，通过设置有固定组件和调节组件，以解决上述背景技术中提出的现有的抛光机的在对半导体进行抛光时，只是将半导体放置于放置槽内，由于转盘在转动过程中会产生离心力并带动半导体晃动或偏移，影响对半导体的抛光效果，且对半导体在进行不同位置抛光时，需要暂停抛光并通过人工调节半导体位置进行抛光，费时费力且降低了抛光机的使用效果的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种适用于半导体生产用晶圆抛光机，包括底座，所述底座的上表面固定安装有u型架，所述u型架的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的输出轴固定连接有支撑板，所述支撑板的下表面固定安装有若干个弹簧一，若干个所述弹簧一的底端固定连接有抛光盘，所述u型架的内部设置有调节组件，所述调节组件被装配为用于调节抛光盘的位置，从而便于对半导体进行精准抛光，所述底座的内部固定安装有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的一端转动穿过底座内顶壁卡接的轴承一并固定连接有转盘，所述转盘的上表面开设有放置槽，所述底座的内底部左右两侧分别固定安装有两个碎屑收集箱，所述碎屑收集箱的内部安装有过滤网，两个所述碎屑收集箱的上表面均连通有进风管，两个所述进风管的一端均穿过底座的内顶壁并分别延伸至转盘顶部的左右两侧，所述进风管的一端固定安装有吸尘罩，所述碎屑收集箱的一侧面连通有出风管，所述出风管的一端穿过底座的内侧壁并延伸至底座的外部，所述出风管的管段上固定安装有抽风机，所述转盘的上表面设置有固定组件，所述固定组件被装配为用于对半导体进行固定，所述固定组件包括固定板一、固定板二、两个夹持板、拉杆和弹簧二，所述固定板一和固定板二分别固定安装在转盘的上表面前后两侧，两个所述夹持板的一侧面分别固定安装在固定板二的前侧面和拉杆的一端，所述拉杆的另一端
滑动穿过固定板一后侧面安装的滑套并固定连接有把手，所述弹簧二套接在拉杆上且其两端分别与把手和固定板一固定连接。
6.采用上述方案，通过设置有调节组件，调节拉杆带动位于前侧的夹持板的进行向前运动，同时带动弹簧二进行拉伸或收缩，弹簧二形变产生的作用力作用于拉杆上，带动拉杆上的夹持板向固定板二上的夹持板进行靠近从而夹紧半导体，配合气弹簧形变作用于海绵橡胶板从而对半导体在夹持固定时进行缓冲保护，进而对半导体进行稳固夹持固定，操作简单，使用方便，固定效果好；通过设置有调节组件，通过调节往复丝杆，带动往复丝杆上的活动块进行向左或向右运动，在滑槽和滑块的限位作用下，带动电动推杆稳定的向左或向右运动，从而可根据半导体的抛光区域要求进行调节抛光盘的位置进行抛光，从而提升抛光机的使用效果。
7.作为一种优选的实施方式，所述调节组件包括往复丝杆和电机二，所述往复丝杆的两端分别转动连接在u型架的内壁面左右两侧，所述往复丝杆的一端转动穿过u型架的内壁面左侧卡接的轴承二并与电机二的输出轴固定连接，所述电机二的固定安装在u型架的左侧面，所述往复丝杆活动块的下表面与电动推杆的上表面固定连接。
8.采用上述方案，通过电机二带动往复丝杆上的活动块进行向左或向右运动，从而带动电动推杆稳定的向左或向右运动，进而可根据半导体的抛光区域调节抛光盘的位置进行抛光，满足抛光需求。
9.上述方案中，需要说明的是，所述电机一、电机二、电动推杆和抽风机均与外接电源电性连接。
10.作为一种优选的实施方式，所述u型架的内顶壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动安装有滑块，所述滑块的下表面与往复丝杆活动块的上表面固定连接。
11.采用上述方案，通过往复丝杆上的活动块带动滑块在滑槽内滑动，利用滑槽和滑块对往复丝杆上的活动块上的活动块进行限位，使得往复丝杆上的活动块在进行左右运动时不会发生偏转，从而提升往复丝杆上的活动左右运动时的稳定性。
12.作为一种优选的实施方式，所述固定板一的后侧面上固定安装有两个伸缩杆一，两个所述伸缩杆一的活动轴端部均与夹持板固定连接。
13.采用上述方案，通过拉杆左右运动同时带动伸缩杆一进行伸长或收缩，从而使得拉杆左右运动时不会发生偏转，从而稳定的带动夹持板对半导体进行夹持固定。
14.作为一种优选的实施方式，所述弹簧一的内部套接有伸缩杆二，所述伸缩杆二的两端分别与支撑板的下表面和抛光盘的上表面固定连接。
15.采用上述方案，通过抛光盘上下运动时同时带动伸缩杆二进行伸长或收缩，从而使得抛光盘在弹簧一形变产生的作用力的带动下，保证抛光盘稳定的上下运动从而对半导体起到很好的缓冲作用，且不会发生偏转。
16.作为一种优选的实施方式，两个所述夹持板的夹持面上均固定安装若干个气弹簧，若干个所述气弹簧的一端固定连接有同一个海绵橡胶板。
17.采用上述方案，利用气弹簧形变产生的作用力作用于海绵橡胶板上，从而通过夹持板半导体进行夹持固定时对半导体进行缓冲保护，且配合海绵橡胶板的防滑效果对半导体进行稳固。
18.作为一种优选的实施方式，所述转盘的下表面固定安装有若干个万向球，所述底
座的上表面固定安装有圆环，所述万向球滚动安装在圆环内。
19.采用上述方案，通过转盘转动带动万向球在圆环滚动，从而利用圆环和万向球对转盘进行支撑固定，使得转盘稳定的进行转动。
20.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
21.该适用于半导体生产用晶圆抛光机通过设置有调节组件，调节拉杆带动位于前侧的夹持板的进行向前运动，同时带动弹簧二进行拉伸或收缩，弹簧二形变产生的作用力作用于拉杆上，带动拉杆上的夹持板向固定板二上的夹持板进行靠近从而夹紧半导体，配合气弹簧形变作用于海绵橡胶板从而对半导体在夹持固定时进行缓冲保护，进而对半导体进行稳固夹持固定，操作简单，使用方便；
22.该适用于半导体生产用晶圆抛光机通过设置有调节组件，通过调节往复丝杆，带动往复丝杆上的活动块进行向左或向右运动，在滑槽和滑块的限位作用下，带动电动推杆稳定的向左或向右运动，从而可根据半导体的抛光区域要求进行调节抛光盘的位置进行抛光，从而提升抛光机的使用效果。
附图说明
23.图1为本实用新型主视剖面的结构示意图；
24.图2为本实用新型左视剖面的结构示意图；
25.图3为本实用新型a处放大的结构示意图；
26.图4为本实用新型转盘的结构示意图；
27.图5为本实用新型夹持板的结构示意图。
28.图中：1、底座；2、u型架；3、电动推杆；4、支撑板；5、弹簧一；6、抛光盘；7、电机一；8、转轴；9、转盘；10、放置槽；11、碎屑收集箱；12、过滤网；13、进风管；14、出风管；15、抽风机；16、固定板一；17、固定板二；18、拉杆；19、弹簧二；20、往复丝杆；21、电机二；22、滑槽；23、滑块；24、夹持板；25、伸缩杆一；26、伸缩杆二；27、气弹簧；28、海绵橡胶板；29、万向球；30、圆环。
具体实施方式
29.下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。
30.以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整，在本实用新型的构思前提下对本实用新型的方法简单改进都属于本实用新型要求保护的范围。
31.请参阅图1
‑
5，本实用新型提供一种适用于半导体生产用晶圆抛光机，包括底座1，底座1的上表面固定安装有u型架2，u型架2的内部设置有电动推杆3，电动推杆3的输出轴固定连接有支撑板4，支撑板4的下表面固定安装有若干个弹簧一5，若干个弹簧一5的底端固定连接有抛光盘6，u型架2的内部设置有调节组件，调节组件被装配为用于调节抛光盘6的位置，从而便于对半导体进行精准抛光，底座1的内部固定安装有电机一7，电机一7的输出轴固定连接有转轴8，转轴8的一端转动穿过底座1内顶壁卡接的轴承一并固定连接有转盘9，转盘9的上表面开设有放置槽10，底座1的内底部左右两侧分别固定安装有两个碎屑收集箱11，碎屑收集箱11的内部安装有过滤网12，两个碎屑收集箱11的上表面均连通有进风管
13，两个进风管13的一端均穿过底座1的内顶壁并分别延伸至转盘9顶部的左右两侧，进风管13的一端固定安装有吸尘罩，碎屑收集箱11的一侧面连通有出风管14，出风管14的一端穿过底座1的内侧壁并延伸至底座1的外部，出风管14的管段上固定安装有抽风机15，转盘9的上表面设置有固定组件，固定组件被装配为用于对半导体进行固定，固定组件包括固定板一16、固定板二17、两个夹持板24、拉杆18和弹簧二19，固定板一16和固定板二17分别固定安装在转盘9的上表面前后两侧，两个夹持板24的一侧面分别固定安装在固定板二17的前侧面和拉杆18的一端，拉杆18的另一端滑动穿过固定板一16后侧面安装的滑套并固定连接有把手，弹簧二19套接在拉杆18上且其两端分别与把手和固定板一16固定连接；通过设置有调节组件，调节拉杆18带动位于前侧的夹持板24的进行向前运动，同时带动弹簧二19进行拉伸或收缩，弹簧二19形变产生的作用力作用于拉杆18上，带动拉杆18上的夹持板24向固定板二17上的夹持板24进行靠近从而夹紧半导体，配合气弹簧27形变作用于海绵橡胶板28从而对半导体在夹持固定时进行缓冲保护，进而对半导体进行稳固夹持固定，操作简单，使用方便，固定效果好。
32.调节组件包括往复丝杆20和电机二21，往复丝杆20的两端分别转动连接在u型架2的内壁面左右两侧，往复丝杆20的一端转动穿过u型架2的内壁面左侧卡接的轴承二并与电机二21的输出轴固定连接，电机二21的固定安装在u型架2的左侧面，往复丝杆20活动块的下表面与电动推杆3的上表面固定连接；通过设置有调节组件，通过调节往复丝杆20，带动往复丝杆20上的活动块进行向左或向右运动，在滑槽22和滑块23的限位作用下，带动电动推杆3稳定的向左或向右运动，从而可根据半导体的抛光区域要求进行调节抛光盘6的位置进行抛光，从而提升抛光机的使用效果。
33.u型架2的内顶壁开设有滑槽22，滑槽22内滑动安装有滑块23，滑块23的下表面与往复丝杆20活动块的上表面固定连接；通过往复丝杆20上的活动块带动滑块23在滑槽22内滑动，利用滑槽22和滑块23对往复丝杆20上的活动块上的活动块进行限位，使得往复丝杆20上的活动块在进行左右运动时不会发生偏转，从而提升往复丝杆20上的活动左右运动时的稳定性。
34.固定板一16的后侧面上固定安装有两个伸缩杆一25，两个伸缩杆一25的活动轴端部均与夹持板24固定连接；通过拉杆18左右运动同时带动伸缩杆一25进行伸长或收缩，从而使得拉杆18左右运动时不会发生偏转，从而稳定的带动夹持板24对半导体进行夹持固定。
35.弹簧一5的内部套接有伸缩杆二26，伸缩杆二26的两端分别与支撑板4的下表面和抛光盘6的上表面固定连接；通过抛光盘6上下运动时同时带动伸缩杆二26进行伸长或收缩，从而使得抛光盘6在弹簧一5形变产生的作用力的带动下，保证抛光盘6稳定的上下运动从而对半导体起到很好的缓冲作用，且不会发生偏转。
36.两个夹持板24的夹持面上均固定安装若干个气弹簧27，若干个气弹簧27的一端固定连接有同一个海绵橡胶板28；利用气弹簧27形变产生的作用力作用于海绵橡胶板28上，从而通过夹持板24半导体进行夹持固定时对半导体进行缓冲保护，且配合海绵橡胶板28的防滑效果对半导体进行稳固。
37.转盘9的下表面固定安装有若干个万向球29，底座1的上表面固定安装有圆环30，万向球29滚动安装在圆环30内；通过转盘9转动带动万向球29在圆环30滚动，从而利用圆环
30和万向球29对转盘9进行支撑固定，使得转盘9稳定的进行转动。
38.在使用时，拉动把手带动拉杆18向前运动，拉杆18带动位于前侧的夹持板24向前运动，再将半导体放置于转盘9上的放置槽10内，慢慢放开把手，配合弹簧二19的弹性，带动拉杆18和位于前侧的夹持板24向前运动，使得两个夹持板24的夹持面同时与半导体进行接触并对半导体进行夹持固定，启动电机二21，带动往复丝杆20转动从而带动往复丝杆20上的活动块进行左右运动，同时带动滑块23在滑槽22内滑动，从而稳定的带动电动推杆3上的抛光盘6进行左右调节，将抛光盘6对准半导体上需要抛光的区域，调节完成后关闭电机二21，启动电动推杆3带动抛光盘6向下运动使抛光盘6与半导体相接触，随后再启动电机一7，电机一7带动转轴8转动，转轴8带动转盘9上的半导体转动从而配合抛光盘6对其进行抛光，同时启动抽风机15，抽风机15配合进风管13将抛光后的碎屑灰尘通过吸尘罩吸入碎屑收集箱11内，通过过滤网12对碎屑灰尘进行过滤，从而将干净气体从出风管14排出，保证抛光机的干净整洁。
39.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。