1.一种化学机械抛光检测装置，其特征在于，包括对透明的工件进行夹持的工件夹持部，所述工件加持部上设置有压力传感器，所述压力传感器用于测量所述工件在抛光压力作用下由于法向位移而产生的法向压力；所述工件加持部上还设置有拍摄区域；
还包括用于带动抛光垫转动的驱动部；
还包括用于对抛光垫的表面形貌进行图像采集的图像采集部，所述图像采集部透过所述拍摄区域对所述抛光垫的表面形貌进行图像采集。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述拍摄区域的面积大于所述抛光垫的面积。
3.根据权利要求2所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述压力传感器设置有2个，且分别位于所述工件安装后对角线的两端。
4.根据权利要求1或3所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述驱动部的驱动轴上设置有用于测量扭矩的扭矩传感器。
5.根据权利要求4所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述工件夹持部上设置有用于夹持所述工件的夹持槽，所述夹持槽处设置有所述压力传感器；所述夹持槽处还设置有若干螺栓孔，固定螺栓通过所述螺栓将所述工件固定在所述夹持槽中。
6.根据权利要求4所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述工件夹持部固定在一滑块上，所述滑块滑动设置在一固定支架上，所述固定支架滑动设置在一基座上。
7.根据权利要求6所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述固定支架上设置有第一丝杠，所述第一丝杠上连接有第一螺母，所述第一螺母与所述滑块固定连接；所述固定支架上还设置有第一滑槽，所述滑块上设置有与所述第一滑槽滑动配合的第一凸块。
8.根据权利要求6所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述基座上设置有第二丝杠，所述第二丝杠上连接有第二螺母，所述第二螺母与所述固定支架固定连接；所述基座上还设置有第二滑槽，所述固定支架上还设置有与所述第二滑槽配合的第二凸块。
9.根据权利要求4所述的化学机械抛光检测装置，其特征在于，所述图像采集部滑动设置在图形采集支架上，所述图像采集部包括工业相机，所述工业相机的物镜正对所述拍摄区域，所述工业相机上还设置有用于调节焦距的焦距调节旋钮。
10.一种化学机械抛光检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将抛光垫固定在抛光盘上；
2)将工件放入夹持槽中，并用固定螺栓压紧固定，并调节工件夹持部的位置，使工件表面紧贴抛光垫；
3)调整工业相机的位置，使物镜正对抛光垫，然后调节物镜焦距，使工业相机能够采集到抛光垫表面形貌的清晰图样；
4)将工业相机、扭矩传感器、压力传感器与监测系统电连接；
5)开启驱动部对工件进行抛光。