1.一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述加工装置包括微波源(1)、微波环形器(2)、功率调节器(3)、矩形波导(4)、调谐器(5)、天线(6)、反应箱(7)、混气系统(8)、真空系统(9)，所述微波源(1)连接微波环形器(2)，所述微波环形器(2)射出端连接矩形波导(4)，所述功率调节器(3)分别连接微波环形器(2)的射出端和微波源(1)，功率调节器(3)根据微波射出功率调整微波源(1)激发功率，所述矩形波导(4)侧壁上设置调谐器(5)，所述反应箱(7)安装到矩形波导(4)的末端侧面，所述天线(6)插入矩形波导(4)和反应箱(7)的顶端，所述混气系统(8)往反应箱(7)内注入工质气体，所述真空系统(9)对反应箱(7)内抽真空并保持真空状态；所述反应箱(7)内等离子云受电磁力而进行内循环。
2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述反应箱(7)包括箱体(71)、石英窗(72)、基片台(73)和磁体(74)，所述箱体(71)竖直布置，箱体(71)内中间位置设置石英窗(72)，所述石英窗(72)将箱体(71)内空间隔开为谐振腔(711)和反应腔(712)，所述反应腔(712)远离石英窗(72)的底部设置基片台(73)，所述天线(6)插入谐振腔(711)的顶部，所述磁体(74)设置在反应腔(712)的侧壁面，所述石英窗(72)上开设窗口(721)，所述窗口(721)在石英窗(71)中间位置的开口面积大于径向外侧的开口面积，窗口(721)圆周均布，所述送气系统(8)连接至谐振腔(711)，所述真空系统(9)连接反应腔(712)底部。
3.根据权利要求2所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述磁体(74)的磁感线水平穿过基片台(73)上方空间，磁体(74)磁感线以箱体(71)竖直中心线作旋转运动。
4.根据权利要求3所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述磁体(74)包括若干个电磁铁，所述电磁铁以箱体(71)竖直中心线为轴线圆周均布，电磁铁的电磁性两端径向布置，所有电磁铁的励磁线圈互锁。
5.根据权利要求4所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述真空系统(9)包括真空泵组(91)和抽空管路(92)，所述真空泵组(91)通过抽空管路(92)连接至反应腔(712)，所述抽空管路(92)端部设置抽空口(921)，所述抽空口(921)均布在基片台(73)的四周。
6.根据权利要求4所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述抽空口(921)数量与电磁铁数量相同，抽空口(921)以箱体(71)竖直中心线为轴线均布，所述电磁铁至少有两个相面对的不通电，所述抽空管路(92)在每个抽空口(921)处均设置电磁阀并单独控制启闭，处于电磁铁极性之间的抽空口(921)开启、其余抽空口(921)关闭。
7.根据权利要求6所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述电磁阀的通断控制与电磁铁的电流控制互锁。
8.根据权利要求2所述的一种微波等离子体加工装置，其特征在于：所述混气系统(8)包括气瓶组(81)和送气管线(82)，所述气瓶组(81)调配工质气体比例经由送气管线(82)送入谐振腔(711)内。