一种阴极材料及制备方法、包含其的等离子体炬阴极与流程

文档序号:34365466发布日期:2023-06-04 20:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种阴极材料,其特征在于,所述阴极材料的制备原料包括金属铪和六硼化镧,所述六硼化镧的含量为所述制备原料总质量的1-8%。

2.根据权利要求1所述的阴极材料,其特征在于,所述六硼化镧的含量为所述制备原料总质量的2-5%,进一步优选2-3%。

3.权利要求1或2的阴极材料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:将金属铪和六硼化镧进行湿法球磨,并对球磨后的混合粉末进行烧结,得到所述阴极材料。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:

5.根据权利要求3或4所述的制备方法,其特征在于,在所述湿法球磨中,球料比为(2-5):1;

6.根据权利要求3或4所述的制备方法,其特征在于,所述烧结的温度为1100-1300℃,压力为30-50mpa;

7.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述湿法球磨的溶剂为乙醇,所述干燥的方法包括:在真空环境下,先在40-45℃下干燥,然后再在65-70℃下干燥12h以上。

8.一种等离子体炬阴极,其特征在于,所述等离子体炬阴极包含权利要求1或2所述的阴极材料。

9.权利要求8所述的等离子体炬阴极的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:将权利要求1或2所述的阴极材料进行机械加工,得到阴极芯,将所述阴极芯固定在基座上,得到所述等离子体炬阴极。

10.一种等离子体炬,其特征在于,所述等离子体炬包括权利要求8所述的等离子体炬阴极。


技术总结
本公开涉及一种阴极材料及制备方法,包含其的等离子体炬阴极。所述阴极材料的制备原料包括金属铪和六硼化镧,所述六硼化镧的含量为所述制备原料总质量的1‑8%。本公开提供的阴极材料具有较高的发射电子密度、较低的电子逸出功、其电弧稳定性以及高温耐烧蚀性同样较优,当在等离子体炬中应用本公开的阴极材料时,可以极大程度的延长等离子体炬阴极的烧蚀寿命。

技术研发人员:王文阁,胡智峰,张从阳,杨爽,李全
受保护的技术使用者:新奥科技发展有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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