技术特征：
1.一种全自动硅片倒角设备，包括：控制机构（1）；吸盘机构（2）；倒角机构（3）；以及归零机构（4）；所述吸盘机构（2）通过悬臂梁（5）与控制机构（1）连接；其特征在于，所述吸盘机构（2）与倒角机构（3）设置于所述控制机构（1）的一侧且通过隔离箱（6）与该控制机构（1）之间隔离设置；所述吸盘机构（2）位于所述悬臂梁（5）的下方且其由所述控制机构（1）带动相对所述归零机构（4）及倒角机构（3）移动，自动完成归零和硅片倒角动作。2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述吸盘机构（2）、倒角机构（3）以及归零机构（4）的工作区均位于所述隔离箱（6）内，所述悬臂梁（5）穿过该隔离箱（6）的上方与所述吸盘机构（2）相连接。3.根据权利要求2所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述倒角机构（3）远离所述控制机构（1）的一侧设置。4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述吸盘机构（2）包括：载台组件（201）、动力组件（202）、传动组件（203）以及吸盘（204）；动力组件（202）通过传动组件（203）驱动安装于所述载台组件（201）上方的吸盘（204）转动；所述动力组件（202）与所述载台组件（201）并排设置于所述传动组件（203）上。5.根据权利要求4所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述传动组件（203）的一侧通过延伸件（7）与所述悬臂梁（5）连接。6.根据权利要求4所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述载台组件（201）包括：支撑座（2011）；主轴（2012），所述主轴（2012）转动安装于支撑座（2011）内部。7.根据权利要求6所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述主轴（2012）内部设有中空气体通道（20121）；所述中空气体通道（20121）上部贯穿吸盘（204），下部与真空抽气设备连接。8.根据权利要求1-7任一项所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述控制机构（1）包括：x轴调节机构（101）；y轴调节机构（102）；以及z轴调节机构（103），其包括相对滑动配合设置的导向板（1031）和滑动架（1032），所述悬臂梁（5）水平可调连接于所述滑动架（1032）的一侧。9.根据权利要求8所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述z轴调节机构（103）通过工装机构（104）连接在所述y轴调节机构（102）的上部；所述工装机构（104）包括设置于所述z轴调节机构（103）底部的安装板（1041）以及滑动安装于所述y轴调节机构（102）上且与其驱动端相连接的承载板（1042），所述安装板（1041）与所述承载板（1042）通过紧固件（1043）固定连接。
10.根据权利要求2所述的一种全自动硅片倒角设备，其特征在于，所述倒角机构（3）的工作区之外的部分设有围挡（301），该围挡（301）靠近倒角机构（3）的工作区的端部收拢设置且与所述隔离箱（6）相通。
技术总结
本发明提供了一种全自动硅片倒角设备，包括：控制机构；吸盘机构；倒角机构；以及归零机构；所述吸盘机构通过悬臂梁与控制机构连接；其特征在于，所述吸盘机构与倒角机构设置于所述控制机构的一侧且与该控制机构之间隔离设置；所述吸盘机构位于所述悬臂梁的下方且其由所述控制机构带动相对所述归零机构及倒角机构移动，自动完成归零和硅片倒角动作。通过将移动工装设计集成于低转速的吸盘机构上，而高转速的倒角机构采用固定方式，以减少其工装带来的误差影响，进而大大提高硅片的倒角加工精度；而且结合吸盘机构的并排式设计结构，平衡了载台组件的分布，提高吸盘的转动稳定性，也进一步提高了硅片倒角的精度。进一步提高了硅片倒角的精度。进一步提高了硅片倒角的精度。
技术研发人员：郑六奎 万喜增 程美娇
受保护的技术使用者：浙江中晶科技股份有限公司
技术研发日：2021.12.27
技术公布日：2022/4/1