一种机台防过腐装置的制作方法

1.本实用新型涉及电子产品领域，特别涉及一种机台防过腐装置。


背景技术：

2.干法刻金属后，片子进入大气片子表面会产生盐酸，从而过腐。现有机台uc腔因为腔体氛围是大气，所以腐蚀al后出来的片子会有过腐蚀的情况。
3.参照现有公开号为cn106283063a的中国专利，其公开了一种金属刻蚀方法及干法刻蚀机台，主要包括将进行金属湿法刻蚀后的金属元件放入干法刻蚀机台腔体内，向所述干法刻蚀机台腔体内至少充入氟化物气体；将所述氟化物气体电离，形成含氟等离子气体；所述含氟等离子气体与所述元件表面的硅渣在设定压力和设定时间内进行反应后，抽取所述干法刻蚀机台腔体内的气体；在所述干法刻蚀机台腔体内对所述元件进行金属干法刻蚀。
4.上述的这种金属刻蚀方法及干法刻蚀机台可以解决了金属表面存在点状残留物的问题。但是上述的这种金属刻蚀方法及干法刻蚀机台置依旧存在着一些缺点，如：一、无法使得工作腔内部充满氮气，防止干法刻金属后与空气接触，腐蚀过度；二、无法实现对防腐架进行稳定的支撑和密封连接；三、无法使得防腐架与气泵进行快速的密封连接。


技术实现要素：

5.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种机台防过腐装置，以解决背景技术中提到的问题。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种机台防过腐装置，包括工作腔，所述工作腔的上部固定安装有气泵腔和控制器，所述气泵腔的上部固定安装有气泵电机，所述气泵电机的一端固定连接有输风管，所述输风管上固定安装有电磁阀，所述工作腔的内部固定安装有横杆和竖杆，所述横杆的顶部固定连接有连接管，所述连接管上活动连接有螺纹固定环，所述横杆和所述竖杆上均设有若干组气流导口，所述竖杆的底部连接有支撑底座，所述支撑底座的内部活动连接有调节柱，所述调节柱上焊接有调节螺环，所述调节柱的顶部设有第一螺纹部，所述第一螺纹部螺纹连接在所述竖杆的内部，所述第一螺纹部的顶端固定连接有密封橡胶垫。
8.通过采用上述技术方案，在使用的时候，需要对片子进行干法刻金属后时，此时控制器会有一个电信号24v发出，控制器内部的继电器会实现电吸合，此时n线会导通，同时有dc直流电源会对电磁阀供电24v，此时电磁阀通出cda对气动阀起到开关作用(前提电磁阀必须有一路cda一直通着)，然后气泵电机抽取气泵腔内部的gn2进入到横杆和竖杆的内部，然后通过气流导口排出，使得工作腔内部的能够处于氮气环境中，且支撑底座上的调节柱通过调节螺环进行调节高度和密封连接，进而完成工作腔内部的防腐环境的营造，防止腐蚀。
9.较佳的，所述输风管的底端设有第二螺纹部，所述第二螺纹部与所述连接管上的
螺纹固定环螺纹连接。
10.通过采用上述技术方案，螺纹固定环的设定可以实现对输风管进行稳定的连接。
11.较佳的，所述连接管的顶端固定设有连接头，所述连接头与所述第二螺纹部之间通过密封橡胶圈贴合连接。
12.通过采用上述技术方案，连接头的设定既能够防止螺纹固定环脱落，还能够使得连接管和输风管之间进行密封连接。
13.较佳的，所述支撑底座的内部固定设有轴承，所述轴承与所述调节柱的底端固定连接。
14.通过采用上述技术方案，轴承的设定可以使得调节柱进行转动，进而实现对调节柱的高度进行调节，以及便于对竖杆进行密封连接。
15.较佳的，所述横杆设有四组，所述竖杆也设有四组，所述横杆与所述竖杆之间通过三通的连接管道固定连接。
16.通过采用上述技术方案，横杆和竖杆的组数设定，能够使得工作腔的内部完全处于氮气环境中，并且三通的连接管道的设定，可以实现过横杆和竖杆进行连通。
17.较佳的，所述工作腔的一侧固定设有观察窗，所述观察窗是钢化玻璃窗。
18.通过采用上述技术方案，观察窗的设定可以方便对工作腔内部的环境进行观察。
19.较佳的，所述工作腔的底部焊接有四组支撑腿，四组所述支撑腿分别焊接在所述工作腔的底部四角处。
20.通过采用上述技术方案，支撑腿的设定可以使得工作腔保持平衡稳定的支撑。
21.较佳的，所述控制器电性连接市电网，所述控制器分别与所述气泵电机和所述电磁阀电性连接。
22.通过采用上述技术方案，控制器的设定可以实现对系统进行控制调节。
23.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
24.第一、利用本装置通过气泵腔和气泵电机实现对氮气进行输送，使得氮气能够通过横杆和竖杆输送到工作腔的内部，使得工作腔的内部充满氮气，防止片子腐蚀；
25.第二、利用本装置的支撑底座可以实现对防腐架进行稳定的支撑，使得防腐架能够保持稳定，并且支撑底座上通过调节柱与竖杆进行螺纹连接，完成对竖杆的支撑和密封连接；
26.第三、利用本装置可以使得输气管和连接管之间进行快速的连接，实现密封稳定的输送氮气。
附图说明
27.图1是本实用新型的结构示意图；
28.图2是本实用新型的防腐架结构示意图；
29.图3是本实用新型图2中的a处剖面示意图；
30.图4是本实用新型图2中的b处剖面示意图。
31.附图标记：1、工作腔；2、气泵腔；3、气泵电机；4、输风管；5、电磁阀；6、控制器；7、横杆；8、竖杆；9、连接管；10、螺纹固定环；11、气流导口；12、支撑底座；13、调节柱；14、调节螺环；15、第一螺纹部；16、密封橡胶垫；17、第二螺纹部；18、连接头；19、轴承；20、连接管道；
21、观察窗；22、支撑腿。
具体实施方式
32.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.实施例1
34.参考图1
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4，一种机台防过腐装置，包括工作腔1，工作腔1的上部固定安装有气泵腔2和控制器6，气泵腔2的上部固定安装有气泵电机3，气泵电机3的一端固定连接有输风管4，输风管4上固定安装有电磁阀5，工作腔1的内部固定安装有横杆7和竖杆8，横杆7的顶部固定连接有连接管9，连接管9上活动连接有螺纹固定环10，横杆7和竖杆8上均设有若干组气流导口11，竖杆8的底部连接有支撑底座12，支撑底座12的内部活动连接有调节柱13，调节柱13上焊接有调节螺环14，调节柱13的顶部设有第一螺纹部15，第一螺纹部15螺纹连接在竖杆8的内部，第一螺纹部15的顶端固定连接有密封橡胶垫16。
35.通过采用上述技术方案，在使用的时候，需要对片子进行干法刻金属后时，此时控制器6会有一个电信号24v发出，控制器6内部的继电器会实现电吸合，此时n线会导通，同时有dc直流电源会对电磁阀5供电24v，此时电磁阀5通出cda对气动阀起到开关作用前提电磁阀5必须有一路cda一直通着，然后气泵电机3抽取气泵腔2内部的gn2进入到横杆7和竖杆8的内部，然后通过气流导口11排出，使得工作腔1内部的能够处于氮气环境中，且支撑底座12上的调节柱13通过调节螺环14进行调节高度和密封连接，进而完成工作腔1内部的防腐环境的营造，防止腐蚀。
36.参考图4，为了实现连接管9和输风管4之间进行连接的目的；输风管4的底端设有第二螺纹部17，第二螺纹部17与连接管9上的螺纹固定环10螺纹连接。效果为，螺纹固定环10的设定可以实现对输风管4进行稳定的连接。
37.参考图4，为了实现连接管9和输风管4之间密封连接的目的；连接管9的顶端固定设有连接头18，连接头18与第二螺纹部17之间通过密封橡胶圈贴合连接。效果为，连接头18的设定既能够防止螺纹固定环10脱落，还能够使得连接管9和输风管4之间进行密封连接。
38.参考图3，为了实现活动连接调节柱13的目的；支撑底座12的内部固定设有轴承19，轴承19与调节柱13的底端固定连接。效果为，轴承19的设定可以使得调节柱13进行转动，进而实现对调节柱13的高度进行调节，以及便于对竖杆8进行密封连接。
39.参考图2，为了使得工作腔1内部能够处于氮气环境中的目的；横杆7设有四组，竖杆8也设有四组，横杆7与竖杆8之间通过三通的连接管道20固定连接。效果为，横杆7和竖杆8的组数设定，能够使得工作腔1的内部完全处于氮气环境中，并且三通的连接管道20的设定，可以实现过横杆7和竖杆8进行连通。
40.参考图1，为了便于观察工作腔1内部的工作环境的目的；工作腔1的一侧固定设有观察窗21，观察窗21是钢化玻璃窗。效果为，观察窗21的设定可以方便对工作腔1内部的环境进行观察。
41.参考图1，为了实现对工作腔1进行支撑的目的；工作腔1的底部焊接有四组支撑腿
22，四组支撑腿22分别焊接在工作腔1的底部四角处。效果为，支撑腿22的设定可以使得工作腔1保持平衡稳定的支撑。
42.参考图1，为了实现电性控制调节的目的；控制器6电性连接市电网，控制器6分别与气泵电机3和电磁阀5电性连接。效果为，控制器6的设定可以实现对系统进行控制调节。
43.使用原理及优点：
44.在使用的时候，需要对片子进行干法刻金属后时，此时控制器6会有一个电信号24v发出，控制器6内部的继电器会实现电吸合，此时n线会导通，同时有dc直流电源会对电磁阀5供电24v，此时电磁阀5通出cda对气动阀起到开关作用前提电磁阀5必须有一路cda一直通着，然后气泵电机3抽取气泵腔2内部的gn2进入到横杆7和竖杆8的内部，然后通过气流导口11排出，使得工作腔1内部的能够处于氮气环境中，且支撑底座12上的调节柱13通过调节螺环14进行调节高度和密封连接，进而完成工作腔1内部的防腐环境的营造，防止腐蚀。
45.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。