技术特征：
1.一种遮罩结构，其特征在于，包括掩膜板和膜厚检测系统；所述掩膜板包括镂空区域，所述镂空区域贯穿掩膜板设置，所述镂空区域用于作为溅射材料通过的通道；膜厚检测系统用于检测附着在掩膜板上的金属薄膜的厚度，所述膜厚检测系统包括检测电阻和导电模块，所述导电模块设置在所述掩膜板上，所述导电模块用于连接附着在掩膜板上的金属薄膜，所述检测电阻和所述导电模块连接。2.根据权利要求1所述的一种遮罩结构，其特征在于，还包括压力传感器；所述压力传感器设置在所述掩膜板的底部，所述压力传感器用于检测掩膜板的重量。3.根据权利要求2所述的一种遮罩结构，其特征在于，所述掩膜板包括多个的垫脚；多个的垫脚均匀地设置在掩膜板的底部上，所述垫脚的底部设置所述压力传感器。4.根据权利要求2所述的一种遮罩结构，其特征在于，还包括警报器和中央控制系统；所述警报器、所述压力传感器和所述导电模块分别连接所述中央控制系统。5.根据权利要求4所述的一种遮罩结构，其特征在于，所述警报器包括蜂鸣器。6.根据权利要求1所述的一种遮罩结构，其特征在于，所述检测电阻为长方体。7.一种pvd机台，其特征在于，包括遮罩结构和基板；所述遮罩结构为权利要求1至6任意一项所述的一种遮罩结构；所述基板放置在所述遮罩结构的掩膜板的顶部上，所述基板覆盖掩膜板的镂空区域。
技术总结
本实用新型公布一种遮罩结构及PVD机台，其中遮罩结构包括掩膜板和膜厚检测系统；所述掩膜板包括镂空区域，所述镂空区域贯穿掩膜板设置，所述镂空区域用于作为溅射材料通过的通道；膜厚检测系统用于检测附着在掩膜板上的金属薄膜的厚度，所述膜厚检测系统包括检测电阻和导电模块，所述导电模块设置在所述掩膜板上，所述导电模块用于连接附着在掩膜板上的金属薄膜，所述检测电阻和所述导电模块连接。上述技术方案设置膜厚检测系统来检测附着在掩膜板上的金属薄膜的厚度，当金属薄膜的厚度到达预设值时，工作人员可以及时地清理掩膜板，并准确高效地监控遮罩结构的寿命，提高遮罩结构的利用率。构的利用率。构的利用率。
技术研发人员：温质康 乔小平 苏智昱
受保护的技术使用者：福建华佳彩有限公司
技术研发日：2021.02.19
技术公布日：2021/12/3