一种表面带有凹部的镜片抛光垫的制作方法

1.本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种表面带有凹部的镜片抛光垫。


背景技术：

2.化学机械抛光是将机械研磨作用和化学氧化作用结合来去除被加工工件表面材料的一种微纳米加工技术，该技术可以使被加工工件表面超平坦、超光滑，主要应用于ic和mems制造领域。
3.抛光垫是化学机械抛光中决定表面光滑的重要辅件，其安装是否便捷，使用是否方便关系到抛光作业的正常运行，而且长时间、高频率的抛光过程中，抛光垫表面因被料屑堵塞，导致其排除废屑浆料的能力降低，导致抛光率随时间下降。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种表面带有凹部的镜片抛光垫，实现对抛光垫便捷安装的同时，可提高抛光垫排除废屑浆料的能力，进而大大延长抛光时长、效率，具有安装便捷、使用方便的优点，可以解决现有技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种表面带有凹部的镜片抛光垫，包括旋转盘和抛光垫，所述旋转盘由下壳体、上壳体、凸台、弧板和顶杆组成，上壳体安装于下壳体内的中部，上壳体的侧壁开设第一板孔，凸台设于上壳体内的中部，凸台的侧壁开设第二板孔，弧板设于凸台的旁侧，弧板的一端插入第一板孔中，弧板的另一端插入第二板孔中，凸台的中部开设圆槽，圆槽的内侧壁上开设杆孔，凸台内开设杆腔，杆腔连通第二板孔与杆孔，顶杆安装于杆腔内，顶杆的一端插入第二板孔中，并与弧板连接，顶杆的另一端插入杆孔中，并伸入圆槽内；所述抛光垫的背部设有弧形垫，弧形垫与下壳体底部开设的弧形孔对应匹配，弧形垫嵌入弧形孔中，并伸入下壳体内，抛光垫的表面设有凹槽，凹槽内嵌入有垫块。
6.优选的，所述凸台上还设有圆盘，圆盘的侧壁上设有外螺纹，外螺纹与圆槽内侧壁上设有的内螺纹对应匹配，圆盘通过螺纹啮合转动安装于圆槽内。
7.优选的，所述杆腔内还设有弹簧和压簧片，弹簧套装于顶杆上，并与压簧片相接，压簧片设于弹簧的一端，并安装于顶杆上。
8.优选的，所述垫块的宽度为凹槽宽度的/，并且垫块的表面与凹槽的内侧面开设引流槽。
9.优选的，所述圆盘的底部还设有圆锥块，圆锥块的弧面与顶杆的另一端接触连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.本表面带有凹部的镜片抛光垫，采用旋转盘作为抛光垫的装载体，以实现抛光垫的便捷安装，同时通过在抛光垫的表面开设凹槽，并在凹槽内嵌入垫块，使得当用于排除废屑浆料的凹槽被料屑填满堵塞时，可将垫块从凹槽内取出以增大凹槽的容量，进而达到提高排除废屑浆料的能力，延长抛光时长、效率。
12.本表面带有凹部的镜片抛光垫，当抛光垫背部的弧形垫嵌入下壳体底部的弧形孔中，并伸入下壳体内后，将圆盘转动安装入凸台上的圆槽内，此过程中，圆盘底部的圆锥块会与顶杆接触，从而顶推顶杆带动弧板向上壳体外伸出，在与弧形垫接触后，将其挤靠在下壳体的侧壁上；因此，利用弧板与下壳体之间的力的作用，从而将弧形垫夹紧，实现对抛光垫安装固定，具有安装便捷、使用方便的优点。
附图说明
13.图1为本实用新型的整体结构图；
14.图2为本实用新型的下壳体结构装配图；
15.图3为本实用新型的凸台内部结构图；
16.图4为本实用新型的圆盘结构装配图；
17.图5为本实用新型的垫块结构装配截面图。
18.图中：1、旋转盘；11、下壳体；111、弧形孔；12、上壳体；121、第一板孔；13、凸台；131、第二板孔；132、圆槽；133、杆孔；134、杆腔；135、内螺纹；14、弧板；15、顶杆；2、抛光垫；21、弧形垫；22、凹槽；3、垫块；4、圆盘；41、外螺纹；42、圆锥块；5、弹簧；6、压簧片；7、引流槽。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-5，一种表面带有凹部的镜片抛光垫，包括旋转盘1和抛光垫2，旋转盘1由下壳体11、上壳体12、凸台13、弧板14和顶杆15组成，上壳体12安装于下壳体11内的中部，上壳体12的侧壁开设第一板孔121，凸台13设于上壳体12内的中部，凸台13的侧壁开设第二板孔131，弧板14设于凸台13的旁侧，弧板14的一端插入第一板孔121中，弧板14的另一端插入第二板孔131中，凸台13的中部开设圆槽132，圆槽132的内侧壁上开设杆孔133，凸台13内开设杆腔134，杆腔134连通第二板孔131与杆孔133，顶杆15安装于杆腔134内，顶杆15的一端插入第二板孔131中，并与弧板14连接，顶杆15的另一端插入杆孔133中，并伸入圆槽132内；抛光垫2的背部设有弧形垫21，弧形垫21与下壳体11底部开设的弧形孔111对应匹配，弧形垫21嵌入弧形孔111中，并伸入下壳体11内，抛光垫2的表面设有凹槽22，凹槽22内嵌入有垫块3。
21.上述中，采用旋转盘1作为抛光垫2的装载体，以实现抛光垫2的便捷安装，同时通过在抛光垫2的表面开设凹槽22，并在凹槽22内嵌入垫块3，使得当用于排除废屑浆料的凹槽22被料屑填满堵塞时，可将垫块3从凹槽22内取出以增大凹槽22的容量，进而达到提高排除废屑浆料的能力，延长抛光时长、效率。
22.由于凸台13上还设有圆盘4，圆盘4的侧壁上设有外螺纹41，外螺纹41与圆槽132内侧壁上设有的内螺纹135对应匹配，圆盘4通过螺纹啮合转动安装于圆槽132内，圆盘4的底部还设有圆锥块42，圆锥块42的弧面与顶杆15的另一端接触连接，因此当圆盘4转动安装入凸台13上的圆槽132内，此过程中，圆盘4底部的圆锥块42会与顶杆15接触，从而顶推顶杆15
带动弧板14向上壳体12外伸出，在与弧形垫21接触后，将其挤靠在下壳体11的侧壁上。
23.由于杆腔134内还设有弹簧5和压簧片6，弹簧5套装于顶杆15上，并与压簧片6相接，压簧片6设于弹簧5的一端，并安装于顶杆15上，因此当顶杆15受力而带动弧板14向上壳体12外伸出时，位于杆腔134内的弹簧5则会受到压簧片6挤压而蓄能；当取出圆盘4使得顶杆15不再受到圆锥块42施加的力时，顶杆15便会在弹簧5作用下重新会到原位，进而带动弧板14重新缩回上壳体12侧壁上的第一板孔121中，此时便可将抛光垫2取下。
24.因垫块3的宽度为凹槽22宽度的1/2，并且垫块3的表面与凹槽22的内侧面开设引流槽7，故当凹槽22被料屑填满堵塞时，可将垫块3从凹槽22内取出以增大凹槽22的容量，进而达到提高排除废屑浆料的能力。
25.本表面带有凹部的镜片抛光垫，采用旋转盘1作为抛光垫2的装载体，以实现抛光垫2的便捷安装，同时通过在抛光垫2的表面开设凹槽22，并在凹槽22内嵌入垫块3，使得当用于排除废屑浆料的凹槽22被料屑填满堵塞时，可将垫块3从凹槽22内取出以增大凹槽22的容量，进而达到提高排除废屑浆料的能力，延长抛光时长、效率。
26.本表面带有凹部的镜片抛光垫，当抛光垫2背部的弧形垫21嵌入下壳体11底部的弧形孔111中，并伸入下壳体11内后，将圆盘4转动安装入凸台13上的圆槽132内，此过程中，圆盘4底部的圆锥块42会与顶杆15接触，从而顶推顶杆15带动弧板14向上壳体12外伸出，在与弧形垫21接触后，将其挤靠在下壳体11的侧壁上；因此，利用弧板14与下壳体11之间的力的作用，从而将弧形垫21夹紧，实现对抛光垫2安装固定，具有安装便捷、使用方便的优点。
27.综上所述：本表面带有凹部的镜片抛光垫，实现对抛光垫2便捷安装的同时，可提高抛光垫2排除废屑浆料的能力，进而大大延长抛光时长、效率，具有安装便捷、使用方便的优点，因而可有效解决现有技术问题。
28.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。