一种平面靶材研磨装置的制作方法

1.本实用新型涉及平面靶材制造技术领域，特别涉及一种平面靶材研磨装置。


背景技术：

2.靶材作为镀膜工艺的原材料，常通过溅射工艺制备薄膜材料，各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用，靶材有管靶材和平面靶材，常用的平面靶材为矩形结构如图1所述，平面靶材1包括呈矩形的背板101和沿长度方向设置在背板101上端中心的靶材102，靶材102的长度小于背板101长度。
3.平面靶材在完成等离子喷涂后，其外表面需要进行研磨，由于平面靶材薄壁、细长、自重大，研磨时非常容易开裂，目前多数采用人工研磨，工人劳动强度大，研磨效率低，研磨不均匀，研磨后产品一致性不好。


技术实现要素：

4.针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种平面靶材研磨装置，结构简单，无需手工研磨，研磨效率高，研磨后产品一致性好。
5.本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种平面靶材研磨装置，包括箱体、位于箱体内底部的定位组件和位于箱体内顶部的研磨组件；
6.所述定位组件包括设置在箱体内底部的支撑座和两个相对设置在支撑座上端用于压紧平面靶材的转角下压气缸，两个转角下压气缸背离的侧面均水平设有伺服电缸a，所述伺服电缸a用于带动转角下压气缸左右移动；
7.所述研磨组件包括从上到下依次设置在箱体内顶部的水平移动装置、升降装置和旋转装置，所述水平移动装置用于带动升降装置左右移动，所述升降装置用于带动旋转装置上下移动，所述旋转装置竖直设置且输出轴端部水平设有细磨盘。
8.进一步地，所述转角下压气缸包括活塞杆，所述活塞杆上水平设有压紧杆，且压紧杆与活塞杆形成7形，所述压紧杆底部竖直设有压紧螺栓，且压紧螺栓与压紧杆呈倒l形，所述压紧杆底部设有螺纹沉孔，压紧螺栓旋入螺纹沉孔内且能够沿竖直方向螺旋上下移动。
9.进一步地，所述伺服电缸a的推杆与转角下压气缸可拆卸固定连接。
10.进一步地，所述水平移动装置包括滑轨、伺服电机、滚珠丝杠和螺母座，所述滑轨水平设置在箱体内顶部，滑轨上滑动设有滑座，所述伺服电机设置在箱体内侧壁上且位于滑轨下方，所述滚珠丝杠水平设置且一端与伺服电机的输出轴连接，另一端与伺服电机相对的侧壁转动连接，所述螺母座设置在滚珠丝杠上，螺母座的上端与滑座可拆卸固定连接。
11.进一步地，所述升降装置包括伺服电缸b，所述伺服电缸b设在螺母座底部且推杆竖直朝下设置，旋转装置设置在伺服电缸b的推杆下端。
12.进一步地，所述旋转装置为调速电机。
13.进一步地，所述细磨盘的直径大于平面靶材的宽度。
14.进一步地，所述细磨盘为金刚石磨盘。
15.根据上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型通过两个转角下压气缸对平面靶材进行压紧固定，在水平移动装置、升降装置和旋转装置的作用下细磨盘对平面靶材进行研磨，无需人工研磨，研磨效率快，研磨后产品一致性好，工人劳动强度小；并且在箱体内研磨，避免了外部污染物进入对平面靶材造成损坏。
17.2、本实用新型的伺服电缸a能够带动转角下压气缸左右移动，实现调节两个转角下压气缸之间的距离，从而能够压紧不同长度的平面靶材，并且压紧螺栓旋入螺纹沉孔内且能够沿竖直方向螺旋上下移动，使的转角下压气缸能够压紧不同厚度的平面靶材，调节方便，适用范围广。
附图说明
18.图1为平面靶材的结构示意图；
19.图2为图1的俯视图；
20.图3为本实用新型的结构示意图；
21.图4为图3中a处的局部放大图。
22.图中标记：1、平面靶材，101、背板，102、靶材，2、箱体，3、滚珠丝杠，4、滑轨，401、滑座，5、伺服电缸b，6、螺母座，7、伺服电机，8、调速电机，9、细磨盘，10、转角下压气缸，11、支撑座，12、伺服电缸a，13、压紧螺栓。
具体实施方式
23.下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
24.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种平面靶材研磨装置，包括箱体2、位于箱体2内底部的定位组件和位于箱体2内顶部的研磨组件。
25.所述定位组件包括设置在箱体2内底部的支撑座11和两个相对设置在支撑座11上端用于压紧平面靶材1的转角下压气缸10，所述两个转角下压气缸10背离的侧面均水平设有伺服电缸a 12，所述伺服电缸a12用于带动转角下压气缸10左右移动，所述伺服电缸a 12的推杆与转角下压气缸10可拆卸固定连接，伺服电缸a 12能够带动转角下压气缸10左右移动，实现调节两个转角下压气缸10之间的距离，从而能够压紧不同长度的平面靶材1，箱体2前端还设有放料门。
26.所述转角下压气缸10包括活塞杆，所述活塞杆上水平设有压紧杆，且压紧杆与活塞杆形成7形，所述压紧杆底部竖直设有压紧螺栓13，且压紧螺栓13与压紧杆呈倒l形，所述压紧螺栓13与压紧杆螺纹连接，所述压紧杆底部设有螺纹沉孔，压紧螺栓13旋入螺纹沉孔内且能够沿竖直方向螺旋上下移动，转角下压气缸10在压紧时，压紧螺栓13按压在平面靶材1的背板101上，从而实现固定平面靶材1，并且通过调节压紧螺栓13旋入螺纹沉孔的深度，来控制压紧螺栓13伸出的长度，使的转角下压气缸10能够压紧不同厚度的平面靶材，调节方便，适用范围广。
27.所述研磨组件包括从上到下依次设置在箱体2内顶部的水平移动装置、升降装置和旋转装置，所述水平移动装置用于带动升降装置左右移动，所述升降装置用于带动旋转
装置上下移动。
28.所述水平移动装置包括滑轨4、伺服电机7、滚珠丝杠3和螺母座6，所述滑轨4水平设置在箱体2内顶部，滑轨4上滑动设有滑座401，滑座401位于滑轨4底部，所述伺服电机7设置在箱体2内侧壁上且位于滑轨4下方，所述滚珠丝杠3水平设置且一端与伺服电机7的输出轴连接，另一端与伺服电机7相对的侧壁转动连接，所述螺母座6设置在滚珠丝杠3上，螺母座6的上端与滑座401可拆卸固定连接，滑轨4与滚珠丝杠3平行设置且位于其正上方，螺母座6设置在滚珠丝杠3的螺母上。
29.其中，滚珠丝杠3是将回转运动转化为直线运动，由螺杆、螺母、钢球、预压片、反向器、防尘器组成；当滚珠丝杠3作为主动体时，螺母就会随丝杆的转动角度按照对应规格的导程转化成直线运动，被动工件可以通过螺母座6和螺母连接，从而实现对应的直线运动。
30.所述升降装置包括伺服电缸b 5，所述伺服电缸b 5设在螺母座6底部且推杆竖直朝下设置，旋转装置设置在伺服电缸b 5的推杆下端。
31.所述旋转装置竖直设置且输出轴端部水平设有细磨盘9，所述细磨盘9的直径大于平面靶材1的宽度，所述细磨盘9为金刚石磨盘，所述旋转装置为调速电机8，通过调节调速电机8来控制金刚石磨盘的旋转速度，从而可以达到更好的研磨效果。
32.本实用新型的工作原理为：将平面靶材1放入箱体2内，伺服电缸a 12带动转角下压气缸10移动，当两个转角下压气缸10移动到合适位置后，使转角下压气缸10压紧平面靶材1的背板101，伺服电缸b 5带动调速电机8向下移动，使细磨盘9与平面靶材1上端的靶材102相切，调速电机8带动细磨盘9转动开始研磨，水平移动装置带动调速电机8左右移动即可对平面靶材1全面研磨，研磨效率快，研磨后产品一致性好，工人劳动强度小。
33.需要说明的是，上述实施例仅用来说明本实用新型，但本实用新型并不局限于上述实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型的保护范围内。