一种线性蒸发源的制作方法

1.本实用新型涉及oled蒸镀设备线性蒸发源技术领域，更具体地，涉及一种线性蒸发源。


背景技术：

2.oled(organic light
–
emitting diode，有机发光二极管)显示技术打破了主流液晶显示技术的主导地位，其具有色域广、对比度高、功耗小、产品可折叠等特点，逐步运用于各大显示行业，包括智能手机、平板电脑、智能手表等，具有极佳的发展潜力。
3.oled核心技术为真空镀膜技术。目前通常采用蒸发源装置将镀膜材料高温熔化、蒸发至基板，沉积并形成有机薄膜，不同种类镀膜材料薄膜受到能量激发进而发出不同颜色。
4.为了满足高产能、大尺寸的产品需求，目前行业主流采用线性蒸发源代替点蒸发源，并采用来回扫描的方式进行蒸镀。线性蒸发源由点蒸发源按照一定规则排列形成，其缺点在于缺少点蒸发源的优良均匀镀膜的特性。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种线性蒸发源，能够改善镀膜的均匀性。
6.本实用新型的实施例是这样实现的：
7.本实用新型的一些实施例中提供一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板和设置在坩埚本体内部的主阻挡板，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴，主阻挡板将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间，主阻挡板开设有用于连通两个容置空间的开口，第一副阻挡板位于开口与喷嘴之间。
8.在本实用新型的一些实施例中，坩埚本体包括槽体和盖合在槽体顶部的盖体，盖体设置有喷嘴。
9.在本实用新型的一些实施例中，还包括第二副阻挡板，第二副阻挡板设置在开口与槽体的底部壁面之间。
10.在本实用新型的一些实施例中，开口的数量为多个，喷嘴与每个开口之间均设置有一个第一副阻挡板，槽体的底部壁面与每个开口之间均设置有一个第二副阻挡板。
11.在本实用新型的一些实施例中，槽体的内侧壁设置有用于架设主阻挡板的凸台。
12.在本实用新型的一些实施例中，还包括支撑柱，第一副阻挡板的底部和第二副阻挡板的顶部分别与支撑柱的两端连接，支撑柱的侧壁与开口的侧壁连接。
13.在本实用新型的一些实施例中，第一副阻挡板和第二副阻挡板均与支撑柱可拆卸连接。
14.在本实用新型的一些实施例中，坩埚本体为长方体壳体结构，第一副阻挡板与第二副阻挡板均为矩形结构，第一副阻挡板的长度大于第二副阻挡板的长度。
15.在本实用新型的一些实施例中，第一副阻挡板和第二副阻挡板的宽度均小于容置
空间的宽度。
16.在本实用新型的一些实施例中，还包括电热丝，电热丝设置在坩埚本体的底部，电热丝与坩埚本体的底部外侧壁具有间隙。
17.相对于现有技术，本实用新型的实施例至少具有如下优点或有益效果：
18.本实用新型提供一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板和设置在坩埚本体内部的主阻挡板，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴，主阻挡板将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间，主阻挡板开设有用于连通两个容置空间的开口，第一副阻挡板位于开口与喷嘴之间。位于下部的容置空间用于容纳镀膜材料，镀膜材料被加热蒸发后会聚集在开口处，在开口处聚集的蒸气能够更好地混合，使蒸气的组分更加均匀；第一副阻挡板的设置能够将汇集后的蒸气分散开来，使各个喷嘴能够更加均匀地分配到浓度和组分相近的蒸气，从而改善镀膜的均匀性。
19.在实际使用时，将镀膜材料放入到位于下部的容置空间内，对坩埚本体的底部进行加热，镀膜材料蒸发后形成蒸气，蒸气通过开口的汇集作用和第一副阻挡板的阻挡用分配到顶部的喷嘴处，从喷嘴喷出后的蒸气在基板上沉积并形成有机薄膜。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
21.图1为本实用新型实施例线性蒸发源整体结构主视图；
22.图2为本实用新型实施例线性蒸发源整体结构左视图；
23.图3为本实用新型实施例具有两个开口的线性蒸发源整体结构主视图；
24.图4为本实用新型实施例具有电热丝的线性蒸发源整体结构主视图；
25.图5为本实用新型实施例第一副阻挡板和支撑柱卡接结构爆炸图。
26.图标：1
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第一副阻挡板；2
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主阻挡板；3
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喷嘴；4
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容置空间；5
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开口；6
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槽体；7
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盖体；8
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第二副阻挡板；9
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凸台；10
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支撑柱；11
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电热丝；12
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镀膜材料；13
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容纳腔；14
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台阶；15
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卡接部；16
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通孔。
具体实施方式
27.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
28.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
30.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
31.在本实用新型实施例的描述中，“多个”代表至少2个。
32.在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.实施例1
34.请参照图1和图5。图1为本实用新型实施例线性蒸发源整体结构主视图；图5为本实用新型实施例第一副阻挡板1和支撑柱10卡接结构爆炸图。
35.本实用新型提供一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板1和设置在坩埚本体内部的主阻挡板2，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴3，主阻挡板2将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间4，主阻挡板2开设有用于连通两个容置空间4的开口5，第一副阻挡板1位于开口5与喷嘴3之间。
36.在本实施例中，基于图1所示，坩埚本体为长方体壳体结构，主阻挡板2的几何中心开设有圆形开口5，第一副阻挡板1为矩形结构，位于开口5的顶部，坩埚本体的顶部设置有十六个一字排开且等间距布置的喷嘴3；位于下部的容置空间4用于容纳镀膜材料12，镀膜材料12选用氟素高分子树脂，镀膜材料12被加热蒸发后会聚集在开口5处，在开口5处聚集的蒸气能够更好地混合，使蒸气的组分更加均匀；第一副阻挡板1的设置能够将汇集后的蒸气分散开来，使各个喷嘴3能够更加均匀地分配到浓度和组分相近的蒸气，从而改善镀膜的均匀性。
37.在实际使用时，将镀膜材料12放入到位于下部的容置空间4内，对坩埚本体的底部进行加热，镀膜材料12蒸发后形成蒸气，蒸气通过开口5的汇集作用和第一副阻挡板1的阻挡用分配到顶部的喷嘴3处，从喷嘴3喷出后的蒸气在基板上沉积并形成有机薄膜。
38.在上述实施例外的其它实施例中，坩埚本体为圆柱体结构，主阻挡板2的几何中心开设有矩形开口5，第一副阻挡板1为圆盘形结构，位于开口5的顶部，坩埚本体的顶部设置有十个一字排开且等间距布置的喷嘴3。
39.进一步的，坩埚本体包括槽体6和盖合在槽体6顶部的盖体7，盖体7设置有喷嘴3。
40.在本实施例中，基于图1所示，盖体7盖合在槽体6的顶部。当坩埚本体内需要添加镀膜材料12时，可以将盖体7打开后添加；同时，将盖体7从槽体6上取下后容易进行清洁作业，减少清洁死角。
41.进一步的，还包括第二副阻挡板8，第二副阻挡板8设置在开口5与槽体6的底部壁面之间。
42.在本实施例中，基于图1所示，第二副阻挡板8为矩形结构，位于开口5的底部。在位于下方的容置空间4内添加镀膜材料12后，第二副阻挡板8底部的高度要高于镀膜材料12顶部的高度；当镀膜材料12蒸发后，蒸气需要先绕过第二副阻挡板8后才能够到达开口5处汇集，第二副阻挡板8的设置增加了蒸气的扰动，从而进一步增加了蒸气组分的均匀程度，从而使镀膜更加均匀。
43.在上述实施例外的其它实施例中，第二副阻挡板8为圆盘形结构，位于开口5的底部。
44.进一步的，槽体6的内侧壁设置有用于架设主阻挡板2的凸台9。
45.在本实施例中，基于图1所示，长方体壳体状槽体6的两个相对的内侧壁均设置有凸台9，两侧凸台9的高度相同；主阻挡板2的长度比槽体6容置空间4的长度短2毫米，主阻挡板2的宽度比容置空间4的宽度短1毫米，主阻挡板2架设在凸台9上。该结构方便主阻挡板2与槽体6间的架设与拆卸；因添加镀膜材料12时需要将主阻挡板2拆卸下来，该结构能够节省添加镀膜材料12所用的时间，提高生产效率。
46.进一步的，还包括支撑柱10，第一副阻挡板1的底部和第二副阻挡板8的顶部分别与支撑柱10的两端连接，支撑柱10的侧壁与开口5的侧壁连接。
47.在本实施例中，基于图1所示，支撑柱10的侧壁与开口5的侧壁焊接固定；主阻挡板2通过支撑柱10将第一副阻挡板1和第二副阻挡板8支撑起来；同时，该结构能够保证支撑柱10、第一副阻挡板1和第二副阻挡板8间的相对位置。
48.在上述实施例中，支撑柱10的数量为四个，四个支撑柱10环绕圆形开口5的周向均匀设置，四个支撑柱10均与开口5的侧壁焊接固定，四个支撑柱10的两端均分别与第一副阻挡板1的底部和第二副阻挡板8的顶部连接。多个支撑柱10能够增加连接的强度和稳定性。
49.在上述实施例外的其它实施例中，支撑柱10的侧壁通过螺钉与开口5的侧壁连接。螺钉连接具有可拆卸的特点，在零部件损坏或达到使用寿命需要更换时，仅需更换相应的零部件即可继续使用，降低维修和更换成本。
50.在上述实施例外的其它实施例中，支撑柱10的数量为三个，三个支撑柱10环绕圆形开口5的周向均匀设置，三个支撑柱10均与开口5的侧壁通过胶水粘接。
51.进一步的，第一副阻挡板1和第二副阻挡板8均与支撑柱10可拆卸连接。
52.在本实施例中，支撑柱10的两端开设有螺孔，第一副阻挡板1和第二副阻挡板8通过螺钉与所述支撑柱10连接。螺钉连接具有可拆卸的特点，当第一副阻挡板1或第二副阻挡板8损坏或达到使用寿命时，仅需更换相应的零部件即可继续使用，降低维修和更换成本。
53.在上述实施例外的其它实施例中，基于图5所示，支撑柱10的两端均具有用于限位的台阶14和能够捏合的卡接部15，第一副阻挡板1和第二副阻挡板8开设有与卡接部15匹配的通孔16，通孔16的尺寸小于卡接部15的尺寸。当需要将支撑柱10与第一副阻挡板1或第二副阻挡板8拆卸时，将两个卡接部15捏合，卡接部15会在弹性作用下靠近，使其尺寸小于通孔16的尺寸，第一副阻挡板1或第二副阻挡板8的通孔16即可穿过卡接部15，从而从支撑柱10上拆卸下来。
54.实施例2
55.请参照图3。图3为本实用新型实施例具有两个开口5的线性蒸发源整体结构主视图。
56.本实施例基于实施例1的技术方案提出，开口5的数量为多个，喷嘴3与每个开口5之间均设置有一个第一副阻挡板1，槽体6的底部壁面与每个开口5之间均设置有一个第二副阻挡板8。
57.在本实施例中，基于图3所示，开口5的数量为两个，形状为圆形，两个开口5对称开设在主阻挡板2上；喷嘴3与每个开口5之间均设置有一个矩形第一副阻挡板1，槽体6的底部壁面与每个开口5之间均设置有一个矩形第二副阻挡板8。当坩埚本体的长度较长时，多个第二副阻挡板8能够在多个位置扰动镀膜材料12的蒸气，改善整体的蒸气混合效果；多个开口5能够方便蒸气从多个位置上升到顶部的容置空间4，并通过第一副阻挡板1更加均匀地分配到各个喷嘴3处。
58.在上述实施例外的其它实施例中，开口5的数量为四个，形状为具，四个开口5均匀分布开设在主阻挡板2上；喷嘴3与每个开口5之间均设置有一个矩形第一副阻挡板1，槽体6的底部壁面与每个开口5之间均设置有一个矩形第二副阻挡板8。
59.实施例3
60.请参照图1和图2。图1为本实用新型实施例线性蒸发源整体结构主视图；图2为本实用新型实施例线性蒸发源整体结构左视图。
61.本实施例基于实施例1的技术方案提出，坩埚本体为长方体壳体结构，第一副阻挡板1与第二副阻挡板8均为矩形结构，第一副阻挡板1的长度大于第二副阻挡板8的长度。
62.在本实施例中，基于图1所示，第一副阻挡板1的长度较长，能够更好地将镀膜材料12的蒸气分配到处于边缘的喷嘴3处，改善此处镀膜的均匀程度；第二副阻挡板8的长度较短，能够减少镀膜材料12的蒸汽在其底部凝结的量，使更多的蒸气进入到上部的容置空间4。
63.进一步的，第一副阻挡板1和第二副阻挡板8的宽度均小于容置空间4的宽度。
64.在本实施例中，基于图2所示，第一副阻挡板1和第二副阻挡板8的宽度均小于容置空间4的宽度，该结构使镀膜材料12的蒸气不仅能够从第一副阻挡板1和第二副阻挡板8长度方向的两侧绕到顶部，也能从宽度方向的两侧绕到顶部，使蒸气在到达喷嘴3前分布的更加均匀。
65.实施例4
66.请参照图4。图4为本实用新型实施例具有电热丝11的线性蒸发源整体结构主视图。
67.本实施例基于实施例1的技术方案提出，还包括电热丝11，电热丝11设置在坩埚本体的底部，电热丝11与坩埚本体的底部外侧壁具有间隙。
68.在本实施例中，基于图4所示，坩埚本体的底部设置有容纳电热丝11的容纳腔13，电热丝11与坩埚本体的底部外侧壁不直接接触。电热丝11通电后温度升高，通过热辐射的方式将热量传递到坩埚本体的底部，使坩埚本体底部的温度升高，从而对内部的镀膜材料12进行加热，并蒸发形成蒸气；因电热丝11不能与电热丝11与坩埚本体的底部外侧壁面完全接触，坩埚本体的底部还有未被电热丝11覆盖的表面，会导致坩埚本体的底部温度分布不均匀，坩埚本体的底部外侧壁和电热丝11之间具有间隙，通过热辐射加热坩埚本体的底部外侧壁，能够使温度分布的更加均匀，改善坩埚本体内部镀膜有机物的蒸发效果。
69.综上所述，本实用新型提供一种线性蒸发源，包括坩埚本体、第一副阻挡板1和设
置在坩埚本体内部的主阻挡板2，坩埚本体的顶部均匀设置有多个喷嘴3，主阻挡板2将坩埚本体的内部分割成两个上下分布的容置空间4，主阻挡板2开设有用于连通两个容置空间4的开口5，第一副阻挡板1位于开口5与喷嘴3之间。位于下部的容置空间4用于容纳镀膜材料12，镀膜材料12被加热蒸发后会聚集在开口5处，在开口5处聚集的蒸气能够更好地混合，使蒸气的组分更加均匀；第一副阻挡板1的设置能够将汇集后的蒸气分散开来，使各个喷嘴3能够更加均匀地分配到浓度和组分相近的蒸气，从而改善镀膜的均匀性。
70.在实际使用时，将有机材料放入到位于下部的容置空间4内，对坩埚本体的底部进行加热，有机材料蒸发后形成蒸气，蒸气通过开口5的汇集作用和第一副阻挡板1的阻挡用分配到顶部的喷嘴3处，从喷嘴3喷出后的蒸气在基板上沉积并形成有机薄膜。
71.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。