技术特征：
1.用于蒸镀的精密金属遮罩，其特征在于，包括金属基材，所述金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，所述金属基材上开通若干暴露孔，所述暴露孔位于第一主表面上设置第一蚀刻孔，所述暴露孔位于第二主表面上设置第二蚀刻孔，中心相重合的所述第一蚀刻孔与所述第二蚀刻孔呈连通状态，所述第一蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，所述第二蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，所述第一蚀刻孔与所述第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角，所述交界夹角大于90
°
，所述第一蚀刻孔与所述第二蚀刻孔的衔接处为所述暴露孔的高精度孔径。2.根据权利要求1所述的用于蒸镀的精密金属遮罩，其特征在于，所述暴露孔的高精度孔径的精度范围是≦
±
2.5um。3.根据权利要求1所述的用于蒸镀的精密金属遮罩，其特征在于，所述第一蚀刻孔的深度小于所述第二蚀刻孔的深度。4.根据权利要求1所述的用于蒸镀的精密金属遮罩，其特征在于，所述第一蚀刻孔的凹弧孔壁的倾斜角度范围是75
°
～85
°
；所述第二蚀刻孔的凹弧孔壁的倾斜角度范围是≦55
°
。5.根据权利要求1所述的用于蒸镀的精密金属遮罩，其特征在于，相邻所述第一蚀刻孔之间余留所述第一主表面；相邻所述第二蚀刻孔之间余留所述第二主表面。
技术总结
本实用新型提供一种用于蒸镀的精密金属遮罩，包括金属基材，金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置第一蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置第二蚀刻孔，中心相重合的第一蚀刻孔与第二蚀刻孔呈连通状态，第一蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第二蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角，交界夹角大于90
技术研发人员：张容韶 沈洵 胡清渊
受保护的技术使用者：浙江众凌科技有限公司
技术研发日：2021.06.09
技术公布日：2021/11/21