遮蔽装置以及PVD真空镀膜设备的制作方法

遮蔽装置以及pvd真空镀膜设备
技术领域
1.本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及遮蔽装置以及pvd真空镀膜设备。


背景技术：

2.在太阳能电池硅片生产过程中，pvd(物理气相沉积，physical vapor deposition)作为太阳能硅片生产过产中的一种重要镀膜工艺，一般在密闭真空腔室中进行。通过pvd工艺将靶材沉积到太阳能硅片上的过程中通常称之为pvd镀膜工艺。在镀膜工艺过程中，需要控制靶材材料在真空腔室内沉积镀膜的范围。此外，需要对不用镀膜的空间进行遮避，以防止真空腔室及真空腔室内的重要零部件被沉积物质。
3.现有技术当中，通常在需要保护的区域安装遮避装置，装遮装置能够有效地吸附靶材升华的粒子物质，形成非镀膜的保护区域。随着生产的进行，遮蔽装置的遮蔽板上沉积物不断增加，这些沉积物容易脱落，影响镀膜工艺的进行。因此，需要定期对遮蔽装置进行清理。现有技术的遮蔽装置通常通过螺栓锁紧。由于螺栓也可能沉积这些沉积物，这会导致遮蔽装置难以拆卸。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术存在的问题之一。为此，本实用新型提出了一种遮蔽装置，能够快速拆装遮蔽板。此外，本实用新型还提出了使用这种遮蔽装置的pvd真空镀膜设备。
5.根据本实用新型第一方面的遮蔽装置，设置在pvd真空镀膜设备的镀膜腔内，包括：至少一个安装件，在所述镀膜腔内被固定，所述安装件上设置有第一槽部；至少一个遮蔽板，所述遮蔽板可滑动地插入所述第一槽部内并被所述第一槽部保持，或者从所述第一槽部内被抽出。
6.根据本实用新型第一方面的遮蔽装置，至少具有如下有益效果：能够快速拆装遮蔽板。
7.在一些实施例中，所述安装件包括两个，其中一个所述安装件固定到所述镀膜腔的第一内壁上，另一个所述安装件固定到所述镀膜腔的与所述第一内壁相对的第二内壁上。
8.在一些实施例中，所述安装件包括两个，其中一个所述安装件固定到所述镀膜腔的第一内壁上，另一个所述安装件固定到所述镀膜腔的与所述第一内壁相邻的第三内壁上。
9.在一些实施例中，所述第一槽部沿水平方向延伸。
10.在一些实施例中，所述安装件上还设置有沿竖直方向延伸的第二槽部，所述遮蔽板包括两块，其中一块插入所述第一槽部内，另一块插入所述第二槽部内。
11.在一些实施例中，所述遮蔽板上设置有阻挡件，所述阻挡件限制所述遮蔽板插入到所述第一槽部内的深度。
12.在一些实施例中，所述遮蔽板上还设置有把手。
13.在一些实施例中，所述第一槽部内设置有第一卡合部，所述遮蔽板上设置有第二卡合部，在所述遮蔽板插入所述第一槽部内的状态下，所述第一卡合部和所述第二卡合部卡合。
14.根据本实用新型第二方面的遮蔽装置，设置在pvd真空镀膜设备的镀膜腔内，包括：至少一个安装件，在所述镀膜腔内被固定；至少一个遮蔽板，所述遮蔽板上设置有第一槽部，所述第一槽部可滑动地套嵌在所述安装件上并被保持在所述安装件上，或者从所述安装件被抽出。
15.根据本实用新型第二方面的遮蔽装置，至少具有如下有益效果：能够快速拆装遮蔽板。
16.根据本实用新型第三方面的pvd真空镀膜设备，包括上述任一项的遮蔽装置。
附图说明
17.图1是具有本实用新型的遮蔽装置的pvd真空镀膜设备的一种实施例的示意图。
18.图2是图1中的遮蔽装置的立体示意图。
19.图3是图2中的安装件的示意图。
20.图4是图3中的a处的局部放大图。
21.图5是图2中的遮蔽板的示意图。
22.图6是图5中的b处的局部放大图。
具体实施方式
23.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
25.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
26.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
27.图1是具有实施方式的遮蔽装置100的pvd真空镀膜设备200的一种实施例的示意图，图2是遮蔽装置100的立体示意图，图3是图2中的安装件101的示意图，参照图1至图3，根据本实施方式的遮蔽装置100，设置在pvd真空镀膜设备200的镀膜腔201内，包括：至少一个
安装件101和至少一个遮蔽板102。其中，安装件101在镀膜腔201内被固定，安装件101上设置有第一槽部103。遮蔽板102可滑动地插入第一槽部103内并被第一槽部103保持，或者从第一槽部103内被抽出。
28.本实施方式的遮蔽装置100能够快速拆装遮蔽板102。具体而言，在本实施方式的遮蔽装置100中，通过在安装件101上设置用于保持遮蔽板102的第一槽部103，并以推拉的方式拆装遮蔽板102，即使在安装件101或者遮蔽板102上沉积了较厚的膜层的情况下，也能够容易地将遮蔽板102从第一槽部103中抽出，因此，能够快速地拆装遮蔽板102。此外，由于遮蔽板102无需使用螺栓锁紧保持在第一槽部103中，能够避免由于螺栓沉积膜层而难以拆卸的问题。进一步地，由于无需使用螺栓锁紧遮蔽板102，因此也不存在由于螺栓频繁拆卸而导致螺牙损坏的问题。因此，本实施方式的遮蔽装置100，不仅能够快速拆装遮蔽板102，而且容易维护，使用寿命长。
29.继续参照图1，本实施方式的pvd真空镀膜设备200的镀膜腔201例如可以是使用不锈钢焊接成方形的、公知的镀膜腔201。以方形的镀膜腔201为例，镀膜腔201包括设置在镀膜腔201的左侧的第一内壁202，与该第一内壁202相对、设置在镀膜腔201的右侧的第二内壁203，位于第一内壁202的前侧且与第一内壁202相邻的第三内壁204，以及位于第一内壁202的后侧且与第三内壁204相对的第四内壁205。安装件101可以至少固定在第一内壁202上。安装件101例如可以使用不锈钢的钣金件冲压成型或者焊接成型。安装件101具有安装基部104，安装件101例如通过安装基部104被锁紧到第一内壁202上。安装基部104的一端设置有两块垂直于安装基部104的第一板件105，两块第一板件105沿上下方向间隔设置，由此形成用于容置遮蔽板102的第一槽部103。两件第一板件105的沿上下方向相对的一侧的距离(即第一槽部103的宽度)大于遮蔽板102的厚度，由此，能够使遮蔽板102在第一槽部103中顺畅地滑动。
30.继续参照图2、图3，并辅助参照图1，在一些实施例中，为了更加可靠地保持遮蔽板102，安装件101包括两个，其中一个安装件101固定到第一内壁202上，另一个安装件101固定到与第一内壁202相对的第二内壁203上。具体而言，例如，第一板件105沿垂直于安装基部104的方向(左右方向)延伸的长度为例如30mm左右。两个安装件101分别对称地设置在第一内壁202和第二内壁203当中。第一槽部103的槽口呈l字状，即两个安装件101的第一槽部103的槽口的一部分103a沿左右方向相对，第一槽部103的另一部分103b则朝向前后方向。由此，遮蔽板102沿前后插入到第一槽部103中，遮蔽板102的左侧部被固定在第一内壁202的安装件101保持，遮蔽板102的右侧部被固定在第二内壁203的安装件101保持。由此，遮蔽板102能够更加可靠地被保持在镀膜腔201中。
31.此外，上面虽然以一个安装件101被固定在镀膜腔201的左侧的第一内壁202、另一个安装件101被固定在镀膜腔201的右侧的第二内壁203为例进行了说明。但是并不限于此。在一些实施例中，安装件101也可以包括两个，其中一个安装件101固定到第一内壁202上，另一个安装件101固定到与第一内壁202相邻的第三内壁204上。安装件101固定到第三内壁204的方式和其固定在第一内壁202的方式大致相同，在此不详细展开说明。此外，各安装件101的安装基部104的形状等可以根据安装位置进行适当的调整。
32.在一些实施例中，在镀膜源206从上方或者下方进行镀膜时，第一槽部103沿水平方向延伸。需要说明的是，在此所指的水平方向是指平行或者大致平行于地面(例如相对于
地面为
±
15
°
)的方向。通过设置沿水平方向延伸的第一槽部103，并使遮蔽板102沿水平方向插入第一槽部103中，能够可靠地在上下方向(竖直方向)遮蔽需要被遮蔽的部件等。
33.此外，需要说明的是，作为镀膜腔201内需要被遮蔽的部件可以根据需要确定，列举例如：传动滚筒(未图示)的表面、镀膜腔201的盖板(未图示)的表面、镀膜腔201内的表面、和传动滚筒连接的磁流体(未图示)的表面、以及承载被镀膜的工件例如太阳能电池的硅片(未图示)的载板207的边缘等。因此，在此情况下，遮蔽装置100则根据需要被遮蔽的部件的位置而设置，例如直接安装到镀膜腔201的各内壁上，或者例如安装到传动滚筒的上方等。
34.继续参照图3，在一些实施例中，为了防止镀膜源206从其他的方向沉积到需要被遮蔽的部件上，安装件101上还设置有沿竖直方向延伸的第二槽部106，遮蔽板102包括两块，其中一块插入第一槽部103内，另一块插入第二槽部106内。具体而言，例如，作为安装件101的安装基部104呈平板状，设置在安装基部104的边缘的两块第一板件105例如呈l字型状，第一板件105例如可以通过将安装基部104的相邻的两侧折弯而形成，也可以通过焊接的方式形成。由此，在安装基部104的相邻的两侧的边缘，分别形成沿水平方向延伸的第一槽部103和沿竖直方向延伸的第二槽部106。需要说明的是，在此所指的竖直方向是指垂直或者大致垂直于地面的方向(例如相对于地面为
±
75
°
)。通过设置第二槽部106，并同时在第二槽部106插入有另外一块遮蔽板102，能够有效地抑制来自上下方向之外的镀膜源206的沉积物。
35.图5是图2中的遮蔽板102的示意图，图6是图5中的b处的局部放大图。参照图5、图6，并辅助参照图2，在一些实施例中，为了限制遮蔽板102插入到第一槽部103或者第二槽部106内的深度，遮蔽板102上设置有阻挡件107，阻挡件107限制遮蔽板102插入到第一槽部103内的深度。具体而言，例如阻挡件107可以使用钣金件，阻挡件107可以通过将遮蔽板102的沿插拔方向的后部的至少部分折弯而形成。此外，阻挡件107也可以直接焊接到遮蔽板102的沿插拔方向的后部。阻挡件107的设置位置并不特别限定，根据需要被遮蔽的部件的位置而定即可。通过在遮蔽板102上设置阻挡件107，能够限制遮蔽板102插入到第一槽部103内的深度，从而调节遮蔽板102所需要遮蔽的位置。
36.在一些实施例中，为容易地插拔遮蔽板102，遮蔽板102上还设置有把手108。具体而言，例如，把手108安装到遮蔽板102的沿插拔方向的后部。在遮蔽板102沿水平方向插拔的情况下，把手108可以设置在遮蔽板102的上方。在遮蔽板102沿竖直方向插拔的情况下，把手108可以设置在遮蔽板102的与遮蔽方向相反的另一侧。由此，能够一定程度上防止把手108沉积膜层。把手108的类型并不特别限定，例如可以选择市购的把手。
37.图4是图3中的a处的局部放大图。参照图4、图6并辅助参照图3、图5，在由于加工或者装配等原因导致第一槽部103相对于水平方向稍微倾斜的情况下，遮蔽板102由于重力有可能从第一槽部103脱落。因此，在一些实施例中，为了防止遮蔽板102脱落，第一槽部103内设置有第一卡合部109，遮蔽板102上设置有第二卡合部110，在遮蔽板102插入第一槽部103内的状态下，第一卡合部109和第二卡合部110卡合。具体而言，例如，作为第一卡合部109，可以在形成第一槽部103的两个第一板件105当中，在位于下部的第一板件105中设置有缺口部111。缺口部111例如可以包括两个，分别设置在第一板件105的沿插拔方向的两端。与此对应，作为第二卡合部110，在遮蔽板102的左侧和/或右侧设置有两个朝下突出的突起部
112，突起部112分别设置在遮蔽板102的左侧和/或右侧的沿插拔方向的两端。由此，在遮蔽板102插入第一槽部103时，突起部112沿着第一槽部103的下部的第一板件105滑动，并且在滑动到第一卡合部109的位置时，两个第二卡合部110分别和第一卡合部109卡合。由此，能够至少一定程度上卡住遮蔽板102，防止遮蔽板102由于重力而从第一槽部103脱落。此外，通过在遮蔽板102设置突起部112作为第二卡合部110，在遮蔽板102在第一槽部103中插板时，遮蔽板102和第一槽部103的下部的第一板件105线接触，因此能够大大降低遮蔽板102和第一槽部103的下部的第一板件105之间的摩擦力，从而能够提高遮蔽板102相对第一槽部103插拔的顺畅性。
38.此外，上面虽然以在第一槽部103的下部的第一板件105设置缺口部111，在遮蔽板102设置突起部112为例进行了说明，但是并不限于此。例如，也可以在第一槽部103的下部的第一板件105设置突起部112，在遮蔽板102设置缺口部111。
39.另外，在上面各实施例中，虽然以在安装件101设置第一槽部103，将遮蔽板102插入第一槽部103为例进行了说明，但是并不限于此。例如，也可以在遮蔽板102上设置第一槽部103，与此对应，将安装件101设置成平板状或者长条块状或者柱状等，遮蔽板102的第一槽部103可滑动地套嵌在安装件101上并被保持在安装件101上，或者从安装件101被抽出。由此，也能够快速拆装遮蔽板102。
40.上面各实施例的遮蔽装置100，可以使用到pvd真空镀膜设备200。具体而言，例如，遮蔽装置100可以安装到pvd真空镀膜设备200的镀膜腔201内的任何所需要遮蔽的位置。例如，可以安装到镀膜腔201的前侧、后侧、左侧、右侧、或者需要遮蔽的部件上等各个位置。此外，pvd真空镀膜设备200中设置的遮蔽装置100的数量也不特别限定，可以根据需要设置一个或者多个。
41.通过使用上面各实施例的遮蔽装置100，不仅能够可靠地对pvd真空镀膜设备200的镀膜腔201内需要遮蔽的位置进行遮蔽，而且，由于遮蔽板102容易拆装，因此能够大大提升遮蔽装置100的维护效率，提高遮蔽装置100的使用寿命，降低pvd真空镀膜设备200的生产成本。
42.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
43.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。