一种用于硅芯片表面打磨设备的制作方法

文档序号:27882685发布日期:2021-12-08 17:39阅读:144来源:国知局
一种用于硅芯片表面打磨设备的制作方法

1.本实用新型涉及硅芯片表面打磨技术领域,具体为一种用于硅芯片表面打磨设备。


背景技术:

2.硅作为一种半导体,硅的电学性质介于导体和电阻器之间。制造商可以通过化学方法改变硅基来改变其电性能,使其根据具体的需要导电。这使得计算机设计者可以用同一种材料来制造他们的许多元件,而不需要单独的导线和其他材料来达到同样的效果,因此在芯片制造领域中,硅芯片的使用也会较为广泛,而硅芯片在使用前需要对其表面进行打磨,以此来保证产品的正常使用。
3.现有的用于硅芯片表面打磨大多是通过使用人员一只手拿着打磨件,另一只手手持打磨机器进行打磨,这种方式较为费时费力,且打磨的精度较低。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于硅芯片表面打磨设备,解决了现有技术中较为费时费力,且打磨的精度较低的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于硅芯片表面打磨设备,包括机箱以及安装在机箱底部四个拐角处的柱脚,所述机箱的顶部固定有衬板,且衬板的顶部中心位置设置有用于对打磨件进行夹持的夹持机构,机箱的背侧壁固定有驱动箱,其驱动箱的顶部通过开设的滑槽滑动安装有竖杆,竖杆的正表面顶端对接安装有横杆,横杆的前端顶部固定有液压缸,且液压缸的输出端贯穿横杆的底部并固定有电机仓,且电机仓的内部固定有驱动电机,其驱动电机输出端贯穿电机仓内部并转动有打磨头。
8.优选的,驱动箱的内部固定安装有正反电机,且正反电机的输出端对接安装有转动杆,其转动杆的外圆面和远离正反电机输出端的一端分别设置有间歇齿轮和第一锥齿轮,竖杆的底端贯穿驱动箱的顶部并设置有与间歇齿轮能进行啮合的卡齿,以便能控制竖杆进行往返作业。
9.优选的,机箱的背侧壁设置有转杆,且转杆远离机箱的一端转动安装有第二锥齿轮,其第一锥齿轮与第二锥齿轮之间相互啮合,其转杆的外圆面延伸安装有一根能够对横杆进行拍打以使横杆进行角度上微调的调节杆。
10.优选的,横杆靠近竖杆的一端延伸安装有一带有通孔的卡接块,且竖杆的正表面设置有通槽,其通槽的内部设置有滑杆,滑杆的外圆面上套有两根压缩弹簧。
11.优选的,夹持机构包括有固定安装在衬板顶部中心位置的夹持板,且夹持板的顶部通过设置的开槽滑动安装有两个对称的弧形夹持件,且弧形夹持件远离夹持面的一侧与开槽的内壁之间设置有四个复位弹簧。
12.优选的,卡接块通过通孔贯穿安装在滑杆的外圆面,并且卡接块位于两根压缩弹簧之间,且通槽的内直径要大于其卡接块的外直径。
13.优选的,弧形夹持件的夹持面设置有一层能对打磨件进行防护的橡胶垫。
14.优选的,机箱的正表面设置有方便进行储物的储物柜,且机箱的右侧壁设置有进行散热的散热窗。
15.(三)有益效果
16.与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于硅芯片表面打磨设备,具备以下有益效果:
17.1、本实用新型通过设置有驱动箱和电机仓,利用电机仓内的驱动电机带动打磨头旋转对打磨件进行表面打磨,同期间,控制驱动箱内的正反电机往返180
°
进行旋转,带动了间歇齿轮的转动,间歇齿轮与竖杆底部的卡齿之间的啮合,能够使竖杆进行往返运动,从而让打磨头打磨的范围更为广泛,保证了其打磨的精度。
18.2、本实用新型通过利用正反电机带动转动杆的旋转,使第一锥齿轮进行同步运转,且期间第一锥齿轮与第二锥齿轮的啮合带动了转杆的旋转,使调节杆进行了转动,调节杆转动对横杆进行了拍动,使横杆在竖杆上进行小幅度的摆动,从而让打磨头打磨范围更为的广泛,进一步扩大其打磨精度,且整体装置整合率高,提高了装置的实用性。
19.3、本实用新型通过设置的夹持机构,弧形夹持件利用复位弹簧在夹持板内部可以进行微调,使不同的大小的硅芯片能够夹持在夹持板内,方便打磨头对其打磨。
附图说明
20.图1为本实用新型的主视结构图;
21.图2为本实用新型的侧视结构图;
22.图3为本实用新型的局部后视内部结构图;
23.图4为本实用新型的横杆与竖杆的安装图;
24.图5为本实用新型的图3中a处的局部放大图。
25.图中:1、机箱;2、衬板;3、驱动箱;4、竖杆;5、横杆;6、液压缸;7、电机仓;8、打磨头;9、调节杆;10、夹持机构;1001、夹持板;1002、弧形夹持件;1003、复位弹簧;11、第一锥齿轮;12、转杆;13、第二锥齿轮;14、正反电机;15、转动杆;16、驱动电机;17、卡接块;18、通槽;19、滑杆;20、压缩弹簧;21、间歇齿轮;22、卡齿。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
27.如图1

5所示,本实用新型提供一种技术方案:一种用于硅芯片表面打磨设备,包括机箱1以及安装在机箱1底部四个拐角处的柱脚,机箱1的正表面设置有方便进行储物的储物柜,且机箱1的右侧壁设置有进行散热的散热窗,机箱1的顶部固定有衬板2,且衬板2的顶部中心位置设置有用于对打磨件进行夹持的夹持机构10,机箱1的背侧壁固定有驱动箱
3,其驱动箱3的顶部通过开设的滑槽滑动安装有竖杆4,竖杆4的正表面顶端对接安装有横杆5,横杆5的前端顶部固定有液压缸6,且液压缸6的输出端贯穿横杆5的底部并固定有电机仓7,且电机仓7的内部固定有驱动电机16,其驱动电机16输出端贯穿电机仓7内部并转动有打磨头8,并且在电机仓7的下端设置有一个摄像头,能够配合打磨头8实现精准打磨的作用。
28.具体的,驱动箱3的内部固定安装有正反电机14,且正反电机14的输出端对接安装有转动杆15,其转动杆15的外圆面和远离正反电机14输出端的一端分别设置有间歇齿轮21和第一锥齿轮11,竖杆4的底端贯穿驱动箱3的顶部并设置有与间歇齿轮21能进行啮合的卡齿22,以便能控制竖杆4进行往返作业,利用电机仓7内的驱动电机16带动打磨头8旋转对打磨件进行表面打磨,同期间,控制驱动箱3内的正反电机14往返一百八十度进行旋转,带动了间歇齿轮21的转动,间歇齿轮21与竖杆4底部的卡齿22之间的啮合,能够使竖杆4进行往返运动,从而让打磨头8打磨的范围更为广泛,保证了其打磨的精度。
29.具体的,机箱1的背侧壁设置有转杆12,且转杆12远离机箱1的一端转动安装有第二锥齿轮13,其第一锥齿轮11与第二锥齿轮13之间相互啮合,其转杆12的外圆面延伸安装有一根能够对横杆5进行拍打以使横杆5进行角度上微调的调节杆9,横杆5靠近竖杆4的一端延伸安装有一带有通孔的卡接块17,且竖杆4的正表面设置有通槽18,其通槽18的内部设置有滑杆19,滑杆19的外圆面上套有两根压缩弹簧20,卡接块17通过通孔贯穿安装在滑杆19的外圆面,并且卡接块17位于两根压缩弹簧20之间,且通槽18的内直径要大于其卡接块17的外直径,通过利用正反电机14带动转动杆15的旋转,使第一锥齿轮11进行同步运转,且期间第一锥齿轮11与第二锥齿轮13的啮合带动了转杆12的旋转,使调节杆9进行了转动,调节杆9转动对横杆5进行了拍动,使横杆5在竖杆4上进行小幅度的摆动,从而让打磨头8打磨范围更为的广泛,进一步扩大其打磨精度,且整体装置整合率高,提高了装置的实用性。
30.具体的,夹持机构10包括有固定安装在衬板2顶部中心位置的夹持板1001,且夹持板1001的顶部通过设置的开槽滑动安装有两个对称的弧形夹持件1002,且弧形夹持件1002远离夹持面的一侧与开槽的内壁之间设置有四个复位弹簧1003,弧形夹持件1002的夹持面设置有一层能对打磨件进行防护的橡胶垫,弧形夹持件1002利用复位弹簧1003在夹持板1001内部可以进行微调,使不同的大小的硅芯片能够夹持在夹持板1001内,方便打磨头8对其打磨。
31.工作原理:工作时,使用人员将需要打磨的硅芯片放置在夹持板1001内,利用弧形夹持板1001对其实现夹持,此时外接电源,同时,液压缸6进行驱动,使电机仓7下降到达指定位置,驱动电机16驱动实现打磨头8的转动,进行打磨,同期间,正反电机14进行转动,以正反电机14转动一百八十度为一个循环进行往复运动,从而通过转动杆15带动了间歇齿轮21的转动,并推动了竖杆4底端的卡齿22进行转动,实现了竖杆4的往复运动,期间,转动杆15带动了第一锥齿轮11的转动,实现第二锥齿轮13的啮合转动,并带动了调节杆9的转动,使调节杆9对横杆5能够进行往复拍动,横杆5在竖杆4内受到拍动会有小幅度偏移,并受到压缩弹簧20作用会迅速回到初始位置,扩大其打磨的使用范围,提高其打磨的精度。
32.该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
33.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实
体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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