一种晶圆片倒角设备的制作方法

1.本实用新型涉及倒角设备领域，尤其是一种晶圆片倒角设备。


背景技术：

2.使用再制造的晶圆料片进行制造加工成符合要求的晶圆片，需要对晶圆料片进行切割、研磨、倒角等加工工序。现市场上通常使用的晶圆片倒角设备，常出现以下问题：一、晶圆片固定时不牢固，在倒角时晶圆片产生位移导致质量问题；二、晶圆片固定方式不合理，导致固定件遮挡住需要倒角区域，需要边倒角边调整，影响倒角效率；三、晶圆片通过人工放置，不仅会出现放置定位不准确影响倒角质量，还影响生产效率。因此需要一种成本低且能够高效率高质量对晶圆片加工的倒角设备。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种晶圆片倒角设备，使得待加工的晶圆片能够自动进料定位并自动打磨，不仅能够提高生产效率，较少人员工作强度，而且还能提高产品的加工质量。
4.为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.本实用新型公开了一种晶圆片倒角设备，其包括机架、控制系统以及与控制系统连接的打磨机构、自动进料定位装置、平面坐标移动平台。所述打磨机构设置于机架的前侧面上，平面坐标移动平台设置于机架底面。所述自动进料定位装置包括用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件；所述旋转组件设置于晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台上；所述推料机构设置于流水线的侧边。
6.进一步地，所述打磨机构包括固定于机架上的打磨电机以及与打磨电机轴端连接的打磨片。所述打磨片的打磨侧边上设置有与晶圆片相配合的打磨v槽。
7.进一步地，所述平面坐标移动平台包括移动板、驱动移动板横向移动的水平电动螺杆和驱动移动板纵向移动的竖直电动螺杆。所述移动板与水平电动螺杆的杆端连接。所述水平电动螺杆上设置有连接板，所述连接板与竖直电动螺杆的杆端连接。所述移动板和连接板上沿移动方向上设置有滑块；机架底面设置有与滑块相配合的滑轨。所述移动板的上表面与所述旋转组件固定连接。
8.进一步地，所述定位装置包括用于限制晶圆片一侧位置的定位杆和用于限制晶圆片前端位置的触控开关。所述定位杆可调节位置地设置于流线型的终端上，定位杆上设置有用于检测晶圆片是否与定位杆接触的传感器；所述触控开关设置于旋转组件的正前方。
9.进一步地，所述定位杆上设有与晶圆片相配合的定位槽，所述定位槽上设置有用于减少摩擦力和保护晶圆片的光滑垫条。
10.进一步地，所述推料机构包括固定架、气缸和推块；所述固定架与流水线的架体连接；所述气缸固定于固定架上，气缸的轴端与推块连接。
11.进一步地，所述推块上设置有与晶圆片相配合的推槽；所述推槽内设置有用于保护晶圆片的缓冲胶。
12.进一步地，所述旋转组件包括旋转电机、真空发生器和支撑盘；所述支撑盘设置于真空发生器上端，支撑盘上设置有若干与真空发生器相匹配的气孔，所述真空发生器与旋转电机的轴端连接；所述旋转电机与晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台连接；所述触控开关通过有线或无线与真空发生器连接，用于控制真空发生器的启停。
13.进一步地，所述机架上还设有照明灯。
14.进一步地，所述机架上还设有冷却水管，所述冷却水管设置于打磨机构的上方。
15.本实用新型的有益之处为：
16.1、本实用新型通过流水线和推料机构将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并通过定位组件对其进行准确定位，员工可一次放置多个晶圆片于流水线上，然后只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。
17.2、本实用新型的打磨片的打磨侧边上设置打磨v槽，打磨片上方还设置有冷却水管，使得晶圆片倒角更加稳定。
18.3、本用新型中触控开关的设置，不仅起到对晶圆片前端限位的作用，而且还起到真空发生器开关的作用。当晶圆片推到与触控开关接触后，触控开关闭合，打开旋转组件的真空发生器将待加工的晶圆片牢牢吸附于支撑盘上，方便快捷。同时通过制造真空负压将晶圆片固定，避免了夹具容易对晶圆表面损伤的困扰。
19.4、本实用新型的定位杆和推块上分别设置有与晶圆片相配合的定位槽和推槽，定位槽和推槽上分别设置有光滑垫条和缓冲胶，不仅能够更好的保护产品，而且还使得输送晶圆片过程中更加稳定。
附图说明
20.图1是本实用新型的结构示意图。
21.主要组件符号说明：
22.1、流水线；
23.2、旋转组件，21、旋转电机，22、真空发生器，23、支撑盘，24、气孔；
24.3、推料机构，31、固定架，32、气缸，33、推块；
25.4、定位组件，41、定位杆，42、传感器，43、触控开关；
26.5、平面坐标移动平台；51、移动板，52、水平电动螺杆；
27.6、晶圆片；
28.7、机架；
29.8、打磨机构，81、打磨片，82、打磨v槽；
30.9、照明灯，
31.10、冷却水管。
具体实施方式
32.为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具
体实施例对本实用新型作进一步详细的描述。
33.如图1所示，本实用新型公开了一种晶圆片倒角设备，其包括机架7、控制系统以及与控制系统连接的打磨机构8、自动进料定位装置、平面坐标移动平台 5、照明灯9和冷却水管10。打磨机构8设置于机架7的前侧面上，平面坐标移动平台5设置于机架7底面，照明灯9设置于机架7上，冷却水管10设置于打磨机构8的上方。
34.打磨机构8包括固定于机架上的打磨电机(图中未画出)以及与打磨电机轴端连接的打磨片81。打磨片81的打磨侧边上设置有与晶圆片6相配合的打磨v 槽82。
35.平面坐标移动平台5包括移动板51、驱动移动板51横向移动的水平电动螺杆52和驱动移动板51纵向移动的竖直电动螺杆(图中未画出)。移动板51与水平电动螺杆52的杆端连接。水平电动螺杆52上设置有连接板(图中未画出)，连接板(图中未画出)与竖直电动螺杆(图中未画出)的杆端连接。移动板51 和连接板(图中未画出)上沿移动方向上设置有滑块；机架7底面设置有与滑块相配合的滑轨。移动板51的上表面与旋转组件2固定连接。
36.自动进料定位装置包括用于运输晶圆片的流水线1、用于放置晶圆片的旋转组件2、用于将流水线1中的晶圆片推入旋转组件2中的推料机构3、以及用于限制晶圆片位置的定位组件4。
37.旋转组件2设置于晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台5上。旋转组件2 包括旋转电机21、真空发生器22和支撑盘23。支撑盘23设置于真空发生器22 上端，支撑盘23上设置有若干与真空发生器22相匹配的气孔24，真空发生器 22与旋转电机21的轴端连接。旋转电机21与晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台5连接。
38.推料机构3设置于流水线1的侧边。推料机构3包括固定架31、气缸32和推块33。气缸32固定于固定架31上，气缸32的轴端与推块33连接。固定架 31与流水线1的架体连接。
39.定位装置包括用于限制晶圆片一侧位置的定位杆41和用于限制晶圆片前端位置的触控开关43。
40.触控开关43设置于旋转组件2的正前方，触控开关43通过有线或无线与真空发生器22连接，用于控制真空发生器22的启停。触控开关43的设置，不仅起到对晶圆片6前端限位的作用，而且还起到真空发生器22开关的作用。当晶圆片6推到与触控开关43接触后，触控开关43闭合，打开旋转组件2的真空发生器22将待加工的晶圆片6牢牢吸附于支撑盘23上，方便快捷。
41.定位杆41可调节位置地设置于流线型的终端上，定位杆41上设置有用于检测晶圆片是否与定位杆41接触的传感器42，传感器42可使用漫反射传感器、红外线传感器或者接近开关。
42.为了更好的保护产品和输送晶圆片6过程中更加稳定，定位杆41上设有与晶圆片相配合的定位槽，定位槽上设置有用于减少摩擦力和保护晶圆片的光滑垫条。推块33上设置有与晶圆片相配合的推槽。推槽内设置有用于保护晶圆片的缓冲胶。
43.使用前，先对设备的平面坐标移动平台5进行位置矫正，使得晶圆片6的一侧贴于定位杆41上时，推块33、待加工晶圆片6、支撑盘23和触控开关43的中心线处于同一条直线上。然后将待加工的晶圆片6依次放置于流水线1上，流水线1将晶圆片6输送到流水线1终端，当传感器42检测到晶圆片6与定位杆 41接触时，停止流水线1运行，同时检测到支撑盘23处于待机位置时，则启动推料机构3，将晶圆片6缓慢推入支撑盘23中，当晶圆片6的前端
与触控开关 43接触时，触控开关43闭合，启动真空发生器22将晶圆片6吸附于支撑盘23 中，同时将推料机构3收回。旋转组件2通过平面坐标移动平台5将待加工的晶圆片6移动至打磨片81中进行移动或旋转打磨。当推杆收回到位后，再次启动流水线1，将晶圆片6输送于流水线1终端。打磨完毕后，将晶圆片6移送至机架的输送端，当员工取走打磨完的晶圆片后，旋转组件2回到待机位置，等待下一个晶圆片6的打磨。
44.综上，本实用新型使得待加工的晶圆片能够自动进料定位并自动打磨，不仅能够提高生产效率，较少人员工作强度，而且还能提高产品的加工质量。
45.以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。