一种提高下料速度的溅射镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种提高下料速度的溅射镀膜设备。


背景技术：

2.目前溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。
3.现有授权公告号为cn209602631u，专利名称为：提高下料速度的溅射镀膜设备，包括密封壳体、主壳体和抽真空设备，其工作原理如下：断开开关sb，所有电磁铁均失电，套环沿连接杆下滑，所有的镂空金属网均落到连接杆底部，并且堆叠在一起，工作人员可以一次将同一竖列的所有镂空金属网从挂件杆上捋下，镂空金属网在移动过程中将档杆推至与挂件杆平行状态下后，镂空金属网即可轻松从挂件上取下，底盘和连接杆在转动过程中工作人员可以进行下料，在转动速度合适的前提下，在底盘旋转一圈以后，工作人员即可将所有镂空金属网取下，下料速度快。
4.然而，电磁铁在使用的过程中经常需要通电和断电，使用时间一长，容易老化损坏，当电磁铁老化损坏后，电磁铁失电无法吸附套环，无法将套环固定在连接杆上，只能将电磁铁拆卸下来进行更换，步骤繁琐，操作麻烦，不便于装置的使用。


技术实现要素：

5.为了解决上述背景技术中所提到的技术问题，而提出的一种提高下料速度的溅射镀膜设备。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种提高下料速度的溅射镀膜设备，包括第一壳体和与第一壳体转动安装的第二壳体，所述第二壳体内固定安装有圆盘，所述圆盘内开设有内齿纹，所述第二壳体内转动安装有第一齿轮，所述第一齿轮上啮合连接有多个第二齿轮，所述第二齿轮上固定安装有连接杆，所述连接杆上滑动连接有多个套环，所述套环两端固定连接有挂件杆，所述挂件杆的自由端设有档杆，所述套环内螺纹连接有与连接杆外表壁抵触的螺杆，所述第二壳体内设有驱动第一齿轮转动的驱动机构，所述连接杆的顶部固定安装有顶盘。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述第一齿轮上转动安装有穿过连接杆的连接块，所述连接杆与连接块转动安装。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述驱动机构包括驱动电机，所述第二壳体内固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与第一齿轮传动连接。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述第二壳体内设有抽真空设备。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述第一壳体上开设有密封槽，所述密封槽内安装有与第二壳体外表壁抵触的密封圈。
16.作为上述技术方案的进一步描述：
17.所述螺杆的外表壁固定连接有凸台。
18.作为上述技术方案的进一步描述：
19.所述凸台焊接在螺杆上，所述凸台的外表壁加工有防滑纹。
20.综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
21.1、本实用新型中，正向转动凸台带动螺杆转动，根据螺纹传动原理，驱动螺杆向外运动且不与连接杆外表壁抵触，套环沿连接杆下滑，所有的镂空金属网均落到连接杆底部，工作人员将所有镂空金属网从挂件杆上取下，后移动套环至指定位置，反转凸台带动螺杆转动，驱动螺杆向内运动与连接杆外表壁抵触，将套环固定在连接杆上，不使用电磁铁，避免电磁铁老化损坏后无法将套环固定在连接杆上，操作简单，步骤简便，便于装置的使用。
22.2、本实用新型中，启动驱动电机，带动第一齿轮转动，根据卡齿的啮合传动原理，驱动第二齿轮自转且绕着第一齿轮的轴线转动，带动连接杆、套环、挂件杆和档杆同步运动，提高镀膜的工作效率。
附图说明
23.图1示出了根据本实用新型实施例提供的一种提高下料速度的溅射镀膜设备的轴测示意图；
24.图2示出了根据本实用新型实施例提供的一种提高下料速度的溅射镀膜设备的部分零件结构示意图；
25.图3示出了根据本实用新型实施例提供的一种提高下料速度的溅射镀膜设备的第一壳体和第二壳体的结构示意图；
26.图4示出了根据本实用新型实施例提供的一种提高下料速度的溅射镀膜设备的套环与挂件杆的结构示意图；
27.图5示出了根据本实用新型实施例提供的一种提高下料速度的溅射镀膜设备的局部剖视示意图。
28.图例说明：
29.1、第一壳体；2、第二壳体；3、抽真空设备；4、密封圈；5、顶盘；6、连接杆；7、套环；8、挂件杆；9、档杆；10、驱动电机；11、第一齿轮；12、第二齿轮；13、连接块；14、圆盘；1401、内齿纹；15、螺杆；16、凸台。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下
所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.请参阅图1
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5，本实用新型提供一种技术方案：一种提高下料速度的溅射镀膜设备，包括第一壳体1和与第一壳体1转动安装的第二壳体2，第二壳体2内固定安装有圆盘14，圆盘14内开设有内齿纹1401，第二壳体2内转动安装有第一齿轮11，第一齿轮11上啮合连接有多个第二齿轮12，第二齿轮12上固定安装有连接杆6，连接杆6上滑动连接有多个套环7，套环7两端固定连接有挂件杆8，挂件杆8的自由端设有档杆9，套环7内螺纹连接有与连接杆6外表壁抵触的螺杆15，第二壳体2内设有驱动第一齿轮11转动的驱动机构，连接杆6的顶部固定安装有顶盘5，第一齿轮11上转动安装有穿过连接杆6的连接块13，连接杆6与连接块13转动安装。
32.具体的，如图1
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5所示，驱动机构包括驱动电机10，第二壳体2内固定安装有驱动电机10，驱动电机10的输出轴与第一齿轮11传动连接，第二壳体2内设有抽真空设备3，第一壳体1上开设有密封槽，密封槽内安装有与第二壳体2外表壁抵触的密封圈4，螺杆15的外表壁固定连接有凸台16，凸台16焊接在螺杆15上，凸台16的外表壁加工有防滑纹，启动驱动电机10，带动第一齿轮11转动，根据卡齿的啮合传动原理，驱动第二齿轮12自转且绕着第一齿轮11的轴线转动，带动连接杆6、套环7、挂件杆8和档杆9同步运动，提高镀膜的工作效率，正向转动凸台16带动螺杆15转动，根据螺纹传动原理，驱动螺杆15向外运动，此时螺杆15不与连接杆6外表壁抵触，套环7沿连接杆6下滑，所有的镂空金属网均落到连接杆6底部，并且堆叠在一起，工作人员可以一次将同一竖列的所有镂空金属网从挂件杆8上捋下，镂空金属网在移动过程中将档杆9推至与挂件杆8平行状态下后，镂空金属网即可轻松取下，下料速度快，移动套环7至指定位置，反转凸台16带动螺杆15转动，驱动螺杆15向内运动与连接杆6外表壁抵触，将套环7固定在连接杆6上，不使用电磁铁，避免电磁铁老化损坏后无法将套环7固定在连接杆6上，使用螺杆15将套环7固定在连接杆6上，操作简单，步骤简便，便于装置的使用。
33.工作原理：使用时，正向转动凸台16带动螺杆15转动，根据螺纹传动原理，驱动螺杆15向外运动，此时螺杆15不与连接杆6外表壁抵触，套环7沿连接杆6下滑，所有的镂空金属网均落到连接杆6底部，并且堆叠在一起，工作人员可以一次将同一竖列的所有镂空金属网从挂件杆8上捋下，镂空金属网在移动过程中将档杆9推至与挂件杆8平行状态下后，镂空金属网即可轻松取下，下料速度快，移动套环7至指定位置，反转凸台16带动螺杆15转动，驱动螺杆15向内运动与连接杆6外表壁抵触，将套环7固定在连接杆6上，不使用电磁铁，避免电磁铁老化损坏后无法将套环7固定在连接杆6上，使用螺杆15将套环7固定在连接杆6上，操作简单，步骤简便，便于装置的使用。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。