箱式真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型属于镀膜机技术领域，更具体地说，特别涉及箱式真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延等很多种，可使零件表面均匀的增加一层镀膜。
3.基于上述，本发明人发现其在使用时存在以下问题：
4.一个是，现在的真空镀膜机在使用后，真空室内部不容易清理，会有部分材料粘连在真空室内壁，清理时会浪费大量的时间和人力，不及时清理中空室，容易造成材料越来越难清理的现象，再者是，由于扩散泵会温度较高，在设备运行时，工作人员误触后容易发生烫伤的现象。
5.于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供箱式真空镀膜机，以期达到更具有更加实用价值性的目的。


技术实现要素：

6.为了解决上述技术问题，本实用新型提供箱式真空镀膜机，以解决现有一个是，现在的真空镀膜机在使用后，真空室内部不容易清理，会有部分材料粘连在真空室内壁，清理时会浪费大量的时间和人力，不及时清理中空室，容易造成材料越来越难清理的现象，再者是，由于扩散泵会温度较高，在设备运行时，工作人员误触后容易发生烫伤的现象的问题。
7.本实用新型箱式真空镀膜机的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
8.箱式真空镀膜机，包括固定座；所述固定座采用矩形板状结构，且固定座的底部等距离设置有三处承重柱；连接外壳，所述连接外壳采用方形块结构，且连接外壳的顶部中间位置设置有一处顶部贯穿的连接空腔。
9.进一步的，所述固定座包括有：固定座顶部前端呈环形排列设置有截面为t形的连接柱，固定座的后侧设置有扩散泵；镀膜机外壳，镀膜机外壳是由两个半圆形筒铰连接组成，且镀膜机外壳的底部设置有一处顶部贯穿的圆盘形外壳，且圆盘形外壳的外侧环形排列有六个支撑脚，该支撑脚分别滑动设置在承重柱的外侧，且两者之间设置有弹簧。
10.进一步的，所述固定座包括有：限位环，限位环采用圆形环状结构，且限位环处于镀膜机外壳的底部内侧，并且限位环内侧设置有齿槽；扩散泵的外侧固定设置有防护固定支撑；圆盘形外壳的内部设置有齿轮减速电机；镀膜机外壳顶部内侧设置有连接外壳。
11.进一步的，所述防护固定支撑包括有：防护固定支撑是由两个半圆环组成，且半圆形的一端铰连接，另一端通过螺栓固定连接在扩散泵的外侧，防护固定支撑的两个半圆形环的外侧设置有截面为t形的弧形连接槽；连接块，连接块采用矩形杆结构，且连接块的一端为t形结构，并且连接块可沿防护固定支撑的弧形连接槽内部移动，且两者之间为过盈配合，连接块的另一端均设置有顶部为弧形的防护杆。
12.进一步的，所述齿轮减速电机包括有：齿轮减速电机设置于圆盘形外壳的内侧，且齿轮减速电机的转轴贯穿至镀膜机外壳的底部内侧；传动轴，传动轴采用圆形杆结构，且传动轴的外侧设置有螺纹，并且传动轴底部十分之一处设置有圆形凸起，并且传动轴的顶部螺纹切除，圆形凸起的外侧呈环形排列设置有棘轮齿。
13.进一步的，所述齿轮减速电机包括有：转动盘，转动盘采用圆形盘状结构，且转动盘的中间位置底部设置有凹槽，该凹槽的内部设置有棘轮槽，传动轴贯穿转动盘中间位置，并且传动轴的圆形凸起转动连接在凹槽内部，棘轮齿可与棘轮槽卡合；转动杆，转动杆采用圆形杆结构，且转动杆共设置有六处并呈环形排列转动连接在转动盘的外侧，且转动盘底部设置有齿轮并与限位环的齿槽啮合传动。
14.进一步的，所述连接外壳包括有：连接外壳的顶部设置有圆形筒，该圆形筒与空腔连通，且圆形筒的内部设置有螺纹槽，该螺纹槽可与传动轴的外侧啮合传动；限位滑动块，连接外壳采用类t形的块状结构，且限位滑动块的一侧设置有梯形限位凸起，另一侧设置有圆柱凸起，并且限位滑动块可滑动设置在连接外壳的内部，且两者之间设置有弹簧。
15.进一步的，所述连接外壳包括有：转动环，转动环采用圆形环状结构，且转动环的内侧设置有螺纹槽，该螺纹槽与连接外壳的螺纹槽连通，并且转动环转动连接在连接外壳的连接空腔内部，转动环的一侧设置有楔形凸起，该楔形凸起可与限位滑动块接触；清理盘，清理盘是由三处环形板组成，且该环形板从小到大依次套设，并且清理盘之间均为转动连接，最内侧的清理盘与连接外壳外侧固定连接，中间的清理盘上等距离开设有弧形贯穿孔，最外侧的清理盘的边缘为倾斜面。
16.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
17.传动轴和连接外壳的设置，有利于提高镀膜机的实用性，过传动轴带动转动环在连接外壳的内部旋转，直至转动环上的梯形凸起与限位滑动块接触并停止运动，传动轴外侧螺纹进入到连接外壳的内部并带动连接外壳向下移动，清理盘会与镀膜机外壳内部接触并向下移动清理，传动轴带动反向旋转，传动轴带动连接外壳向上移动，直至传动轴外侧的螺纹与连接外壳脱离并带动转动环在连接外壳内部旋转，进而使清理盘完成一次往复运动，对镀膜机外壳内部进行快速清理，进而降低人力的利用，避免出现材料越来越难清理的现象；
18.另一方面，连接块的一端滑动设置在防护固定支撑的外侧，通过设置多组连接块和防护杆可将扩散泵进行有效的防护，避免外部碰撞的情况发生，防止影响扩散泵的运行，同时连接块和防护杆的设置能有效的避免工作人员误触导致的烫伤情况发生。
附图说明
19.图1是本实用新型的轴视结构示意图。
20.图2是本实用新型镀膜机外壳的侧剖结构示意图。
21.图3是本实用新型部分拆卸后的侧剖结构示意图。
22.图4是本实用新型图2中a点的局部放大结构示意图。
23.图5是本实用新型防护固定支撑的侧剖结构示意图。
24.图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
25.1、固定座；101、镀膜机外壳；102、扩散泵；103、圆盘形外壳；104、限位环；2、防护固
定支撑；201、连接块；202、防护杆；3、齿轮减速电机；301、传动轴；302、棘轮齿；303、转动盘；304、转动杆；4、连接外壳；401、限位滑动块；402、转动环；403、清理盘。
具体实施方式
26.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
27.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
28.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.实施例：
30.如附图1至附图5所示：
31.本实用新型提供箱式真空镀膜机，参照图1，固定座1；固定座1采用矩形板状结构，且固定座1的底部等距离设置有三处承重柱；连接外壳4，连接外壳4采用方形块结构，且连接外壳4的顶部中间位置设置有一处顶部贯穿的连接空腔。
32.参照图1和参照图2，固定座1包括有：固定座1顶部前端呈环形排列设置有截面为t形的连接柱，固定座1的后侧设置有扩散泵102；镀膜机外壳101，镀膜机外壳101是由两个半圆形筒铰连接组成，且镀膜机外壳101的底部设置有一处顶部贯穿的圆盘形外壳103，且圆盘形外壳103的外侧环形排列有六个支撑脚，该支撑脚分别滑动设置在承重柱的外侧，且两者之间设置有弹簧；固定座1包括有：限位环104，限位环104采用圆形环状结构，且限位环104处于镀膜机外壳101的底部内侧，并且限位环104内侧设置有齿槽；扩散泵102的外侧固定设置有防护固定支撑2；圆盘形外壳103的内部设置有齿轮减速电机3；镀膜机外壳101顶部内侧设置有连接外壳4；
33.通过采用上述技术方案，通过圆盘形外壳103的支撑脚与固定座1的承重柱之间弹簧的配合，能有效的进行减震，避免影响镀膜操作。
34.参照图1参照图5，防护固定支撑2包括有：防护固定支撑2是由两个半圆环组成，且半圆形的一端铰连接，另一端通过螺栓固定连接在扩散泵102的外侧，防护固定支撑2的两个半圆形环的外侧设置有截面为t形的弧形连接槽；连接块201，连接块201采用矩形杆结构，且连接块201的一端为t形结构，并且连接块201可沿防护固定支撑2的弧形连接槽内部移动，且两者之间为过盈配合，连接块201的另一端均设置有顶部为弧形的防护杆202；
35.通过采用上述技术方案，通过设置多组连接块201和防护杆202可将扩散泵102进行有效的防护，避免外部碰撞的情况发生。
36.参照图2和参照图4，齿轮减速电机3包括有：齿轮减速电机3设置于圆盘形外壳103
的内侧，且齿轮减速电机3的转轴贯穿至镀膜机外壳101的底部内侧；传动轴301，传动轴301采用圆形杆结构，且传动轴301的外侧设置有螺纹，并且传动轴301底部十分之一处设置有圆形凸起，并且传动轴301的顶部螺纹切除，圆形凸起的外侧呈环形排列设置有棘轮齿302；齿轮减速电机3包括有：转动盘303，转动盘303采用圆形盘状结构，且转动盘303的中间位置底部设置有凹槽，该凹槽的内部设置有棘轮槽，传动轴301贯穿转动盘303中间位置，并且传动轴301的圆形凸起转动连接在凹槽内部，棘轮齿302可与棘轮槽卡合；转动杆304，转动杆304采用圆形杆结构，且转动杆304共设置有六处并呈环形排列转动连接在转动盘303的外侧，且转动盘303底部设置有齿轮并与限位环104的齿槽啮合传动；
37.通过采用上述技术方案，因转动杆304底部的齿轮与限位环104内侧啮合传动，在转动盘303旋转时，转动杆304会跟随旋转进而带动镀膜件进行旋转。
38.参照图2和参照图3，连接外壳4包括有：连接外壳4的顶部设置有圆形筒，该圆形筒与空腔连通，且圆形筒的内部设置有螺纹槽，该螺纹槽可与传动轴301的外侧啮合传动；限位滑动块401，连接外壳4采用类t形的块状结构，且限位滑动块401的一侧设置有梯形限位凸起，另一侧设置有圆柱凸起，并且限位滑动块401可滑动设置在连接外壳4的内部，且两者之间设置有弹簧；连接外壳4包括有：转动环402，转动环402采用圆形环状结构，且转动环402的内侧设置有螺纹槽，该螺纹槽与连接外壳4的螺纹槽连通，并且转动环402转动连接在连接外壳4的连接空腔内部，转动环402的一侧设置有楔形凸起，该楔形凸起可与限位滑动块401接触；清理盘403，清理盘403是由三处环形板组成，且该环形板从小到大依次套设，并且清理盘403之间均为转动连接，最内侧的清理盘403与连接外壳4外侧固定连接，中间的清理盘403上等距离开设有弧形贯穿孔，最外侧的清理盘403的边缘为倾斜面；
39.通过采用上述技术方案，通过传动轴301控制转动环402进行正反转，转动环402与限位滑动块401之间形成棘轮原理，进而可通过改变传动轴301的旋转方向调节清理盘403的上下位置。
40.本实施例的具体使用方式与作用：
41.本实用新型中，使用时，外部机械泵和维持泵通过扩散泵102将附着材料排入到镀膜机外壳101的内部，此时扩散泵102内部的温度高达二百三十度左右，因防护固定支撑2通过螺栓固定在扩散泵102的外侧，且连接块201的一端滑动设置在防护固定支撑2的外侧，通过设置多组连接块201和防护杆202可将扩散泵102进行有效的防护，避免外部碰撞的情况发生，防止影响扩散泵102的运行，同时连接块201和防护杆202的设置能有效的避免工作人员误触导致的烫伤情况发生，在镀膜的过程中，通过启动齿轮减速电机3，齿轮减速电机3带动传动轴301在镀膜机外壳101的内部旋转顺时针旋转，此时齿轮减速电机3上的棘轮齿302会嵌入到转动盘303的棘轮槽内部，进而带动转动盘303进行逆时针旋转，因转动杆304底部的齿轮与限位环104内侧啮合传动，在转动盘303旋转时，转动杆304会跟随旋转进而带动镀膜件进行旋转，增加镀膜的均匀性，当需要对镀膜机外壳101内部进行清理时，齿轮减速电机3逆时针旋转，传动轴301带动转动环402在连接外壳4的内部旋转，直至转动环402上的梯形凸起与限位滑动块401接触并停止运动，此时转动环402的螺纹槽与连接外壳4上的螺纹槽连通，传动轴301外侧螺纹进入到连接外壳4的内部，并带动连接外壳4向下移动，同时连接外壳4带动清理盘403向下移动，最外侧的清理盘403会与镀膜机外壳101内部接触并向下移动清理，转动杆304顶部会贯穿中间的清理盘403上的弧形贯穿孔，直至连接外壳4移动至
最底部，此时齿轮减速电机3顺时针旋转，传动轴301重新带动转动盘303旋转，转动盘303会带动中间为清理盘403旋转，传动轴301带动连接外壳4向上移动，直至传动轴301外侧的螺纹与连接外壳4脱离并带动转动环402在连接外壳4内部旋转，进而使清理盘403完成一次往复运动，对镀膜机外壳101内部进行快速清理，进而降低人力的利用，避免出现材料越来越难清理的现象，避免因残留导致的镀膜质量下降。
42.本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。