一种用于真空热处理的移动式三维加热装置的制作方法

1.本实用新型涉及加热装置技术领域，具体为一种用于真空热处理的移动式三维加热装置。


背景技术：

2.真空镀膜在液晶显示屏、半导体及太阳能电池等领域中有着广泛的应用，为了将蒸镀材料均匀涂布到基板上，一般是将基板设置于坩埚的开口上方，再借由加热系统对放置在坩埚内的蒸镀材料进行加热蒸发，使之均匀地散射到基板上。现有的加热系统是采用坩埚与加热丝一体式的加热方式，容易造成坩埚上下端温差较大，导致蒸镀材料在蒸发时受热不均，影响蒸镀质量，而且一体式的结构也导致蒸镀结束后坩埚的冷却速度较慢，影响工作效率。
3.国家知识产权局2020年10月16日授权了一件名为“用于真空热处理的移动式三维加热装置”的实用新型专利，其申请号为：202020233756.1，该专利公布了如下技术方案：包括上端敞口的隔热罩，所述隔热罩的底部与驱动其上下移动的升降组件连接，其内部设有用于加热坩埚的加热组件。所述加热组件包括能抵靠到坩埚底部的电加热盘，所述电加热盘的中部设有通孔，所述通孔外侧设有若干呈圆周阵列分布在所述电加热盘上的凹槽。所述通孔与若干所述凹槽内共同设有用于加热坩埚底部的加热元件。所述电加热盘上还设有能套装到坩埚侧壁上的导热环
……
，该专利通过升降组件实现了隔热罩的上下移动，进而实现了加热组件的上下移动，在坩埚工作时，加热组件上移对其加热，在坩埚工作结束时或加热温度过高时，加热组件及时下移退回，提高坩埚的冷却速度；通过电加热盘及加热元件的设置能够对坩埚底部进行加热，再通过加热竖条对导热环的加热能够将导热环上的热量均匀地传导到坩埚侧壁上，使得坩埚侧壁受热均匀，减小坩埚上下端的温差，但是其在使用时存在以下缺陷：
4.当坩埚工作未结束且加热温度过高时，此时，将加热组件下移退回使坩埚温度下降，一方面造成内筒内部温度流失，另一方面容易导致坩埚温度下降过快，需要重新对坩埚加热，进而影响镀膜效果。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种用于真空热处理的移动式三维加热装置以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空热处理的移动式三维加热装置，包括上端敞口的隔热罩，所述隔热罩的底部与驱动其上下移动的升降组件连接,所述隔热罩的内部底端的中间位置处通过多个支杆设置有隔热底座，所述隔热底座的顶部设置有内筒，所述内筒的顶部与隔热罩的顶部之间设置有环形密封板；
7.所述内筒的内部设置有用于加热坩埚的加热机构，所述加热组件包括设置在内筒内部底端能抵靠到坩埚底部的电加热盘以及沿圆周方向均匀贯穿滑动设置在内筒侧壁上
的侧加热组件，其中，所述侧加热组件沿内筒半径方向滑动；
8.所述加热机构件还包括用于驱动侧加热组件一同向内筒中心移动或一同向内筒外侧移动的驱动组件。
9.优选的，所述侧加热组件包括与内筒侧壁滑动连接的滑动条以及设置在滑动条靠近内筒中心的一侧的加热竖条。
10.优选的，所述驱动组件包括滑动设置在隔热底座与隔热罩之间的环形隔板、设置在环形隔板底部与隔热罩底部之间的电动伸缩杆、滑动设置在环形隔板上方隔热罩内侧壁上的环状导斜件，其中，所述环状导斜件的内侧具有向下倾斜的环形斜面，所述滑动条远离加热竖条一侧的中间位置处设置有导斜块，所述导斜块远离滑动条的一侧设置有与环形斜面行相互匹配的导斜面，所述导斜面抵触在所述环形斜面上并与环形斜面之间通过花键滑动连接，所述滑动条一侧的环状导斜件与环形隔板之间设置有连接件。
11.优选的，所述滑动条、对应导斜块、对应环状导斜件、对应连接件以及对应环形板上设置有导线引出通道一，所述内筒和隔热底座上设置有导线引出通道二，所述隔热罩的底部设置有总导线引出孔。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本实用新型的通过设置驱动组件，在应用时，当坩埚工作未结束且加热温度过高或过低时，可控制电动伸缩杆输出端移动，带动环形隔板移动，当环形隔板下移时通过连接件可带动环状导斜件下移，此时，通过环状导斜件的环形斜面与导斜块的导斜面之间配合关系，可带动多个滑动条一同向外侧移动，使得加热竖条远离坩埚，进而降低坩埚的温度，当环形隔板上移时通过连接件可带动环状导斜件上移，此时，通过环状导斜件的环形斜面与导斜块的导斜面之间配合关系，可带动多个滑动条一同向内侧移动，使得加热竖条靠近坩埚，进而升高坩埚的温度，即避免了温度流失，又避免了坩埚温度下降过快。
14.2、实用新型通过设置导线引出通道一、导线引出通道二以及总导线引出孔，电加热盘的导线依次导线引出通道二和总导线引出孔导出与外接电源连接，而导线引出通道一，在环状导斜件环与导斜块滑动范围内，加热竖条的导线可依次通过引出通道一和总导线引出孔导出与外接电源连接，导线位于通道内部，避免隔热罩内部温度过高影响导线使用。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型的隔热罩俯视结构示意图。
17.图中：1、隔热罩；2、支杆；3、隔热底座；4、内筒；5、环形密封板； 6、电加热盘；7、滑动条；8、加热竖条；9、环形隔板；10、电动伸缩杆； 11、环状导斜件；12、环形斜面；13、导斜块；14、导斜面；15、连接件；16、导线引出通道一；17、导线引出通道二；18、总导线引出孔。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种用于真空热处理的移动式三维加热装置，包括上端敞口的隔热罩1，隔热罩1的底部与驱动其上下移动的升降组件连接,隔热罩1的内部底端的中间位置处通过多个支杆2设置有隔热底座3，隔热底座3的顶部设置有内筒4，内筒4的顶部与隔热罩1的顶部之间设置有环形密封板5；
20.内筒4的内部设置有用于加热坩埚的加热机构，加热组件包括设置在内筒4内部底端能抵靠到坩埚底部的电加热盘6以及沿圆周方向均匀贯穿滑动设置在内筒4侧壁上的侧加热组件，其中，侧加热组件沿内筒4半径方向滑动，侧加热组件包括与内筒4侧壁滑动连接的滑动条7以及设置在滑动条7 靠近内筒4中心的一侧的加热竖条8；
21.加热机构件还包括用于驱动侧加热组件一同向内筒4中心移动或一同向内筒4外侧移动的驱动组件，驱动组件包括滑动设置在隔热底座3与隔热罩1 之间的环形隔板9、设置在环形隔板9底部与隔热罩1底部之间的电动伸缩杆 10、滑动设置在环形隔板9上方隔热罩1内侧壁上的环状导斜件11，其中，环状导斜件11的内侧具有向下倾斜的环形斜面12，滑动条7远离加热竖条8 一侧的中间位置处设置有导斜块13，导斜块13远离滑动条7的一侧设置有与环形斜面12行相互匹配的导斜面14，导斜面14抵触在环形斜面12上并与环形斜面12之间通过花键滑动连接，滑动条7一侧的环状导斜件11与环形隔板9之间设置有连接件15；
22.滑动条7、对应导斜块13、对应环状导斜件11、对应连接件15以及对应环形板上设置有导线引出通道一16，内筒4和隔热底座3上设置有导线引出通道二17，隔热罩1的底部设置有总导线引出孔18。
23.工作原理：在应用时，当坩埚工作未结束且加热温度过高或过低时，可控制电动伸缩杆10输出端移动，带动环形隔板9移动，当环形隔板9下移时通过连接件15可带动环状导斜件11下移，此时，通过环状导斜件11的环形斜面12与导斜块13的导斜面14之间配合关系，可带动多个滑动条7一同向外侧移动，使得加热竖条8远离坩埚，进而降低坩埚的温度，当环形隔板9 上移时通过连接件15可带动环状导斜件11上移，此时，通过环状导斜件11 的环形斜面12与导斜块13的导斜面14之间配合关系，可带动多个滑动条7 一同向内侧移动，使得加热竖条8靠近坩埚，进而升高坩埚的温度，即避免了温度流失，又避免了坩埚温度下降过快，而设置的导线引出通道一16、导线引出通道二17以及总导线引出孔18，电加热盘6的导线依次导线引出通道二17和总导线引出孔18导出与外接电源连接，而导线引出通道16一，在环状导斜件11与导斜块13滑动范围内，加热竖条8的导线可依次通过导线引出通道一16和总导线引出孔18导出与外接电源连接，导线位于通道内部，避免隔热罩1内部温度过高影响导线使用。
24.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。