一种真空镀膜复合涂层装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜复合涂层装置。


背景技术：

2.真空镀膜设备主要指在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，镀膜后不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强。
3.在实际生产加工过程中，在镀膜前通常需要对待镀膜工件进行夹持固定，然而现有夹持机构结构简单，不易对夹持后的工件角度进行调节，因此会出现镀膜不均匀的现象。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜复合涂层装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种真空镀膜复合涂层装置，包括镀膜箱体、蒸镀源发生器，还包括夹持组件以及镀膜组件，所述蒸镀源发生器固定安装在镀膜箱体顶部；
7.所述夹持组件包括相对布置在镀膜箱体内两侧的l形夹持板，所述l形夹持板分别与推动其在镀膜箱体内水平移动的推动部件连接，所述镀膜箱体外侧设置驱动电机，所述镀膜箱体内底壁设置转轴，所述转轴与镀膜箱体内壁转动连接，所述镀膜箱体外侧设置驱动电机，所述驱动电机输出端与转轴固定连接，所述转轴两端分别通过皮带以及皮带轮与推动部件传动连接；
8.所述镀膜组件安装在镀膜箱体内上方，用于对夹持固定后的工件进行镀膜处理。
9.优选的，所述推动部件包括支座，所述支座间设置丝杆，所述丝杆与支座转动连接，所述丝杆两侧螺纹方向相反，所述丝杆末端固定安装手柄，所述丝杆表面两侧相对设置丝杆螺母，所述丝杆螺母转动连接推杆，所述推杆远离丝杆螺母的一端与l形夹持板转动连接，所述支座远离l形夹持板的一端通过皮带轮与皮带传动连接。
10.优选的，两侧所述l形夹持板内侧壁表面均设置防滑垫。
11.优选的，所述丝杆一侧还设置有限位杆，所述限位杆与支座一端固定连接，所述限位杆表面设置限位座，所述限位座与限位杆滑动连接，所述限位座与丝杆螺母固定连接。
12.优选的，所述镀膜组件包括蒸镀源输送管，所述蒸镀源输送管一端与蒸镀源发生器连接，另一端延伸连接镀膜腔，所述镀膜腔朝向工件的一侧均匀设置多组镀膜喷头。
13.优选的，所述镀膜组件还包括往复驱动部件，所述往复驱动部件与蒸镀源输送管连接，用于带动镀膜喷头在镀膜箱体内水平移动，所述往复驱动部件包括转动杆，所述转动杆转动安装在镀膜箱体内，所述转动杆间设置螺杆，所述转动杆一端与转动部件连接，转动部件用于带动转动杆以及螺杆转动，所述螺杆表面设置螺母，所述螺母与蒸镀源输送管固
定连接。
14.优选的，所述转动部件包括锥齿轮一，所述驱动电机输出端与锥齿轮一固定连接，所述锥齿轮一与锥齿轮二啮合，所述锥齿轮二远离锥齿轮一的一端与转动柱固定连接，所述转动柱远离锥齿轮二的一端与半锥齿轮固定连接，所述转动杆末端贯穿镀膜箱体侧壁对称固定安装锥齿轮三，所述半锥齿轮与两侧锥齿轮三间歇性啮合。
15.优选的，所述螺杆一侧设置导杆，所述导杆与镀膜箱体内壁固定连接，所述导杆表面滑动安装活动座，所述活动座与蒸镀源输送管固定连接。
16.优选的，所述镀膜箱体内底部设置收集罩，所述收集罩用于对喷涂的多余物料进行收集。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
18.将待镀膜工件置于两侧l形夹持板间，通过推动部件推动两侧l形夹持板同时向内侧移动对工件进行夹持固定，启动驱动电机，所述驱动电机带动转轴转动，所述转轴在转动的过程中通过皮带以及皮带轮带动两侧推动部件以及夹持后的工件进行转动，所述镀膜组件对夹持后的工件进行镀膜处理，镀膜更加均匀。
附图说明
19.图1为一种真空镀膜复合涂层装置的结构示意图。
20.图2为一种真空镀膜复合涂层装置图1中a处放大的结构示意图。
21.图3为一种真空镀膜复合涂层装置中l形夹持板的结构示意图。
22.图中：1-镀膜箱体；2-蒸镀源发生器；3-蒸镀源输送管；4-螺母；5-螺杆；6-活动座；7-镀膜腔；8-镀膜喷头；9-收集罩；10-锥齿轮三；11-半锥齿轮；12-转动柱；13-锥齿轮二；14-锥齿轮一；15-驱动电机；16-转轴；17-皮带；18-导杆；19-转动杆；20-丝杆；21-手柄；22-丝杆螺母；23-推杆；24-l形夹持板；25-防滑垫；26-限位杆；27-限位座；28-支座。
具体实施方式
23.下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
24.请参阅图1-3，一种真空镀膜复合涂层装置，包括镀膜箱体1、蒸镀源发生器2、夹持组件以及镀膜组件，所述蒸镀源发生器2固定安装在镀膜箱体1顶部，所述夹持组件包括相对布置在镀膜箱体1内两侧的l形夹持板24，所述l形夹持板24分别与推动其在镀膜箱体1内水平移动的推动部件连接，所述镀膜箱体1外侧设置驱动电机15，所述镀膜箱体1内底壁设置转轴16，所述转轴16与镀膜箱体1内壁转动连接，所述镀膜箱体1外侧设置驱动电机15，所述驱动电机15输出端与转轴16固定连接，所述转轴16两端分别通过皮带17以及皮带轮与推动部件传动连接，所述镀膜组件安装在镀膜箱体1内上方，用于对夹持固定后的工件进行镀膜处理；
25.具体的，在本实施例中，将待镀膜工件置于两侧l形夹持板24间，通过推动部件推动两侧l形夹持板24同时向内侧移动对工件进行夹持固定，启动驱动电机15，所述驱动电机15带动转轴16转动，所述转轴16在转动的过程中通过皮带17以及皮带轮带动两侧推动部件以及夹持后的工件进行转动，所述镀膜组件对夹持后的工件进行镀膜处理，镀膜更加均匀。
26.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述推动部件包括支座28，所述支座28间
设置丝杆20，所述丝杆20与支座28转动连接，所述丝杆20两侧螺纹方向相反，所述丝杆20末端固定安装手柄21，所述丝杆20表面两侧相对设置丝杆螺母22，所述丝杆螺母22转动连接推杆23，所述推杆23远离丝杆螺母22的一端与l形夹持板24转动连接，所述支座28远离l形夹持板24的一端通过皮带轮与皮带17传动连接；
27.具体的，在本实施例中，通过转动手柄21，所述手柄21带动丝杆20转动，两侧所述丝杆螺母22在丝杆20表面移动的过程中通过推杆23推动l形夹持板24在水平方向移动。
28.作为本实用新型实施例进一步的方案，两侧所述l形夹持板24内侧壁表面均设置防滑垫25，具体的，通过设置防滑垫25提高工件与l形夹持板24间的摩擦力，避免在转动的过程中工件脱落。
29.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述丝杆20一侧还设置有限位杆26，所述限位杆26与支座28一端固定连接，所述限位杆26表面设置限位座27，所述限位座27与限位杆26滑动连接，所述限位座27与丝杆螺母22固定连接。
30.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述镀膜组件包括蒸镀源输送管3，所述蒸镀源输送管3一端与蒸镀源发生器2连接，另一端延伸连接镀膜腔7，所述镀膜腔7朝向工件的一侧均匀设置多组镀膜喷头8；
31.具体的，在本实施例中，所述蒸镀源发生器2将物料通过蒸镀源输送管3输送至镀膜腔7，并通过镀膜喷头8喷涂在工件表面，进而对工件进行镀膜处理。
32.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述镀膜组件还包括往复驱动部件，所述往复驱动部件与蒸镀源输送管3连接，用于带动镀膜喷头8在镀膜箱体1内水平移动，所述往复驱动部件包括转动杆19，所述转动杆19转动安装在镀膜箱体1内，所述转动杆19间设置螺杆5，所述转动杆19一端与转动部件连接，转动部件用于带动转动杆19以及螺杆5转动，所述螺杆5表面设置螺母4，所述螺母4与蒸镀源输送管3固定连接；
33.具体的，在本实施例中，通过转动部件带动转动杆19转动，所述转动杆19带动螺杆5转动，所述螺母4带动蒸镀源输送管3、镀膜腔7以及镀膜喷头8在水平方向往复移动。
34.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述转动部件包括锥齿轮一14，所述驱动电机15输出端与锥齿轮一14固定连接，所述锥齿轮一14与锥齿轮二13啮合，所述锥齿轮二13远离锥齿轮一14的一端与转动柱12固定连接，所述转动柱12远离锥齿轮二13的一端与半锥齿轮11固定连接，所述转动杆19末端贯穿镀膜箱体1侧壁对称固定安装锥齿轮三10，所述半锥齿轮11与两侧锥齿轮三10间歇性啮合；
35.具体的，在本实施例中，通过驱动电机15带动锥齿轮一14转动，所述锥齿轮一14通过与锥齿轮二13啮合带动转动杆12转动，所述转动杆12带动半锥齿轮11转动，所述半锥齿轮11通过与两侧锥齿轮三10啮合带动转动杆19转动。
36.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述螺杆5一侧设置导杆18，所述导杆18与镀膜箱体1内壁固定连接，所述导杆18表面滑动安装活动座6，所述活动座6与蒸镀源输送管3固定连接。
37.作为本实用新型实施例进一步的方案，所述镀膜箱体1内底部设置收集罩9，所述收集罩9用于对喷涂的多余物料进行收集。
38.本实用新型的工作原理是：将待镀膜工件置于两侧l形夹持板24间，通过推动部件推动两侧l形夹持板24同时向内侧移动对工件进行夹持固定，启动驱动电机15，所述驱动电
机15带动转轴16转动，所述转轴16在转动的过程中通过皮带17以及皮带轮带动两侧推动部件以及夹持后的工件进行转动，所述蒸镀源发生器2将物料通过蒸镀源输送管3输送至镀膜腔7，并通过镀膜喷头8喷涂在工件表面，进而对工件进行镀膜处理。
39.上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。