一种真空镀膜设备的冷却装置的制作方法

文档序号:29479524发布日期:2022-04-02 08:08阅读:262来源:国知局
一种真空镀膜设备的冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体是一种真空镀膜设备的冷却装置。


背景技术:

2.真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
3.真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜,而现有的真空镀膜机在冷却方面性能差,不能有效快速的将真空室内的温度抽走,不能将抽走的温度进行降温,防止外界温度过高对镀膜机造成影响,不能对镀膜件进行有效的冷却降温,冷却效果差,效率低,速度慢。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备的冷却装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
6.一种真空镀膜设备的冷却装置,包括真空镀膜箱体,还包括:
7.夹持组件,所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体内的支板,所述支板表面相对布置支座,两侧所述支座间设置紧固螺杆,所述紧固螺杆与支座通过螺纹连接,两侧所述紧固螺杆相互远离的一端与手柄固定连接,所述紧固螺杆远离手柄的一端与夹持板转动连接,以及
8.冷却组件,所述冷却组件包括布置在真空镀膜箱体内壁表面的多组冷却水管,所述真空镀膜箱体外侧壁表面布置多组与冷却水管连通的循环水管,所述循环水管间设置制冷箱,所述制冷箱用于对循环水管进行冷却,制冷箱外侧设置循环水泵,所述循环水管与循环水泵连接,所述循环水泵远离制冷箱的一侧与输水管连接。
9.优选的,所述真空镀膜箱体内还设置有升降部件,所述升降部件用于推动夹持后的工件在真空镀膜箱体内竖直方向上下移动,所述升降部件包括相对布置在真空镀膜箱体内的螺杆,所述螺杆两端分别与真空镀膜箱体内壁转动连接,所述螺杆表面设置螺母,两侧所述螺杆顶部末端贯穿真空镀膜箱体顶壁并通过皮带以及皮带轮传动连接,所述真空镀膜箱体顶壁表面固定安装驱动电机,所述驱动电机输出端与主齿轮固定连接,与驱动电机同侧的所述螺杆顶部末端固定安装副齿轮,所述副齿轮与主齿轮啮合,两侧所述螺母与支板固定连接。
10.优选的,所述真空镀膜箱体内壁表面还设置有散热壳,所述冷却水管安装在散热壳内,所述散热壳朝向夹持组件的一侧表面均匀设置多组散热孔。
11.优选的,所述支板下方通过连杆与基板固定连接,所述支板间设置通槽,所述基板表面安装第一冷凝箱,用于对支板表面夹持后的工件进行初步冷却降温。
12.优选的,所述真空镀膜箱体内底壁两侧相对布置电动马达,所述电动马达输出端
与叶片固定连接,所述基板表面均匀布置多组散热条孔。
13.优选的,所述真空镀膜箱体与箱门转动连接,箱门用于对真空镀膜箱体进行密封,所述箱门内侧壁表面竖直方向相对布置第二冷凝箱,用于在侧面方向对工件进行冷却降温,两侧所述第二冷凝箱间设置加热器。
14.优选的,所述箱门外侧壁表面设置观测窗口,所述箱门外表面还固定安装有把手。
15.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
16.将待镀膜工件置于两侧夹持板间,通过转动手柄,所述手柄带动紧固螺杆转动,两侧所述紧固螺杆在转动的过程中同时朝向工件方向移动,通过两侧所述夹持板对工件进行夹持固定,所述循环水泵通过输水管将外界水箱内的水输送至循环水管内,通过制冷箱对输入至循环水管内的水进行冷却降温,经过冷却降温后的水输送至冷却水管内对真空镀膜箱体内部进行冷却降温,所述冷却水管通过吸收真空镀膜箱体内的热量温度升高,所述循环水泵将冷却水管内升温后的水再次输入至循环水管内并通过制冷箱对其进行冷却降温,构成冷却水循环,有效对真空镀膜箱体内部进行冷却降温。
附图说明
17.图1为一种真空镀膜设备的冷却装置的结构示意图。
18.图2为一种真空镀膜设备的冷却装置中正视的结构示意图。
19.图3为一种真空镀膜设备的冷却装置中后视的结构示意图。
20.图4为一种真空镀膜设备的冷却装置中冷却水管的结构示意图。
21.图中:1-真空镀膜箱体;2-副齿轮;3-皮带;4-主齿轮;5-驱动电机;6-夹持板;7
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支座;8-紧固螺杆;9-通槽;10-支板;11-基板;12-叶片;13-电动马达;14-散热条孔; 15-加热器;16-第二冷凝箱;17-箱门;18-螺杆;19-观测窗口;20-把手;21-循环水管; 22-制冷箱;23-输水管;24-循环水泵;25-散热壳;26-散热孔;27-手柄;28-螺母;29
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第一冷凝箱;30-冷却水管。
具体实施方式
22.下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
23.请参阅图1-4,一种真空镀膜设备的冷却装置,包括真空镀膜箱体1、夹持组件以及冷却组件,所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体1内的支板10,所述支板10表面相对布置支座7,两侧所述支座7间设置紧固螺杆8,所述紧固螺杆8与支座7通过螺纹连接,两侧所述紧固螺杆8相互远离的一端与手柄27固定连接,所述紧固螺杆8远离手柄27的一端与夹持板6转动连接,所述冷却组件包括布置在真空镀膜箱体1内壁表面的多组冷却水管30,所述真空镀膜箱体1外侧壁表面布置多组与冷却水管30连通的循环水管21,所述循环水管21间设置制冷箱22,所述制冷箱22用于对循环水管21进行冷却,制冷箱22 外侧设置循环水泵24,所述循环水管21与循环水泵24连接,所述循环水泵24远离制冷箱22的一侧与输水管23连接;
24.具体的,在本实施例中,将待镀膜工件置于两侧夹持板6间,通过转动手柄27,所述手柄27带动紧固螺杆8转动,两侧所述紧固螺杆8在转动的过程中同时朝向工件方向移动,通过两侧所述夹持板6对工件进行夹持固定,所述循环水泵24通过输水管23将外界水箱内
的水输送至循环水管21内,通过制冷箱22对输入至循环水管21内的水进行冷却降温,经过冷却降温后的水输送至冷却水管30内对真空镀膜箱体1内部进行冷却降温,所述冷却水管30通过吸收真空镀膜箱体1内的热量温度升高,所述循环水泵24将冷却水管30内升温后的水再次输入至循环水管21内并通过制冷箱22对其进行冷却降温,构成冷却水循环,有效对真空镀膜箱体1内部进行冷却降温。
25.作为本实用新型实施例进一步的方案,所述真空镀膜箱体1内还设置有升降部件,所述升降部件用于推动夹持后的工件在真空镀膜箱体1内竖直方向上下移动,所述升降部件包括相对布置在真空镀膜箱体1内的螺杆18,所述螺杆18两端分别与真空镀膜箱体1内壁转动连接,所述螺杆18表面设置螺母28,两侧所述螺杆18顶部末端贯穿真空镀膜箱体 1顶壁并通过皮带3以及皮带轮传动连接,所述真空镀膜箱体1顶壁表面固定安装驱动电机5,所述驱动电机5输出端与主齿轮4固定连接,与驱动电机5同侧的所述螺杆18顶部末端固定安装副齿轮2,所述副齿轮2与主齿轮4啮合,两侧所述螺母28与支板10固定连接;
26.具体的,在本实施例中,启动驱动电机5,所述驱动电机5带动主齿轮4转动,所述主齿轮4带动副齿轮2转动,所述副齿轮2在转动的过程中通过皮带3以及皮带轮带动两侧螺杆18转动,两侧所述螺母28带动支板10以及夹持后的工件在真空镀膜箱体1内升降,以实现对工件的高度调节,进而便于进行加工镀膜。
27.作为本实用新型实施例进一步的方案,所述真空镀膜箱体1内壁表面还设置有散热壳 25,所述冷却水管30安装在散热壳25内,所述散热壳25朝向夹持组件的一侧表面均匀设置多组散热孔26;
28.具体的,在本实施例中,通过设置散热壳25对冷却水管30进行保护。
29.作为本实用新型实施例进一步的方案,所述支板10下方通过连杆与基板11固定连接,所述支板10间设置通槽9,所述基板11表面安装第一冷凝箱29,用于对支板10表面夹持后的工件进行初步冷却降温。
30.作为本实用新型实施例进一步的方案,所述真空镀膜箱体1内底壁两侧相对布置电动马达13,所述电动马达13输出端与叶片12固定连接,所述基板11表面均匀布置多组散热条孔14;
31.具体的,在本实施例中,启动电动马达13,所述电动马达13带动叶片12转动,所述叶片12在转动的过程中通过散热条孔14朝向工件的一侧吹风,进而加快真空镀膜箱体1 内的空气流动速率,提高降温效果。
32.作为本实用新型实施例进一步的方案,所述真空镀膜箱体1与箱门17转动连接,箱门17用于对真空镀膜箱体1进行密封,所述箱门17内侧壁表面竖直方向相对布置第二冷凝箱16,用于在侧面方向对工件进行冷却降温,两侧所述第二冷凝箱16间设置加热器15。
33.作为本实用新型实施例进一步的方案,所述箱门17外侧壁表面设置观测窗口19,所述箱门17外表面还固定安装有把手20。
34.本实用新型的工作原理是:将待镀膜工件置于两侧夹持板6间,通过转动手柄27,所述手柄27带动紧固螺杆8转动,两侧所述紧固螺杆8在转动的过程中同时朝向工件方向移动,通过两侧所述夹持板6对工件进行夹持固定,启动驱动电机5,所述驱动电机5带动主齿轮4转动,所述主齿轮4带动副齿轮2转动,所述副齿轮2在转动的过程中通过皮带3以及皮带轮带动两侧螺杆18转动,两侧所述螺母28带动支板10以及夹持后的工件在真空镀膜箱体1
内升降,以实现对工件的高度调节,所述循环水泵24通过输水管23将外界水箱内的水输送至循环水管21内,通过制冷箱22对输入至循环水管21内的水进行冷却降温,经过冷却降温后的水输送至冷却水管30内对真空镀膜箱体1内部进行冷却降温,所述冷却水管30通过吸收真空镀膜箱体1内的热量温度升高,所述循环水泵24将冷却水管30内升温后的水再次输入至循环水管21内并通过制冷箱22对其进行冷却降温,构成冷却水循环,启动电动马达13,所述电动马达13带动叶片12转动,所述叶片12在转动的过程中通过散热条孔14朝向工件的一侧吹风。
35.上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明,但是本专利并不限于上述实施方式,在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。
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