一种边抛机进给压力测量装置的制作方法

1.本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其是涉及一种边抛机进给压力测量装置。


背景技术：

2.在硅片加工过程中，需要对硅片的边缘进行抛光，边抛轮需要从不从高度对硅片进行抛光。目前使用的边抛机具备进给压力检测功能，当边抛机的边抛轮对于硅片的进给压力过大时，会使边抛台上的真空槽无法吸住硅片，导致硅片掉落的现象，造成产品报废率提升，提高了生产成本；当边抛轮对于硅片的进给压力过小时，会造成去抛光效率低下，抛光质量不达标等问题。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型旨在提出一种边抛机进给压力测量装置，以解决目前边抛机不具备压力检测功能，而导致的生产成本高，加工质量低的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
5.一种边抛机进给压力测量装置，包括固定板、压力传感器、压板，所述固定板与边抛台固定连接，所述压力传感器一端通过高度调节组件与固定板配合安装，另一端与压板固定连接。
6.进一步的，所述压板一端为弧形面。
7.进一步的，所述压板和压力传感器之间还设有连接板，所述连接板上开有连接通孔，所述连接通孔内侧设有缓冲螺栓，所述压板上开有与连接通孔对应的螺纹孔，所述缓冲螺栓外侧设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧安装于连接板和压板之间，所述连接板与压力传感器固定连接，所述缓冲螺栓与压板螺纹连接。
8.进一步的，所述高度调节组件包括调节板、调节螺栓、压缩弹簧，所述固定板设有导向柱，所述调节板上开有与导向柱对应的导向孔，所述压缩弹簧直径大于导向柱直径，所述固定板上端面上固设有调节螺母，所述固定板上还开有与调节螺母对应的调节通孔，所述调节孔直径大于调节螺栓直径，所述调节板上开有与调节螺栓对应的安装通孔；所述压缩弹簧安装于导向柱外侧，且位于调节板和固定板之间，所述调节螺栓安装于安装通孔内侧，所述调节螺栓与调节螺母螺纹连接，所述固定板与边抛台配合安装，所述调节板与压力传感器固定连接。
9.进一步的，所述调节板上还设有与导向孔对应的导向管，所述导向管内径与导向柱直径相匹配。
10.进一步的，所述边抛台上表面开多个安装螺纹孔，多个所述安装螺纹孔在一个同心圆上，所述固定板上开有安装螺纹孔对应的弧形通孔，多个所述弧形通孔弧形在一个同心圆上；所述弧形通孔内侧设有固定螺栓，所述固定螺栓与边抛台螺纹连接。
11.相对于现有技术，本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置具有以下有益效果：
12.(1)本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置，通过固定板、压力传感器、高度调节组件、压板之间的配合安装，可以测量边抛机的边抛轮在不同高度时的进给压力。
13.(2)本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置，压板临近边抛轮的一端为弧形面，弧形面结构能够更加贴合边抛轮的侧面，使边抛轮的进给压力的测量过程更加稳定。
14.(3)本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置，固定板上设有弧形通孔，可以对装置与边抛台在水平面上的角度进行调整。
附图说明
15.构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
16.图1为本实用新型实施例所述的装置结构示意图；
17.图2为本实用新型实施例所述的装置俯视结构示意图；
18.图3为本实用新型实施例所述的调节板结构示意图；
19.图4为本实用新型实施例所述的固定板结构示意图；
20.图5为本实用新型实施例所述的边抛台结构示意图；
21.图6为本实用新型实施例所述的装置使用状态结构示意图。
22.附图标记说明：
23.1-固定板；2-调节板；3-压力传感器；4-压板；5-边抛轮；6-连接板；7-边抛台；8-缓冲螺栓；9-调节螺栓；10-调节螺母；11-缓冲弹簧；12-压缩弹簧；13-固定螺栓；101-弧形通孔；102-导向柱；201-导向管；202-安装通孔；701-安装螺纹孔。
具体实施方式
24.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
26.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
28.如图1至图6所示，一种边抛机进给压力测量装置，包括固定板1、压力传感器3、压板4，固定板1与边抛台7固定连接，压力传感器3一端通过高度调节组件与固定板1配合安装，另一端与压板4固定连接。通过固定板1、压力传感器3、高度调节组件、压板4之间的配合安装，可以测量边抛机的边抛轮5在不同高度时的进给压力。
29.压板4临近边抛轮5的一端为弧形面，弧形面结构能够更加贴合边抛轮5的侧面，使边抛轮5的进给压力的测量过程更加稳定。
30.压板4和压力传感器3之间还设有连接板6，连接板6上开有连接通孔，优选的连接通孔数量为两个，连接通孔内侧设有缓冲螺栓8，压板4上开有与连接通孔对应的螺纹孔，缓冲螺栓8外侧设有缓冲弹簧11，缓冲弹簧11安装于连接板6和压板4之间，连接板6与压力传感器3固定连接，缓冲螺栓8与压板4螺纹连接。缓冲弹簧11对边抛轮5的进给过程起到了缓冲作用，提高了装置的使用寿命。
31.高度调节组件包括调节板2、调节螺栓9、压缩弹簧12，固定板1设有导向柱102，调节板2上开有与导向柱102对应的导向孔，压缩弹簧12直径大于导向柱102直径，固定板1上端面上固设有调节螺母10，固定板1上还开有与调节螺母10对应的调节通孔，调节孔直径大于调节螺栓9直径，调节板2上开有与调节螺栓9对应的安装通孔202；压缩弹簧12安装于导向柱102外侧，且位于调节板2和固定板1之间，调节螺栓9安装于安装通孔202内侧，调节螺栓9与调节螺母10螺纹连接，固定板1与边抛台7配合安装，调节板2与压力传感器3固定连接。压缩弹簧12在安装时，即处于被压缩的状态，能给调节板2一定的弹力，防止调节螺栓9发生松动，当需要将调节板2向下移动时，只需要拧紧调节螺栓9，调节板2就会带动压力传感器3和压板4等部件向下移动，反之松动调节螺栓9，在压缩弹簧12的弹力的作用下，调节板2就会带动压力传感器3和压板4等部件向上移动，进而实现调节板2高度的目的。
32.调节板2上还设有与导向孔对应的导向管201，导向管201内径与导向柱102直径相匹配，导向管201对导向柱102的上下运动起到了导向作用，增加装置在调节高度时的结构稳定性。
33.边抛台7上表面开多个安装螺纹孔701，优选的安装螺纹孔701数量为三个，多个安装螺纹孔701在一个同心圆上，固定板1上开有安装螺纹孔701对应的弧形通孔101，多个弧形通孔101弧形在一个同心圆上；弧形通孔101内侧设有固定螺栓13，固定螺栓13与边抛台7螺纹连接。松开固定螺栓13后，固定螺栓13可以在弧形通孔101内侧滑动，由于多个弧形通孔101和多个安装螺纹孔701在一个同心圆上，所以固定板1可以做围绕同心圆圆心转动，进而实现调整装置与边抛台7在水平面上的角度，使压板4能够对齐边抛轮5，扩宽了装置的使用场景。
34.进给压力测试方法如下，将装置安装在边抛台7上，调整调节板2的高度，使压板4对齐边抛轮5，压力传感器3与边抛机的控制器电连接，边抛机的plc控制器控制边抛轮5给进，边抛机显示界面上会显示出边抛轮5进给压力。边抛轮5由气缸驱动进给，气压大时，进给压力增大，气压小时，进给压力减小。边抛轮5气压的调节，由plc控制器控制电磁阀的开合程度，进而控制进气量大大小。通过调节气缸气量的大小，进而调节气缸驱动力的大小，最终将边抛轮5的进给压力调整合理的范围内。边抛轮5进给压力鉴定完毕后，将装置从边抛台7上拆下，即可恢复生产。
35.上述压力传感器3采用但不限于现有lc103b-25s型称重传感器。
36.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。
37.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。