蒸镀设备的制作方法

1.本实用新型涉及面板加工设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备。


背景技术：

2.现有的有机发光二极管(organic light emitting diode，简称oled)有机蒸镀镀膜的技术，是利用高精度的遮板作为模具，加热有机材料使其高温挥发后以材料分子状态透过遮板的通孔蒸镀到基板上。
3.通常采用蒸镀设备对基板进行蒸镀作业。参照图1，蒸镀设备包括蒸镀室1＇，蒸镀室1＇内设置有用于支撑基板4＇的支架(图中未示出)和多个辊轮2＇，多个辊轮2＇转动设置在一安装板3＇上。蒸镀作业前，将基板4＇放置在辊轮2＇的上方，辊轮2＇转动使基板4＇移动至支架的指定位置，然后再进行蒸镀作业。
4.辊轮2＇转动时会与安装板3＇(或其它静止的零部件)摩擦形成粉末，粉末会落在基板4＇上污染基板4＇，降低基板4＇的蒸镀质量，严重时还可能会导致基板4＇报废，不利于提高良品率。


技术实现要素：

5.本实用新型实施例的目的在于：提供一种蒸镀设备，其蒸镀所得的基板质量好，良品率高。
6.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.提供一种蒸镀设备，包括蒸镀室、抽气组件和集尘盒，所述蒸镀室内设置有多个辊轮，所述辊轮用于运输基板，所述集尘盒设置在所述辊轮的下方，所述集尘盒的上表面凹陷设置有集尘槽，所述集尘槽与所述抽气组件连通。
8.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述辊轮部分嵌入所述集尘槽内。
9.作为蒸镀设备的一种优选方案，包括安装板，所述辊轮通过转动轴与所述安装板连接，所述辊轮和所述安装板之间间隔设置。
10.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述集尘盒具有相对设置的第一板和第二板，所述第一板位于所述集尘盒远离所述安装板的一侧，所述第一板上表面的高度高于所述第二板上表面的高度。
11.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述转动轴具有远离所述安装板的第一端面，所述集尘盒不凸出于所述第一端面。
12.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述集尘盒具有相对设置的第一板和第二板，所述第一板位于所述集尘盒远离所述安装板的一侧，所述第一板和/或所述第二板的上表面设置有缺口，所述缺口与所述集尘槽连通，所述转动轴部分嵌入所述缺口内。
13.作为蒸镀设备的一种优选方案，包括安装板，所述辊轮与所述安装板转动连接，所述集尘盒和所述安装板可拆卸连接。
14.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述安装板向下延伸形成有凸缘，所述凸缘至少
部分嵌入所述集尘槽内。
15.作为蒸镀设备的一种优选方案，所述集尘槽的槽底倾斜设置，所述集尘槽槽底的最低处设置有第二通孔，所述第二通孔与所述抽气组件连通。
16.作为蒸镀设备的一种优选方案，多个所述辊轮分别设置在所述蒸镀室内相对的两侧，所述集尘槽槽底的最低处位于所述集尘槽靠近所述蒸镀室的内壁的一侧。
17.本实用新型的有益效果为：由于粉末颗粒较大，在重力的作用下，粉末会向下移动，在辊轮的下方设置集尘盒，集尘盒可以收集辊轮因转动产生的粉末，减少蒸镀室内飘浮的粉尘量，从而降低粉末污染基板的概率，使基板的表面保持整洁，提高蒸镀设备对基板的蒸镀质量。
附图说明
18.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
19.图1为现有技术所述蒸镀设备局部剖视示意图。
20.图2为本实用新型实施例一所述蒸镀设备局部剖视示意图。
21.图3为本实用新型实施例二所述蒸镀设备局部剖视示意图。
22.图4为本实用新型实施例二所述集尘盒的示意图。
23.图5为本实用新型实施例三所述蒸镀设备局部剖视示意图。
24.图1中：
25.1＇、蒸镀室；2＇、辊轮；3＇、安装板；4＇、基板。
26.图2至图5中：
27.1、蒸镀室；2、辊轮；21、第二端面；3、安装板；31、凸缘；4、基板；5、转动轴；51、第一端面；6、集尘盒；61、第一板；62、第二板；63、集尘槽；64、第二通孔；65、缺口；7、螺钉。
具体实施方式
28.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.如图2所示，本实用新型提供的一种蒸镀设备，包括蒸镀室1和抽气组件(图中未示出)，蒸镀室1内设置有多个辊轮2，辊轮2用于运输基板4，蒸镀室1内还设置有集尘盒6，集尘盒6设置在辊轮2的下方，集尘盒6的上表面凹陷设置有集尘槽63，集尘槽63与抽气组件连通。由于粉末颗粒较大，在重力的作用下，粉末会向下移动，在辊轮2的下方设置集尘盒6，集尘盒6可以收集辊轮2因转动产生的粉末，减少蒸镀室1内飘浮的粉尘量，从而降低粉末污染基板4的概率，使基板4的表面保持整洁，提高蒸镀设备对基板4的蒸镀质量。
30.具体地，蒸镀设备包括安装板3，辊轮2通过转动轴5与安装板3连接。由于基板4的尺寸较大，蒸镀室1内需要设置多个辊轮2来驱动基板4的移动，设置安装板3，可以将多个分离的辊轮2集合为一整体，方便安装。
31.具体地，辊轮2部分嵌入集尘槽63内，这样可以减小集尘槽63槽底与辊轮2之间的
距离，缩短粉尘的移动路径，使粉尘可以更快地落入到集尘槽63内，提高集尘盒6的集尘效果，降低粉尘污染基板4的概率。
32.具体地，辊轮2和安装板3之间间隔设置，集尘盒6具有相对设置的第一板61和第二板62，第一板61位于集尘盒6远离安装板3的一侧，集尘盒6第一板61位于安装板3和辊轮2之间。将辊轮2与安装板3间隔设置，可以减少辊轮2与安装板3之间的摩擦，减少粉末的产生。
33.参照图2，一实施例中，第一板61上表面的高度高于第二板62上表面的高度，此时，安装板3的表面可以充当集尘槽63的槽壁，这样可以减少集尘盒6材料的消耗，降低集尘盒6的制造成本。
34.具体地，转动轴5具有远离安装板3的第一端面51，辊轮2具有远离安装板3的第二端面21，第一端面51凸出于第二端面21，在此实施例中，集尘盒6不凸出于第一端面51，这样可以避免集尘盒6与基板4出现位置干涉，使辊轮2能够平稳运输基板4至指定的作业位置。
35.具体地，可以在第一板61的上表面设置缺口65，缺口65与集尘槽63连通，转动轴5部分嵌入缺口65内，这样可以使集尘盒6更大程度地包裹辊轮2，增大辊轮2嵌入集尘槽63的深度，缩短粉尘的移动路径，提高集尘盒6对粉末的收集效果。当然，当第一板61和第二板62等高或者是第二板62与转动轴5出现位置干涉时，也可以在第二板62的上表面设置缺口65。
36.优选地，可以在第一板61的上表面设置内凹的弧面，用以成型缺口65，弧面的弧度与辊轮2的直径相适应，这样可以减小缺口65的尺寸，降低粉末从缺口65处飘离集尘盒6的概率。当然，第二板62的上表面也可以相应设置内凹的弧面，用以成型第二板62上的缺口65。
37.具体地，集尘盒6和安装板3可拆卸连接。使用一段时间后，集尘槽63的槽壁会附着粉末，这部分粉末难以被抽气组件抽离集尘槽63，此时可以将集尘盒6从安装板3处卸下，然后换上新的集尘盒6，或者是对集尘盒6进行清洁之后再将集尘盒6重新安装在安装板3上。通过设置可拆卸连接的集尘盒6和安装板3，可以便于集尘盒6的清洁与更换，有利于保持蒸镀室1内的整洁，有助于提升基板4的蒸镀质量。
38.具体地，为了方便集尘盒6与安装板3的安装，安装板3向下延伸形成有凸缘31。
39.参照图5，一实施例中，凸缘31部分嵌入集尘槽63内，此时，安装板3上的粉末可以顺着安装板3的端面落入集尘槽63内，避免粉末堆积在集尘槽63的槽口。当然，在其他实施例中，参照图2和图3，凸缘31可以位于集尘槽63外，这样可以方便集尘盒6和安装板3的连接，降低两者的固定难度。
40.参照图2和图3，凸缘31位于集尘槽63外，此时，安装板3的凸缘31上设置有第一通孔，集尘盒6的第二板62上设置有螺纹孔，螺钉7穿过凸缘31第一通孔旋拧入第二板62上的螺纹孔内。螺纹连接稳定可靠，因此，采用螺纹连接的安装板3和集尘盒6具有较高的连接稳定性，避免集尘盒6从安装板3上脱落。将螺纹孔设置在集尘盒6上，可以使螺钉7的螺帽位于集尘槽63外，方便螺钉7的旋拧固定。参照图5，凸缘31部分嵌入集尘槽63内，此时，集尘盒6的第二板62上设置有第一通孔，安装板3的凸缘31上设置有螺纹孔，螺钉7穿过第二板62上的第一通孔旋拧入凸缘31上的螺纹孔内。
41.具体地，集尘槽63的槽底倾斜设置，集尘槽63槽底的最低处设置有第二通孔64，第二通孔64与抽气组件连通。通过设置倾斜的集尘槽63槽底，粉末在重力的作用下会朝向集尘槽63槽底的最低处移动；可以理解的是，集尘槽63槽底的最低处堆积的粉末量较大，在集
尘槽63槽底的最低处设置第二通孔64，可以方便抽气组件将粉末抽离集尘槽63，减少集尘槽63内粉末的堆积。
42.具体地，多个辊轮2分别设置在蒸镀室1内相对的两侧，集尘槽63槽底的最低处位于集尘槽63靠近蒸镀室1内壁的一侧。通过设置集尘槽63槽底的最低处位于集尘槽63靠近安装板3的一侧，可以使粉末尽可能远离基板4，从而降低粉末附着在基板4表面的概率，提高基板4蒸镀的质量。