一种条形晶片用抛光装置的制作方法

1.本实用新型属于晶片抛光技术领域，更具体而言，涉及一种条形晶片用抛光装置。


背景技术：

2.晶片抛光，是晶片加工的其中一环工序；
3.抛光工序如发明专利公开号cn110014362a公开的一种晶片抛光装置所示，其包括：表面板，该表面板具有附连在表面板的上表面上的抛光垫；浆液喷嘴，该浆液喷嘴构成为向抛光垫注射浆液；至少一个抛光头部，该抛光头部构成为对晶片进行收容并且在表面板的上部旋转；换位件，该换位件构成为对抛光头部进行支承，从而在该至少一个上述抛光头部的上部与抛光头部相连接；以及颗粒抽吸部，该颗粒抽吸部联接至换位件并且构成为对在抛光晶片的期间产生的颗粒进行抽吸。
4.在上述方案中，其通过抛光头部固定收容晶片，表面板可以通过表面板转轴进行旋转，抛光头部可以在与抛光垫紧密接触的状态下通过头部转轴进行旋转。此时，由浆液喷嘴提供的浆液可以在向位于抛光头部上的晶片渗透的同时将晶片抛光成镜面抛光面。
5.现有技术中，抛光的晶片为圆形，抛光期间是晶片、抛光垫均转动。
6.其中，晶片抛光时的形状与在实际使用时的形状不一定是相同的，如铌酸锂晶片，其在实际使用时一般为条形，而其在抛光时则为圆形；
7.铌酸锂晶片的加工过程为；先将圆形晶片进行抛光，在抛光后再将圆形的晶片切割成条形。
8.上述的加工过程存在的缺陷在于：在抛光后再切割成条形，其会出现破坏晶片的抛光面、对晶片造成损伤等现象，影响晶片的生产质量。
9.为了保证晶片的生产质量，可以先将晶片切割成条形，再对条形晶片进行抛光；
10.而现有技术中，均是通过旋转的方式抛光圆形晶片的，暂无对条形晶片进行抛光的装置；
11.对于条形晶片的抛光，若通过上述以旋转为基础的方式进行抛光，在旋转抛光的过程中，由于形状的限制，条形晶片的转动会形成旋转刮液结构，同时抛光垫的旋转会产生离心力，所以两者叠加会将大部分的抛光液刮走，使得抛光液难以进入到晶片的中心，从而影响条形晶片的抛光质量。


技术实现要素：

12.本实用新型的主要目的在于提供一种条形晶片用抛光装置，旨在保证条形晶片的抛光质量。
13.根据本实用新型的第一方面，提供了一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片的夹具、用于对外设条形晶片进行抛光的抛光平台、用于向抛光平台加注抛光液的抛光液管，还包括一用于使外设条形晶片贴合抛光平台的第一驱动装置；所述夹具与抛光平台通过一第二驱动装置驱动可做直线往复的相对运动。
14.本实用新型一个特定的实施例中，所述第一驱动装置用于驱动所述夹具升降使外设条形晶片与抛光平台分离或贴合，所述第二驱动装置用于驱动所述夹具做相对于所述抛光平台的直线往复运动。
15.本实用新型一个特定的实施例中，外设条形晶片的较长侧与运动方向平行。
16.本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光液管与所述夹具同步运动。
17.本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光液管邻近外设条形晶片的侧边布置。
18.本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光液管为分别邻近外设条形晶片的2个较长侧布置的2个。
19.本实用新型一个特定的实施例中，还包括一陶瓷盘，多个外设条形晶片以可拆的方式固定在所述陶瓷盘上；所述夹具夹紧所述陶瓷盘；
20.2个所述抛光液管为一组，一组抛光液管与一个外设条形晶片配合；所述陶瓷盘上设有供抛光液管穿过的通孔。
21.本实用新型一个特定的实施例中，所述陶瓷盘上设有与外设条形晶片适配的凹槽，一个外设条形晶片与一个凹槽对应。
22.本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光平台包括台体，设置在台体上的用于对外设条形晶片进行抛光的聚氨酯抛光垫；抛光液管向聚氨酯抛光垫输出抛光液。
23.本实用新型上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
24.在实际应用中，将待抛光的条形晶片固定在夹具上，第一驱动装置工作使得待抛光的条形晶片与抛光平台贴合，最后由第二驱动装置工作使所述夹具与抛光平台做直线往复的相对运动，从而实现条形晶片的抛光；
25.在本实用新型中，通过直线往复运动实现外设条形晶片的抛光工作，抛光平台不会旋转，外设条形晶片也不会旋转，则抛光平台不会产生离心力，外设条形晶片也不会形成旋转刮液结构，所以抛光液不会被刮走，使得抛光液容易进入到抛光中的外设条形晶片的中心，从而保证了晶片的抛光质量。
附图说明
26.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明；
27.图1是本实用新型的实施例1的结构图；
28.图2是本实用新型的实施例1的图1中c的放大视图；
29.图3是本实用新型的实施例1的陶瓷盘的结构图。
具体实施方式
30.下面详细描述本实用新型的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
31.实施例1
32.参照图1至图3所示，一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片a的夹具1、用于对外设条形晶片a进行抛光的抛光平台2、用于向抛光平台2加注抛光液的抛光液
管3，还包括一用于使外设条形晶片a贴合抛光平台2的第一驱动装置4；所述夹具1与抛光平台2通过一第二驱动装置5驱动可做直线往复的相对运动。
33.在实际应用中，将待抛光的条形晶片固定在夹具1上，第一驱动装置4工作使得待抛光的条形晶片与抛光平台2贴合，最后由第二驱动装置5工作使所述夹具1与抛光平台2做直线往复的相对运动，从而实现条形晶片的抛光；
34.在本实施例中，通过直线往复运动实现外设条形晶片a的抛光工作，抛光平台2不会旋转，外设条形晶片a也不会旋转，则抛光平台2不会产生离心力，外设条形晶片a也不会形成旋转刮液结构，所以抛光液不会被刮走，使得抛光液容易进入到抛光中的外设条形晶片a的中心，从而保证了晶片的抛光质量。
35.作为本实施例的具体实现，所述第一驱动装置4用于驱动所述夹具1升降使外设条形晶片a与抛光平台2分离或贴合，所述第二驱动装置5用于驱动所述夹具1做相对于所述抛光平台2的直线往复运动；
36.所述第一驱动装置4固定设置在第二驱动装置5的动力输出端；
37.当然，本实施例并不排除所述第一驱动装置4用于驱动所述抛光平台2升降；也不排除所述第二驱动装置5用于驱动所述抛光平台2做相对于所述夹具1的直线往复运动；也不排除所述第二驱动装置5为用于分别驱动夹具1、抛光平台2同时做方向相反的直线往复运动的2个；
38.具体来说，所述第一驱动装置4可以为气缸、电缸或液压缸；所述第二驱动装置5可以为电动平台、气缸等，本实施例对此不作限制；作为本实施例的具体实现，所述第一驱动装置4为气缸，第二驱动装置5为电动滑台。
39.在抛光的过程中，外设条形晶片a的侧边也会形成刮液结构；优选地，外设条形晶片a的较长侧与运动方向平行，则外设条形晶片a的较短侧垂直于运动方向，则刮液结构为外设条形晶片a的较短侧，其长度较短，可减少刮液量，使得外设条形晶片a的抛光质量更好。
40.在本实施例中，所述抛光液管3与所述夹具1同步运动，保证抛光平台2上抛光液的均匀，保证外设条形晶片a的抛光质量；
41.具体来说，抛光液管3固定在夹具1上或通过一第三驱动装置驱动实现与夹具1的同步运动，作为本实施例的具体实现，所述抛光液管3固定在夹具1上，结构简单；
42.抛光液管3靠近外设条形晶片a输出抛光液，或将抛光液输出到运动路径上；
43.其中，抛光液是指以二氧化硅为主要成分的硅溶胶溶液。
44.为了进一步提高抛光质量，使抛光液更容易进入到外设条形晶片a的中心，更为优选地，所述抛光液管3邻近外设条形晶片a的侧边布置；
45.如，所述抛光液管3为邻近外设晶片的其中一个侧边布置的1个，或分别邻近外设晶片的2个较短侧布置的2个，或分别邻近外设晶片的1个较短侧、1个较长布置的2个，或分别邻近外设晶片的所有侧边布置的4个。
46.作为本实施例的优选，所述抛光液管3为分别邻近外设条形晶片a的2个较长侧布置的2个，即，抛光液管3穿过夹具1延伸至外设条形晶片a的侧边，结构简单，较长侧距离中心的距离更近，使得抛光液更容易进入到外设条形晶片a的中心。
47.在本实施例中，外设条形晶片a可以为较长侧与运动方向相交的状态进行抛光，此
时，抛光液管3分设在外设条形晶片a的2个较长侧，虽然刮液长度较长，但是抛光液管3可增加供给量以保证抛光效果。
48.在实际应用中，通过夹具1固定外设条形晶片a，其一次只能固定一个，无法实现多个外设条形晶片a同时抛光，为了提高抛光效率，优选地，还包括一陶瓷盘6，多个外设条形晶片a以可拆的方式固定在所述陶瓷盘6上；所述夹具1夹紧所述陶瓷盘6；
49.2个所述抛光液管3为一组，一组抛光液管3与一个外设条形晶片a配合；所述陶瓷盘6上设有供抛光液管3穿过的通孔a；
50.具体来说，所述夹具1可以为可相互靠拢的卡爪、可相互靠近的卡板等，本实施例对此不作限制。
51.陶瓷盘6固定外设条形晶片a时，是通过热熔蜡固定的，其固定过程为：先加热陶瓷盘6，再将热熔蜡滴在陶瓷盘6上，再将外设条形晶片a放置在热熔蜡处，再将外设条形晶片a压紧在热熔蜡处一段时间，最后等待热熔蜡冷却固化即可实现外设条形晶片a的固定；
52.在将外设条形晶片a压紧在热熔蜡上时，由于外设条形晶片a没有限制，所以其容易出现移位的现象，移位后的条形晶片的朝向会发生变化，使得在陶瓷盘6上的所有外设条形晶片a的朝向不一致，在相同的时间下，容易出现抛光质量不一致的现象，所以，为了保证多个外设条形晶片a的抛光质量相同，优选地，所述陶瓷盘6上设有与外设条形晶片a适配的凹槽b，一个外设条形晶片a与一个凹槽b对应，通过凹槽b固定外设条形晶片a，使得外设条形晶片a在固定时不会移位，有效地保证了条形晶片的加工质量。
53.作为本实施例的具体实现，所述抛光平台2包括台体21，设置在台体21上的用于对外设条形晶片a进行抛光的聚氨酯抛光垫22；抛光液管3向聚氨酯抛光垫22输出抛光液；
54.聚氨酯抛光垫22，有像海绵一样的机械特性和多孔吸水特性，其表面包括一定密度的微凸峰，也有许多微孔，可以吸收抛光液管3输出的抛光液，便于抛光液进入待抛光条形晶片a的中心。
55.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施方式，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。