一种金属材料加工用退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种金属材料加工用退火炉。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。
3.现有的一种小型退火炉，在对小型金属材料进行退火处理的时候，如果材料放置过多，在取放金属材料的时候非常不便，容易被退火炉的内壁烫伤，甚至材料放置数量也很受限。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种金属材料加工用退火炉，具备取料方便的优点，解决了普通退火炉取放材料不便的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种金属材料加工用退火炉，包括退火炉和辅助组件；
8.所述退火炉包括底座、炉体、炉门、容腔、堵块和置物槽，所述底座的顶部设置有所述炉体，所述炉体的外侧壁设置有所述炉门，所述炉体和所述炉门通过铰链连接，所述炉体的外侧壁开设有所述容腔，所述炉门的外侧壁设置有把手，所述炉体的外侧壁设置有卡块，所述炉门的外侧壁开设有配合所述卡块和所述把手的卡槽；
9.所述辅助组件包括支架、弹簧、杆体和连接块，所述容腔的内部对称设置有所述支架，所述支架之间设置有底板，所述炉体的外侧壁开设有凹槽一和凹槽二，所述凹槽一和所述凹槽二与所述容腔连通，所述凹槽一的内部设置有所述弹簧和所述杆体，所述凹槽二的内部设置有所述连接块，所述支架通过所述连接块与所述杆体连接。
10.优选的，所述杆体的长度小于所述凹槽一的长度，所述凹槽二的长度小于所述凹槽一的长度。
11.通过采用上述方案，杆体的长度小于凹槽一的长度，避免杆体留有部分在外面，炉门无法正常关闭，凹槽二的长度小于凹槽一的长度，避免弹簧弯曲。
12.优选的，所述支架之间设置有支撑板，所述支撑板的两端对称设置有固定块，所述支架的顶部对称开设有配合所述固定块的固定槽。
13.通过采用上述方案，支架之间设置有支撑板，便于放置更多的金属材料，支撑板的
两端对称设置有固定块，支架的顶部对称开设有配合固定块的固定槽，便于更好的放置支撑板和拆卸。
14.优选的，所述支撑板和所述底板的顶部对称设置有挡板。
15.通过采用上述方案，支撑板和底板的顶部对称设置有挡板，防止支撑板和底板在跟随支架移动时候避免金属材料掉落。
16.优选的，所述连接块的底部设置有滚珠，所述凹槽二的顶部开设有配合所述滚珠的滑槽。
17.通过采用上述方案，连接块的底部设置有滚珠，凹槽二的顶部开设有配合滚珠的滑槽，使辅助组件能够更好的进行移动，不会造成卡顿。
18.优选的，所述炉门的外侧壁设置有堵块，所述堵块为梯形结构。
19.通过采用上述方案，炉门的外侧壁设置有堵块，堵块为梯形结构，可以更好的使容腔得到密封。
20.优选的，所述堵块的外侧壁开设有置物槽。
21.通过采用上述方案，堵块的外侧壁开设有置物槽，进一步增加金属材料的放置数量。
22.优选的，所述堵块和所述支架的长度小于所述容腔的长度。
23.通过采用上述方案，堵块和支架的长度小于容腔的长度，避免堵块与支架互相限制，无法正常进入到容腔内。
24.(三)有益效果
25.与现有技术相比，本实用新型提供了一种金属材料加工用退火炉，具备以下有益效果：
26.该金属材料加工用退火炉，通过在拖退火炉的内部设置一个可移动的支架，通过与退火炉的炉门配合，随着炉门的打开和关闭而进行前后移动，从而使金属材料在退火完毕之后能够轻松的将金属材料取出，并通过改变支架的层数来调整退火的金属材料的数量。
附图说明
27.图1为本实用新型结构示意图；
28.图2为本实用新型结构示意图；
29.图3为本实用新型中炉体的俯视剖视结构示意图；
30.图4为本实用新型中堵块的结构示意图；
31.图5为本实用新型中a处放大结构示意图。
32.图中：1、退火炉；11、底座；12、炉体；121、凹槽一；122、凹槽二；13、炉门；131、把手；132、卡槽；133、卡块；14、容腔；15、堵块；16、置物槽；2、辅助组件；21、支架；211、底板；212、固定槽；22、支撑板；221、挡板；222、固定块；23、弹簧；24、杆体；25、连接块；26、滚珠；27、滑槽。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.实施例一
35.一种金属材料加工用退火炉，包括退火炉1和辅助组件2；
36.所述退火炉1包括底座11、炉体12、炉门13、容腔14、堵块15和置物槽16，所述底座11的顶部设置有所述炉体12，所述炉体12的外侧壁设置有所述炉门13，所述炉体12和所述炉门13通过铰链连接，所述炉体12的外侧壁开设有所述容腔14，所述炉门13的外侧壁设置有把手131，所述炉体12的外侧壁设置有卡块133，所述炉门13的外侧壁开设有配合所述卡块133和所述把手131的卡槽132；
37.所述辅助组件2包括支架21、弹簧23、杆体24和连接块25，所述容腔14的内部对称设置有所述支架21，所述支架21之间设置有底板211，所述炉体12的外侧壁开设有凹槽一121和凹槽二122，所述凹槽一121和所述凹槽二122与所述容腔14连通，所述凹槽一121的内部设置有所述弹簧23和所述杆体24，所述凹槽二122的内部设置有所述连接块25，所述支架21通过所述连接块25与所述杆体24连接。
38.所述杆体24的长度小于所述凹槽一121的长度，所述凹槽二122的长度小于所述凹槽一121的长度，所述支架21之间设置有支撑板22，所述支撑板22的两端对称设置有固定块222，所述支架21的顶部对称开设有配合所述固定块222的固定槽212，所述支撑板22和所述底板211的顶部对称设置有挡板221。
39.参阅图1-5，首先将需要热处理的金属材料放置在底板211上，然后将炉门13关上，并通过把手131、卡槽132和卡块133进行固定，使金属材料在退火炉1内慢慢冷却，当炉门13关闭时，就会推动杆体24，使杆体24带着支架21和底板211向内移动并挤压弹簧23，当炉门13打开后，杆体24就会在弹簧23的作用力下，带着支架21、底板211和底板211上的金属材料向外移动，杆体24的长度小于凹槽一121的长度，避免杆体24留有部分在外面，炉门13无法正常关闭，凹槽二122的长度小于凹槽一121的长度，避免弹簧弯曲，支架21之间设置有支撑板22，便于放置更多的金属材料，支撑板22的两端对称设置有固定块222，支架21的顶部对称开设有配合固定块222的固定槽212，便于更好的放置支撑板22和拆卸，支撑板22和底板211的顶部对称设置有挡板221，防止支撑板22和底板211在跟随支架21移动时候避免金属材料掉落。
40.实施例二
41.在实施例一的基础上增加了辅助功能。
42.所述连接块25的底部设置有滚珠26，所述凹槽二122的顶部开设有配合所述滚珠26的滑槽27，所述炉门13的外侧壁设置有堵块15，所述堵块15为梯形结构，所述堵块15的外侧壁开设有置物槽16，所述堵块15和所述支架21的长度小于所述容腔14的长度。
43.参阅图1-5，连接块25的底部设置有滚珠26，凹槽二122的顶部开设有配合滚珠26的滑槽27，使辅助组件2能够更好的进行移动，不会造成卡顿，炉门13的外侧壁设置有堵块15，堵块15为梯形结构，可以更好的使容腔14得到密封，堵块15的外侧壁开设有置物槽16，进一步增加金属材料的放置数量，堵块15和支架21的长度小于容腔14的长度，避免堵块15与支架21互相限制，无法正常进入到容腔14内。
44.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。