一种具有转动功能的真空磁控溅射装置的制作方法

1.本实用涉及真空磁控溅射技术领域，具体为一种具有转动功能的真空磁控溅射装置。


背景技术：

2.真空磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的真空磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。真空磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
3.由于传统的真空磁控溅射装置再对保温杯等小型物件进行镀膜的过程中，由于被镀件是直接固定在支撑板上的，使被镀件在镀膜时，容易造成被镀件外表面的镀膜不均匀，并且传统的真空磁控溅射装置对被镀件进行镀膜时，需要考虑被镀件表面的温度，这和溅射时的功率有关，功率大了，溅射的速度也快，但被镀件表面温度较低，在对被镀件进行镀膜过程时，会造成被镀件上的镀膜出现镀膜不牢固的情况，同时有些材料不能承受高温时，若是工作人员无法很好的控制真空磁控溅射装置内部的温度的话，会造成被镀件的形状出现破坏。


技术实现要素：

4.本实用的目的在于提供一种具有转动功能的真空磁控溅射装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用提供如下技术方案：一种具有转动功能的真空磁控溅射装置，包括外壳，所述外壳两侧的底部均安装有防尘网，所述外壳一端底部的中间位置安装有电源接口，所述外壳远离电源接口的一端通过合页转动安装有屏蔽门，所述屏蔽门远离电源接口一端的中间位置安装有控制面板，所述屏蔽门远离电源接口一段的顶部安装有观察窗，所述外壳顶部靠近屏蔽门一端的中间位置安装有排气管，所述外壳顶部靠近电源接口一端的中间位置气路管，所述外壳内部的底端安装有隔离舱，所述隔离舱内部的两侧均安装有排风扇，所述隔离舱内部顶端的中间位置安装有转动装置，所述外壳内部两侧的顶部分别安装有基片和靶材，所述外壳内部靠近电源接口一端的顶部安装有电加热器，所述外壳内部靠近电源接口一端底部的两侧均安装有金属温度计。
6.优选的，所述转动装置包括电机，所述电机安装于隔离舱内部顶端的中间位置，所述电机的输出端安装有转盘，所述转盘顶部的中间位置安装有支撑杆，所述支撑杆的外表面安装有支撑板，所述支撑板的顶部安装有固定杆。
7.优选的，所述外壳两侧的底部均开设有通风口，所述外壳上的通风口出差和防尘网的尺寸相适配，所述外壳远离屏蔽门一端底部的中间位置开设有固定口，所述外壳上固定口的尺寸和电源接口的尺寸相适配。
8.优选的，所述屏蔽门远离电源接口一端顶部的中间位置开设有矩形通孔，所述屏蔽门上矩形卡孔的尺寸和观察窗的尺寸相适配，所述屏蔽门通过矩形卡孔与观察窗相卡接。
9.优选的，所述屏蔽门靠近电源接口一端设置有密封块，所述外壳内部顶端的两端均开设有圆形通孔，所述外壳上的圆形通孔的尺寸与排气管和气路管的尺寸相适配。
10.优选的，所述隔离舱顶部开设有圆形凹槽，所述隔离舱的圆形凹槽的尺寸和转盘的尺寸相适配，所述转盘通过隔离舱上的圆形凹槽与隔离舱之间转动连接，所述电机的输出端贯穿隔离舱的顶部并延伸至隔离舱上圆形凹槽内部与转盘相连接，所述支撑板有三个且三个支撑板在支撑杆上纵向等距排列。
11.与现有技术相比，本实用的有益效果是：
12.1、该具有转动功能的真空磁控溅射装置设置有转动装置，工作人员将被镀件直接放置在转动装置上，通过转动装置上电机输出端的转动，使被镀件能够在真空磁控溅射装置内部进行转动，避免被镀件在镀膜时造成被镀件外表面的镀膜不均匀。
13.2、该具有转动功能的真空磁控溅射装置内部设置有电加热器和金属温度计，工作人员通过控制面板操控电加热器，使得工作人员能够通过电加热器对被镀件的进行预加热，避免被镀件表面温度较低，而造成被镀件上的镀膜出现镀膜不牢固的情况，并且通过金属温度计和电加热器之间的配合，使工作人员能够很好的把控真空磁控溅射装置内部的温度，避免被镀件的形状出现破坏的情况。
附图说明
14.图1为本实用主视结构示意图；
15.图2为本实用侧视结构示意图；
16.图3为本实用内部结构主视图；
17.图4为本实用内部结构主视剖图；
18.图5为本实用内部结构侧视剖图。
19.图中：1、外壳；2、防尘网；3、电源接口；4、屏蔽门；5、控制面板； 6、观察窗；7、排气管；8、气路管；9、隔离舱；10、排风扇；11、电机； 12、转盘；13、支撑杆；14、支撑板；15、固定杆；16、基片；17、电加热器；18、靶材；19、金属温度计。
具体实施方式
20.下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
21.请参阅图1-5，本实用提供的一种实施例：一种具有转动功能的真空磁控溅射装置，包括外壳1，外壳1两侧的底部均安装有防尘网2，通过防尘网2 避免灰尘进入隔离舱9的内部，外壳1一端底部的中间位置安装有电源接口3，通过电源接口3为装置通电，外壳1远离电源接口3的一端通过合页转动安装有屏蔽门4，通过屏蔽门4避免装置内部的磁力影响到外界的电子器件，屏蔽门4远离电源接口3一端的中间位置安装有控制面板5，屏蔽门4远离
电源接口3一段的顶部安装有观察窗6，工作人员可以通过观察窗6观察装置内部被镀件的镀膜情况，外壳1顶部靠近屏蔽门4一端的中间位置安装有排气管7，通过排气管7将装置内部的气体抽出，使装置内部能够达到真空的环境，外壳1顶部靠近电源接口3一端的中间位置气路管8，工作人员通过气路管8往装置内部注入稀有气体，外壳1内部的底端安装有隔离舱9，隔离舱9内部的两侧均安装有排风扇10，通过排风扇10将隔离舱9内部的热量排出，隔离舱 9内部顶端的中间位置安装有转动装置，通过转动装置对被镀件在装置内部转动，外壳1内部两侧的顶部分别安装有基片16和靶材18，通过基片16和靶材18之间的配合对被镀件进行镀膜处理，外壳1内部靠近电源接口3一端的顶部安装有电加热器17，通过电加热器17对装置内部的被镀件进行预加热处理，外壳1内部靠近电源接口3一端底部的两侧均安装有金属温度计19，通过金属温度计19对装置内部的温度进行测量。
22.在本实施中，转动装置包括电机11，电机11安装于隔离舱9内部顶端的中间位置，电机11的输出端安装有转盘12，转盘12顶部的中间位置安装有支撑杆13，支撑杆13的外表面安装有支撑板14，支撑板14的顶部安装有固定杆15，通过固定杆15将被镀件稳定牢固的放置在支撑板14上。
23.在本实施中，外壳1两侧的底部均开设有通风口，外壳1上的通风口出差和防尘网2的尺寸相适配，使排风扇10能够将隔离舱9内部温度较高的气体通过通风口排出，外壳1远离屏蔽门4一端底部的中间位置开设有固定口，外壳1上固定口的尺寸和电源接口3的尺寸相适配，通过固定口将电源接口3 稳定牢固的安装在外壳1上。
24.在本实施中，屏蔽门4远离电源接口3一端顶部的中间位置开设有矩形通孔，屏蔽门4上矩形卡孔的尺寸和观察窗6的尺寸相适配，屏蔽门4通过矩形卡孔与观察窗6相卡接，通过矩形通孔将观察窗6稳定牢固的安装在屏蔽门4上。
25.在本实施中，屏蔽门4靠近电源接口3一端设置有密封块，通过密封块使屏蔽门4和外壳1之间能够达到密封的效果，外壳1内部顶端的两端均开设有圆形通孔，外壳1上的圆形通孔的尺寸与排气管7和气路管8的尺寸相适配，通过圆形通孔使排气管7能够将外壳1内部的气体抽出，达到密封的效果，并通过圆形通孔使气路管8能够在被镀件进行镀膜的过程中能够往外壳1内部注入稀有气体，使被镀件在镀膜完成后能够呈现不同的颜色。
26.在本实施中，隔离舱9顶部开设有圆形凹槽，隔离舱9的圆形凹槽的尺寸和转盘12的尺寸相适配，转盘12通过隔离舱9上的圆形凹槽与隔离舱9 之间转动连接，转盘12通过圆形凹槽稳定牢固的安装在隔离舱9上，电机11 的输出端贯穿隔离舱9的顶部并延伸至隔离舱9上圆形凹槽内部与转盘12相连接，支撑板14有三个且三个支撑板14在支撑杆13上纵向等距排列，使得工作人员能够往装置内部放置更多的被镀件。
27.工作原理：工作人员通过电源接口3为装置通电，并且将排气管7与真空泵相连接，同时将气路管8与装有稀有气体的气罐相连接，然后工作人员打开屏蔽门4将被镀件放置在支撑板14的固定杆15上，然后工作人员将屏蔽门4关上，工作人员再通过控制面板5启动电加热器17和电机11，通过电加热器17对固定杆15上的被镀件进行预加热，同时通过电机11的输出端带动转盘12在隔离舱9上圆形凹槽内部转动，使转盘12能够带动支撑杆13转动，并通过支撑杆13带动支撑板14转动，使支撑板14上的被镀件能够沿着支撑杆13转动，然后工作人员通过控制面板5启动基片16和靶材18，使靶材18能够对被镀件的表面进行镀膜，并且可以通过金属温度计19对外壳1 的内部进行测温，避免外壳1内部的温度过高，避免被镀件
表面镀膜脱落和被镀件的形状出现破坏，当被镀件镀膜完成后，工作人员可以通过控制面板5 关闭电机11、电加热器17、基片16和靶材18，然后打开屏蔽门4，再将装置内部的被镀件取出即可。
28.对于本领域技术人员而言，本实用不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本实用的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用。因此，本实用的实施例是示例性的，而且是非限制性的。本实用的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
29.在本实用的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本实用的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。