一种合金靶材的自动化抛光设备的制作方法

1.本实用新型具体涉及合金靶材技术领域，尤其是一种合金靶材的自动化抛光设备。


背景技术：

2.镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
3.目前，合金靶材进行抛光加工时大多采用夹具夹持，拆卸固定较为不便，从而降低了合金靶材的抛光加工效率。因此亟需一种合金靶材的自动化抛光设备来解决上述的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种结构设计新颖的合金靶材的自动化抛光设备。
5.为了实现本实用新型的目的，本实用新型所采用的技术方案为：
6.设计一种合金靶材的自动化抛光设备，包括加工台，所述加工台的顶部外壁上开设有矩形槽，且加工台顶部外壁一侧的中心处焊接有支撑架，所述矩形槽底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有柱管，且柱管的顶端焊接有放置盘，所述放置盘的顶部外壁上螺纹连接有等距离呈环形结构分布与柱管之间相连通的真空吸盘，且支撑架靠近放置盘的顶部外壁上通过螺栓安装有电推缸，所述电推缸的输出端通过螺栓安装有第二电机，且第二电机的输出端通过螺栓安装有抛光盘罩。
7.所述加工台底部的一侧内壁上焊接有支撑台，且支撑台顶部外壁的一侧通过螺栓安装有真空发生器，所述真空发生器的吸气端通过密封轴承与柱管之间相连通。
8.所述柱管位于加工台内部的外侧壁上焊接有齿盘，且加工台顶部内壁的一侧通过螺栓安装有第一电机，所述第一电机的输出端焊接有齿轮，且齿轮与齿盘之间相啮合。
9.所述矩形槽的一侧内壁上开设有呈倾斜状结构分布的卸渣槽，且加工台靠近卸渣槽的一侧外壁上焊接有集渣斗，所述集渣斗的一端开设有出渣口。
10.所述加工台底部外壁的四周均焊接有底座，且底座远离加工台的另一侧外壁上开设有柱槽，所述柱槽的内部插接有柱块，且柱块远离底座的另一侧外壁上焊接有抵持盘，所述抵持盘远离柱块的另一侧外壁上开设有防滑条纹。
11.所述柱块位于柱槽内部的一侧焊接有限位盘，且限位盘远离柱块的另一侧外壁上焊接有涡簧，所述柱块在限位盘和涡簧的作用下滑动连接在柱槽的内部。
12.本实用新型的有益效果在于：
13.(1)通过设置的第二电机，电推缸通过第二电机推动抛光盘罩垂直下移罩接在合金靶材的外部，随后，第二电机带动抛光盘罩对合金靶材进行抛光加工，而电推缸可根据合金靶材厚度的不同及时带动抛光盘罩进行调节，结构新颖，设计合理，实用性强。
14.(2)通过设置的第一电机，第一电机通过齿轮带动啮合的齿盘转动，齿盘通过柱管带动放置盘进行转动，使得合金靶材的抛光效率可以得到极大的提升，设计新颖，结构合理，适合推广。
15.(3)通过设置的真空发生器，真空发生器通过柱管和真空吸盘对放置盘上的合金靶材进行吸附定位，从而可以有效的提升合金靶材抛光时的稳定性。
附图说明
16.图1为本设计中的整体结构示意图；
17.图2为本设计中的加工台剖面结构示意图；
18.图3为本设计中的局部结构示意图；
19.图4为本设计中的底座结构示意图。
20.图中：1、加工台；2、底座；3、矩形槽；4、卸渣槽；5、集渣斗；6、出渣口；7、支撑架；8、支撑台；9、真空发生器；10、柱管；11、放置盘；12、真空吸盘；13、第一电机；14、齿轮；15、齿盘；16、柱槽；17、涡簧；18、限位盘；19、柱块；20、抵持盘；21、防滑条纹；22、电推缸；23、第二电机；24、抛光盘罩。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：
22.一种合金靶材的自动化抛光设备，参见图1至图4，包括加工台1，加工台1的顶部外壁上开设有矩形槽3，且加工台1顶部外壁一侧的中心处焊接有支撑架7，矩形槽3底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有柱管10，且柱管10的顶端焊接有放置盘11，放置盘11的顶部外壁上螺纹连接有等距离呈环形结构分布与柱管10之间相连通的真空吸盘12，且支撑架7靠近放置盘11的顶部外壁上通过螺栓安装有电推缸22，电推缸22的输出端通过螺栓安装有第二电机23，且第二电机23的输出端通过螺栓安装有抛光盘罩24，电推缸22通过第二电机23推动抛光盘罩24垂直下移罩接在合金靶材的外部，随后，第二电机23带动抛光盘罩24对合金靶材进行抛光加工。
23.进一步的，本设计中加工台1底部的一侧内壁上焊接有支撑台8，且支撑台8顶部外壁的一侧通过螺栓安装有真空发生器9，真空发生器9的吸气端通过密封轴承与柱管10之间相连通，真空发生器9通过柱管10和真空吸盘12对放置盘11上的合金靶材进行吸附定位，从而可以有效的提升合金靶材抛光时的稳定性。
24.进一步的，本设计中柱管10位于加工台1内部的外侧壁上焊接有齿盘15，且加工台1顶部内壁的一侧通过螺栓安装有第一电机13，第一电机13的输出端焊接有齿轮14，且齿轮14与齿盘15之间相啮合，第一电机13通过齿轮14带动啮合的齿盘15转动，齿盘15通过柱管10带动放置盘11进行转动，使得合金靶材的抛光效率可以得到极大的提升。
25.进一步的，本设计中矩形槽3的一侧内壁上开设有呈倾斜状结构分布的卸渣槽4，
且加工台1靠近卸渣槽4的一侧外壁上焊接有集渣斗5，集渣斗5的一端开设有出渣口6，操作者可将矩形槽3内的碎渣清扫至卸渣槽4，碎渣穿过卸渣槽4进入集渣斗5的内部，最后碎渣由出渣口6排出。
26.进一步的，本设计中加工台1底部外壁的四周均焊接有底座2，且底座2远离加工台1的另一侧外壁上开设有柱槽16，柱槽16的内部插接有柱块19，且柱块19远离底座2的另一侧外壁上焊接有抵持盘20，抵持盘20远离柱块19的另一侧外壁上开设有防滑条纹21，防滑条纹21很好的提升了抵持盘20与地面贴合时的摩擦力，从而很好的提升了底座2的稳定性。
27.进一步的，本设计中柱块19位于柱槽16内部的一侧焊接有限位盘18，且限位盘18远离柱块19的另一侧外壁上焊接有涡簧17，柱块19在限位盘18和涡簧17的作用下滑动连接在柱槽16的内部，柱块19在限位盘18和涡簧17的作用下推动抵持盘20与地面贴合，很好的提升了加工台1放置时的稳定性。
28.综上所述本实用新型的工作原理为：该合金靶材的自动化抛光设备使用时，操作者先将需要进行抛光加工的合金靶材放置在放置盘11上，然后，启动真空发生器9，真空发生器9通过柱管10和真空吸盘12对放置盘11上的合金靶材进行吸附定位，从而可以有效的提升合金靶材抛光时的稳定性，合金靶材固定后，电推缸22通过第二电机23推动抛光盘罩24垂直下移罩接在合金靶材的外部，随后，第二电机23带动抛光盘罩24对合金靶材进行抛光加工，与此同时，第一电机13通过齿轮14带动啮合的齿盘15转动，齿盘15通过柱管10带动放置盘11进行转动，使得合金靶材的抛光效率可以得到极大的提升。
29.本实用新型的实施例公布的是较佳的实施例，但并不局限于此，本领域的普通技术人员，极易根据上述实施例，领会本实用新型的精神，并做出不同的引申和变化，但只要不脱离本实用新型的精神，都在本实用新型的保护范围内。