一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构的制作方法

1.本实用新型涉及磁溅射镀膜门盖板技术领域，具体为一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构。


背景技术：

2.磁溅射镀膜机一种是用于制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料催化剂薄膜层的设备，随着磁控溅射技术的飞速发展，磁控溅射镀膜机的门盖板也出现了各种不同的安装方式。
3.由于磁控溅射镀膜机阴极门盖板的自重较大（约500千克），导致其开合操作非常沉重、呆板，为作业人员增加了很大的劳动负担，尤其是对于现有的内扣式镀膜机，镀膜机的门框机架通常为倾斜设置，门盖板的开合难度也随之增加，既不便于日常镀膜设备的操作，更不利于正常换靶作业。
4.因此，目前亟需一种方便开合操作内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种方便开合操作内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构。
6.本实用新型的目的是这样实现的：
7.一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构，包括门框机架和阴极门盖，所述门框机架右侧的上下两方分别安装有一处固定座，且两处所述固定座呈竖直排列的方式设置，所述门框机架左侧的上下两方分别安装有一处连接座，所述连接座的前侧铰接有连接杆，所述连接杆外侧的中间焊接有固定环，所述连接杆外侧的前方通过滑动方式安装有活动环，所述固定环和活动环的中间焊接有弹簧，所述连接杆的前端拧接有转轮，所述阴极门盖右侧的上下两方分别安装有一处活动座，且两处所述活动座呈竖直排列的方式设置，所述连接座和活动座的中间通过间隙配合方式安装有固定销，且两处所述固定销呈竖直排列的方式设置，所述固定销的下端拧接有固定螺母，所述阴极门盖左侧的上下两方分别焊接有一处连接板。
8.优选的，所述固定座由一处长方形的板状结构和焊接在其前侧中间的一处圆管状组成。
9.优选的，所述连接杆为圆杆状结构，且所述连接杆外侧的前方设有螺纹。
10.优选的，所述活动座由一处长方形的板状结构和焊接在其后侧上下两方的两处圆管状组成。
11.优选的，所述固定销的外侧设有螺旋状的凹槽。
12.优选的，所述连接板为左方设有一处u形槽孔的长方形板状结构，且所述连接板的左端位于所述活动环和所述转轮的中间，并且所述连接板与所述连接杆通过间隙配合的方
式活动连接。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构，通过将两组固定座、活动座和固定销呈竖直排列方式设置，在门框机架呈倾斜状态设置时，可让阴极门盖在竖直状态下旋转开合，以降低了阴极门盖的开合难度，从而使镀膜机的日常操作及换靶作业更加方便。
15.2、本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构，通过在连接杆的外侧设置固定环和活动环，并在固定环和活动环的中间设置弹簧，在镀膜机停机放真空后，可以松动转轮，利用弹簧的弹力推动活动环向前移动，以带动大重量的阴极门盖自动弹开，方便作业人员的使用。
16.3、本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构，通过在固定销的外侧设置螺旋状的凹槽，不仅可以减小固定销与固定座和活动座之间的摩擦，还可以在此凹槽内添加润滑油，防止固定销与固定座和活动座发生“咬死”现象，方便阴极门盖的开合作业。
附图说明
17.图1为本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构左前方的结构示意图。
18.图2为本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构的右侧结构示意图。
19.图3为本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构中a处的结构示意图。
20.图4为本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构中b处的结构示意图。
21.其中：门框机架1、固定座2、连接座3、连接杆4、固定环5、活动环6、弹簧7、转轮8、阴极门盖9、活动座10、固定销11、固定螺母12、连接板13。
具体实施方式
22.参见图1至图4，本实用新型涉及的一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构，包括门框机架1和阴极门盖9，门框机架1右侧的上下两方分别安装有一处固定座2，固定座2由一处长方形的板状结构和焊接在其前侧中间的一处圆管状组成，且两处固定座2呈竖直排列的方式设置，阴极门盖9右侧的上下两方分别安装有一处活动座10，活动座10由一处长方形的板状结构和焊接在其后侧上下两方的两处圆管状组成，且两处活动座10呈竖直排列的方式设置，连接座3和活动座10的中间通过间隙配合方式安装有固定销11，且两处固定销11呈竖直排列的方式设置，固定销11的下端拧接有固定螺母12，通过在门框机架1的右侧安装两处连接座3，在阴极门盖9的右侧安装两处活动座10，并在连接座3和活动座10的中间安装固定销11和固定螺母12，可以实现门框机架1与阴极门盖9的铰接，使得阴极门盖9可以进行旋转开合，同时，由于上下两组连接座3、活动座10和固定销11呈竖直排列的方式设置，两处固定销11的芯线重合且垂直于地面，无论门框机架1呈竖直或者倾斜方式设置，
阴极门盖9均以固定销11为圆心进行旋转，即阴极门盖9以垂直于地面的状态进行旋转开合，以防阴极门盖9因倾斜设置而增加阴极门盖9的开合负担，从而使镀膜机的日常操作及换靶作业更加方便。
23.进一步的，门框机架1左侧的上下两方分别安装有一处连接座3，连接座3的前侧铰接有连接杆4，连接杆4为圆杆状结构，且连接杆4外侧的前方设有螺纹，连接杆4外侧的中间焊接有固定环5，连接杆4外侧的前方通过滑动方式安装有活动环6，固定环5和活动环6的中间焊接有弹簧7，连接杆4的前端拧接有转轮8，阴极门盖9左侧的上下两方分别焊接有一处连接板13，连接板13为左方设有一处u形槽孔的长方形板状结构，且连接板13的左端位于活动环6和转轮8的中间，并且连接板13与连接杆4通过间隙配合的方式活动连接，通过在门框机架1的左侧安装连接座3，并将连接杆4的后端铰接在连接座3的内部，可以对连接杆4进行旋转，以调节连接杆4前端的位置，从而在阴极门盖9闭合时，可以将连接杆4的前端旋转至连接板13内的u形凹槽内，并利用拧紧转轮8的方式使转轮8向后移动，并对连接板13进行固定，从而对阴极门盖9进行固定，而在镀膜机停机放真空后，松动转轮8时，连接杆4外侧的弹簧7会将活动环6向前推动，以利用活动环6对阴极门盖9的推动将阴极门盖9自动弹开，方便了阴极门盖9的打开操作。
24.进一步的，固定销11的外侧设有螺旋状的凹槽，由于固定销11的外侧设置有螺旋状的凹槽，可以大大减少固定销11的外侧面积，从而减少了固定销11与固定座2和活动座10的接触面积，降低了固定销11与固定座2和活动座10摩擦力，于此同时，还可以向此凹槽的内部加注润滑油，从而大大减小固定销11与固定座2和活动座10的摩擦，使得阴极门盖9的开合更加顺畅，防止固定销11与固定座2和活动座10发生“咬死”现象，方便阴极门盖9的开合作业。
25.本实用新型一种内扣式磁控溅射阴极门盖板减力及门盖调正机构工作原理是：装置右方的连接座3、活动座10和固定销11起到铰接门框机架1与阴极门盖9的作用，使得阴极门盖9可以进行旋转开合，同时，由于上下两组连接座3、活动座10和固定销11呈竖直排列的方式设置，无论门框机架1呈竖直或者倾斜方式设置，阴极门盖9均以固定销11为圆心进行旋转，从而保证阴极门盖9始终垂直于地面，以防阴极门盖9倾斜设置而增加阴极门盖9的开合负担，同时由于固定销11的外侧开设有螺旋状的凹槽，不仅减小了固定销11与相关构件的摩擦面积，还可以向此凹槽内添加润滑油，从而方便阴极门盖9的旋转开合；装置左方的连接杆4可以进行旋转，当阴极门盖9闭合时，将连接杆4旋转至连接板13内的u形凹槽内，并拧紧转轮8，即可对阴极门盖9进行固定，而松动转轮8时，连接杆4外侧的弹簧7会将活动环6向前推动，从而将阴极门盖9自动弹开，方便了阴极门盖9的打开。
26.另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。