能提高热量利用率的蒸镀装置的制作方法

1.本实用新型涉及面板生产技术领域，尤其涉及一种能提高热量利用率的蒸镀装置。


背景技术：

2.在显示面板的制造过程中，特别是oled显示面板的制造过程中，通常会采用蒸镀工艺来形成膜层。蒸镀工艺流程如下，先将蒸镀源放置在蒸镀坩埚内，然后对蒸镀坩埚进行加热，使蒸镀源受热并气化离开蒸镀坩埚，最后蒸镀源镀覆在待蒸镀基材上，从而在待蒸镀基材上形成膜层。然而，现有技术存在以下缺陷：由于喷嘴设置在坩埚的顶面上，故当蒸镀源从喷嘴处喷出时会有大量的热量从坩埚的顶面流失，进而导致热量的利用率低。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于：提供一种能提高热量利用率的蒸镀装置，其结构简单，能充分利用热辐射，提高热量的利用率。
4.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供一种能提高热量利用率的蒸镀装置，包括：坩埚，所述坩埚内设置有容纳腔，所述坩埚上凸设有喷嘴，所述喷嘴与所述容纳腔相连通；盖体，所述盖体罩设在所述坩埚的上方且所述喷嘴能穿设出所述盖体，所述盖体的底面设置有反射层，所述反射层用于向所述坩埚反射热量；反射器，所述反射器围设在所述坩埚的侧壁外，所述反射器用于向所述坩埚反射热量。
6.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述反射器的顶面和所述盖体的底面连接。
7.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述盖体和所述反射器为一体成型。
8.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述能提高热量利用率的蒸镀装置还包括支撑件，所述支撑件的两端分别与所述盖体和所述坩埚连接。
9.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述能提高热量利用率的蒸镀装置还包括反射件，所述反射件设置在所述盖体的底面并在所述坩埚的中轴线方向上向所述坩埚底部延伸所述反射件和所述反射器部分重叠。
10.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述反射器由多个反射板连接组成。
11.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述能提高热量利用率的蒸镀装置还包括加热件，所述加热件包括：
12.第一加热丝，所述第一加热丝绕设在所述坩埚侧壁上；
13.第二加热丝，所述第二加热丝绕设在所述喷嘴侧壁上。
14.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述能提高热量利用率的蒸
镀装置还包括检测单元，多个所述检测单元均匀分布在所述坩埚上以检测所述坩埚相对应位置处的温度。
15.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述容纳腔的侧壁上铺设有导热层。
16.作为能提高热量利用率的蒸镀装置的一种优选方案，所述喷嘴包括从上至下依次连接的第一段和第二段，所述第一段的横截面积沿靠近所述坩埚的方向逐渐缩小，所述第二段的横截面积沿靠近所述坩埚的方向逐渐增大。
17.本实用新型的有益效果为：通过在盖体上设置反射层，从而尽可能地利用坩埚顶面以及喷嘴所产生的热辐射，进而减少热量损失，提高热量的利用率。另外，在坩埚的侧壁外设置反射器也是为了尽可能地利用坩埚侧壁所产生的热辐射，进而减少热量损失，提高热量的利用率。该能提高热量利用率的蒸镀装置结构简单，能充分利用热辐射，提高热量的利用率。
附图说明
18.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
19.图1为本实用新型第一实施例的能提高热量利用率的蒸镀装置的剖视图。
20.图2为本实用新型第一实施例的坩埚的结构示意图。
21.图3为本实用新型第一实施例的能提高热量利用率的蒸镀装置的仰视图。
22.图4为本实用新型第二实施例的能提高热量利用率的蒸镀装置的剖视图。
23.图5为本实用新型第三实施例的坩埚的结构示意图。
24.图1至图5中：
25.1、坩埚；11、容纳腔；111、导热层；12、喷嘴；121、第一段；122、第二段；2、盖体；21、反射层；3、反射器；31、反射板；4、支撑件；5、反射件；6、加热件；61、第一加热丝；62、第二加热丝；7、检测单元；100、待蒸镀基材。
具体实施方式
26.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
27.以下，参照附图来详细描述本实用新型。
28.如图1至图3所示，本实用新型实施例的能提高热量利用率的蒸镀装置包括坩埚1、盖体2和反射器3，坩埚1内设置有容纳腔11，坩埚1上凸设有喷嘴12，喷嘴12与容纳腔11相连通；盖体2罩设在坩埚1的上方且喷嘴12能穿设出盖体2，盖体2的底面设置有反射层21，反射层21用于向坩埚1反射热量；反射器3围设在坩埚1的侧壁外，反射器3用于向坩埚1反射热量。
29.使用时，蒸镀源放置在容纳腔11内并经过受热进而气化从喷嘴12处喷出通过在盖体2上设置反射层21，从而尽可能地利用坩埚1顶面以及喷嘴12所产生的热辐射，进而减少
热量损失，提高热量的利用率。另外，在坩埚1的侧壁外设置反射器3也是为了尽可能地利用坩埚1侧壁所产生的热辐射，进而减少热量损失，提高热量的利用率。该能提高热量利用率的蒸镀装置结构简单，能充分利用热辐射，提高热量的利用率。
30.具体地，通过对盖体2的底面进行抛光处理来达到镜面效果，从而在盖体2的底面形成反射层21。此外，通过在盖体2底面达到镜面的光洁程度，能延长盖体2的使用寿命，尽可能减少因其长期在受热的环境下和气化的蒸镀源发生化学反应的可能。
31.优选地，盖体2为不锈钢材料。当然，在盖体2选用铝等其它金属材料时，除了对盖体2进行抛光处理外，还需对盖体2的底面进行颜色处理以使盖体2的底面呈银色，因为银色能反射红外波长的热辐射，从而尽可能地提高热量的利用率。
32.示例性地，制成坩埚1本体的材料包括钛或钛合金，以保证坩埚1具有较大的高温强度。
33.其中，为了方便拆装和适应不同的坩埚1，反射器3由多个反射板31连接组成，从而将坩埚1包围在反射器3内，保证对热量的充分利用。
34.为了实现对蒸镀源的加热，如图2所示，能提高热量利用率的蒸镀装置还包括加热件6，加热件6包括绕设在坩埚1侧壁上的第一加热丝61，即通过加热丝对坩埚1进行加热，进而提高容纳腔11的温度以使蒸镀源发生气化。
35.可选地，考虑到蒸镀源从容纳腔11的底面气化并从喷嘴12处喷出的过程中会受热不均，在其它实施例中，加热件6还可以包括第二加热丝62，第二加热丝62绕设在喷嘴12的侧壁上。从而使进入喷嘴12内的蒸镀源受热更加均匀以提高加热效率，进而提升蒸镀效率。
36.优选地，为了提高热传导的效率，容纳腔11的侧壁上铺设有导热层111。
37.示例性地，制成导热层111的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种，当然，制成导热层111的材料还可以为其他材料，只要其导热率较大且不与蒸镀源发生反应即可。
38.进一步地，能提高热量利用率的蒸镀装置还包括检测单元7，多个检测单元7均匀分布在坩埚1上以检测坩埚1相对应位置处的温度，从而根据所检测的温度调整加热件6的加热状况，以使蒸镀形成膜层的厚度更加均匀。
39.本实施例中，为了保证热量的利用率，结合图3所示，反射器3的顶面和盖体2的底面连接，即通过盖体2和反射器3的连接所形成的空间将坩埚1完全罩在其中，充分利用坩埚1除底面外的其它表面上的热辐射。
40.可选地，盖体2和反射器3为一体成型，以减少拆装能提高热量利用率的蒸镀装置的繁琐性。可以理解的是，盖体2与反射器3一体成型的方法多种，例如，在有的实施例中，盖体2采用注塑、压塑、热压等成型方法一体成型在反射器3上；又例如，在有的实施例中，盖体2与反射器3采用一体铸造的加工方式形成。也就是说，在本实施例中，盖体2与反射器3形成为一体成型件的方法可以是任何一体成型方法。本实施例中，强调的是盖体2与反射器3不可拆分的结构，而非盖体2与反射器3一体成型的工艺。可以理解的是，在本实用新型的盖体2在实际使用的过程中，由于盖体2与反射器3为一体成型件，在安装过程中盖体2与反射器3不可能出现相对运动，从而方便了整个盖体2的安装。
41.在其它实施例中，由于蒸镀源从喷嘴12处喷出后部分会与盖体2的底面接触，进而沉积在盖体2上，故为了保证盖体2对热辐射的利用需要对盖体2进行定期清理，如图4所示，
能提高热量利用率的蒸镀装置还包括支撑件4，支撑件4的两端分别与盖体2和坩埚1连接，从而无需拆卸反射器3便可直接拆装盖体2。
42.进一步地，为了保证充分能利用坩埚1除底面外的其它表面上的热辐射，能提高热量利用率的蒸镀装置还包括反射件5，反射件5设置在盖体2的底面并在坩埚1的中轴线方向上向坩埚1底部延伸，反射件5和反射器3部分重叠。
43.本实施例中，考虑到加工因素，喷嘴12为圆柱状。
44.考虑到会有部分蒸镀源容易因受热不均而处在热融化状态下从喷嘴12处喷溅出，一方面造成蒸镀材料的浪费，另一方面热融化状态下的蒸镀材料直接喷溅到喷嘴12上方的待蒸镀基材100上时还会影响蒸镀品质。在其它实施例中，如图5所示，喷嘴12包括从上至下依次连接的第一段121和第二段122，第一段121的横截面积沿靠近坩埚1的方向逐渐缩小，第二段122的横截面积沿靠近坩埚1的方向逐渐增大。
45.可以理解的是，通过第一段121和第二段122所需成的沙漏状的喷嘴12可以对坩埚1的喷溅出来热融化状态下的蒸镀材料进行较好的阻挡，从而避免蒸镀材料直接喷溅到待蒸镀基材100上，影响蒸镀品质。
46.此外，加热后处于气态的蒸镀材料在经由喷嘴12喷出时，首先会在第一段121进行一定的聚拢，然后再在第二段122进行发散喷出，从而增大了有效蒸镀角，使得喷嘴12与待蒸镀基材100在较近距离上也可保证蒸镀的均匀性。
47.进一步地，第一段121与第二段122平滑过渡连接，从而使蒸镀源能更为顺畅、平缓地通过喷嘴12。
48.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。