一种蒸发镀膜装置的制作方法

文档序号:30188328发布日期:2022-05-30 20:16阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种蒸发镀膜装置,包括蒸发舟(1)和过滤件(2);所述过滤件(2)盖置在所述蒸发舟(1)上;其特征在于:所述蒸发舟(1)内摞置有阻挡件(3);和/或,所述蒸发舟(1)内摞置有内过滤件(4)。2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述蒸发舟(1)包括蒸发舟-底板(1-1);所述蒸发舟-底板(1-1)的形状呈矩形;所述蒸发舟-底板(1-1)的前侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-前侧板(1-2);所述蒸发舟-底板(1-1)的后侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-后侧板(1-3);所述蒸发舟-底板(1-1)的左侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-左侧板(1-4);所述蒸发舟-左侧板(1-4)的顶侧边缘垂直于该蒸发舟-左侧板(1-4)的板面向左延伸形成蒸发舟-左翼板(1-6);所述蒸发舟-底板(1-1)的右侧边缘垂直于该蒸发舟-底板(1-1)的板面向上延伸形成蒸发舟-右侧板(1-5);所述蒸发舟-右侧板(1-5)的顶侧边缘垂直于该蒸发舟-右侧板(1-5)的板面向右延伸形成蒸发舟-右翼板(1-7);所述蒸发舟-底板(1-1)、所述蒸发舟-前侧板(1-2)、所述蒸发舟-后侧板(1-3)、所述蒸发舟-左侧板(1-4)和所述蒸发舟-右侧板(1-5)围合成上方敞口的箱体;所述箱体的形状呈长方体。3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述过滤件(2)包括过滤件-顶板(2-1);所述过滤件-顶板(2-1)的形状呈矩形;所述过滤件-顶板(2-1)的板面中部分布有过滤件-孔(2-2);所述过滤件-顶板(2-1)的前侧边缘中部垂直于该过滤件-顶板(2-1)的板面向下延伸形成过滤件-前侧板(2-3);所述过滤件-顶板(2-1)的后侧边缘中部垂直于该过滤件-顶板(2-1)的板面向下延伸形成过滤件-后侧板(2-4);从前面看,所述过滤件(2)的形状呈倒置的“凸”字形;从左面看,所述过滤件(2)的形状呈倒置的“凹”字形。4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述阻挡件(3)包括阻挡件-底板(3-1);
1)的长度和所述内过滤件-底板(4-1)的长度相适应;所述蒸发舟-底板(1-1)的宽度、所述过滤件-顶板(2-1)的宽度、所述阻挡件-底板(3-1)的宽度和所述内过滤件-底板(4-1)的宽度相适应;所述内过滤件-左侧板(4-3)的高度是所述蒸发舟-左侧板(1-4)高度的三分之一至二分之一;所述阻挡件-左侧板(3-3)的高度是所述内过滤件-左侧板(4-3)高度的三分之一至二分之一;所述阻挡件-左侧板(3-3)的高度与所述阻挡件-凹口(3-2)的深度相同。8.根据权利要求7所述的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述内过滤件-孔(4-2)有九十个;九十个所述内过滤件-孔(4-2)分布在所述内过滤件-底板(4-1)的中部;九十个所述内过滤件-孔(4-2)呈六行十五列矩阵形分布在所述内过滤件-底板(4-1)的中部;所述内过滤件-孔(4-2)的直径为1.6mm;相邻两个所述内过滤件-孔(4-2)之间的距离为3.2mm。9.根据权利要求8所述的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述过滤件-孔(2-2)有三十九个;三十九个所述过滤件-孔(2-2)分布在所述过滤件-顶板(2-1)的中部;三十九个所述过滤件-孔(2-2)呈三行十三列矩阵形分布在所述过滤件-顶板(2-1)的中部;所述过滤件-孔(2-2)的直径为1.6mm;相邻两个所述过滤件-孔(2-2)之间的距离为4mm。10.根据权利要求9所述的蒸发镀膜装置,其特征在于:所述蒸发舟(1)的总长度为100mm;所述蒸发舟-底板(1-1)的长度为65mm;所述蒸发舟-底板(1-1)的宽度为30mm;所述蒸发舟-左侧板(1-4)的高度为25mm。

技术总结
本实用新型公开了一种蒸发镀膜装置,包括蒸发舟和过滤件;所述过滤件盖置在所述蒸发舟上;所述蒸发舟内摞置有阻挡件;和/或,所述蒸发舟内摞置有内过滤件。蒸发舟包括蒸发舟-底板、蒸发舟-前侧板、蒸发舟-后侧板、蒸发舟-左侧板、蒸发舟-左翼板、蒸发舟-右侧板、蒸发舟-右翼板;过滤件包括过滤件-顶板,所述过滤件-顶板的板面中部分布有过滤件-孔;阻挡件包括阻挡件-底板,所述阻挡件-底板的前、后分别设置有阻挡件-凹口;内过滤件包括内过滤件-底板,所述内过滤件-底板的板面中部分布有内过滤件-孔。本实用新型可有效地阻挡住和/或过滤掉飞溅的微小颗粒,使气态的物理分子或离子蒸镀在工件上,大大提高了产品质量。大大提高了产品质量。大大提高了产品质量。


技术研发人员:张秀明 张贻海 李剑 王丽娟 孟凡华
受保护的技术使用者:唐山斯腾光电科技有限公司
技术研发日:2021.12.29
技术公布日:2022/5/29
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