一种半导体设备用滑轨去毛刺装置的制作方法

1.本实用新型涉及滑轨加工设备技术领域，尤其涉及一种半导体设备用滑轨去毛刺装置。


背景技术：

2.随着半导体技术的发展，半导体在各领域上应用广泛，而半导体设备在加工过程中会通过滑轨进行设备的移动，滑轨在生产后需要对其进行打磨去毛刺处理。
3.现有的半导体设备用滑轨去毛刺装置通过设置吸尘罩来吸走去毛刺时产生的细屑，防止其飞溅到工人的眼睛中引起危害，影响工人的健康，但是质量较大的碎屑不易被吸走，会留在工作台上，若通过加大吸尘器功率则会产生极大地噪声，会影响操作人员的注意力，所以，需要设计一种半导体设备用滑轨去毛刺装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种半导体设备用滑轨去毛刺装置，包括工作箱、工作台与设置在工作台上的两个夹具，所述工作箱内顶部安装有电动滑轨，所述电动滑轨下设有第二液压缸，所述工作箱内设有用于驱动工作台转动的驱动机构，所述驱动机构包括固定连接在工作箱内壁的驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有转动轴，所述工作台两端均固定连接有转轴，所述转动轴侧壁套接有转动筒，所述转动筒通过传动机构与相邻转轴连接，所述传动机构包括固定连接在转轴侧壁的第一锥形齿轮，所述转动筒侧壁固定连接有与第一锥形齿轮配合的第二锥形齿轮，所述工作箱内设有用于安装工作台的安装机构。
7.优选地，所述安装机构包括通过安装座固定连接在工作箱上端的两个第一液压缸，两个所述第一液压缸输出端共同固定连接有安装框，两个所述转轴远离工作台的一端均贯穿相邻安装框侧壁，所述工作箱两侧壁均设有用于固定转轴的固定机构。
8.优选地，所述固定机构包括贯穿设置在工作箱侧壁的横杆，所述横杆与转轴相对的一端分别固定连接有固定盘与转动盘，所述固定盘侧壁固定连接有多个贯穿转动盘的限位杆。
9.优选地，所述工作箱两侧壁均固定连接有壳体，所述壳体内壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆输出端与相邻横杆侧壁固定连接，所述横杆截面为矩形。
10.优选地，所述第二液压缸输出端固定连接有安装板，所述安装板下端安装有打磨电机，所述安装板上端两侧均贯穿设有吸气管，所述吸气管下端连通设有吸尘罩，所述工作箱上端固定连接有吸尘器。
11.优选地，所述工作箱侧壁开设有清理口，所述工作箱内底部设有朝向清理口的斜面，所述安装框下端开设有两个开口，所述安装框内底部设有导料板。
12.优选地，所述安装框侧壁固定连接有安装块，所述安装块与转动筒转动连接，所述转动筒内圈截面为矩形。
13.本实用新型中，具有以下有益效果：
14.1、本装置设置了驱动机构与传动机构，启动驱动电机，转轴转动，转轴带动工作台转动，使其发生倾斜，工作台上的碎屑滚落，碎屑从开口掉落至工作箱内底部，部分碎屑掉落至导料板上，并沿导料板斜面从开口掉落至工作箱内底部，使得工作台上的碎屑自动滚落清理，不需要人为清理，从而提高了装置的实用性；
15.2、本装置设置了安装机构，启动两个第一液压缸，第一液压缸的输出端带动安装框向下移动，第一液压缸的输出端可以进行多次伸缩，导料板上与倾斜工作台上的碎屑能够在安装框运动过程中掉落，从而提高了碎屑的清理效果；
16.3、本装置设置了固定机构，启动两个电动推杆，两个固定盘相向移动，固定盘侧壁的限位杆贯穿相邻转动盘侧壁，使得固定盘与限位杆对转动盘进行限位使得转轴被固定，进一步提高工作台工作过程中的稳定性。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置的结构示意图；
18.图2为图1的a处结构放大图；
19.图3为本实用新型提出的一种半导体设备用滑轨去毛刺装置的安装框与转动筒装配图。
20.图中：1工作箱、2工作台、3安装框、4第一液压缸、5转轴、6电动滑轨、7第二液压缸、8安装板、9吸气管、10吸尘罩、11夹具、12驱动电机、13吸尘器、14电动推杆、15横杆、16第一锥形齿轮、17安装块、18第二锥形齿轮、19转动轴、20转动筒、21固定盘、22限位杆、23转动盘。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
22.参照图1-3，一种半导体设备用滑轨去毛刺装置，包括工作箱1、工作台2与设置在工作台2上的两个夹具11，夹具11可以夹紧滑轨，工作箱1内顶部安装有电动滑轨6，电动滑轨6可以带动第二液压缸7左右移动，电动滑轨6下设有第二液压缸7，夹具11与电动滑轨6为现有技术，故不做过多赘述。
23.工作箱1内设有用于驱动工作台2转动的驱动机构，驱动机构包括固定连接在工作箱1内壁的驱动电机12，驱动电机12的输出轴固定连接有转动轴19，工作台2两端均固定连接有转轴5，转动轴19侧壁套接有转动筒20，转动筒20通过传动机构与相邻转轴5连接，传动机构包括固定连接在转轴5侧壁的第一锥形齿轮16，转动筒20侧壁固定连接有与第一锥形齿轮16配合的第二锥形齿轮18，
24.工作箱1内设有用于安装工作台2的安装机构，安装机构包括通过安装座固定连接在工作箱1上端的两个第一液压缸4，两个第一液压缸4输出端共同固定连接有安装框3，两
个转轴5远离工作台2的一端均贯穿相邻安装框3侧壁，第一液压缸4的设置使得安装框3能够竖直移动，使得导料板上的碎屑能够在移动过程中滚落至工作箱1内底部。
25.工作箱1两侧壁均设有用于固定转轴5的固定机构，固定机构包括贯穿设置在工作箱1侧壁的横杆15，横杆15与转轴5相对的一端分别固定连接有固定盘21与转动盘23，固定盘21侧壁固定连接有多个贯穿转动盘23的限位杆22，多个所述限位杆22等间距设置，能够在贯穿转动盘23时对转动盘23进行限位，使得转动盘23无法发生转动。
26.本实用新型中，工作箱1两侧壁均固定连接有壳体，壳体内壁固定连接有电动推杆14，电动推杆14输出端与相邻横杆15侧壁固定连接，横杆15截面为矩形，使得横杆15无法发生转动。
27.本实用新型中，第二液压缸7输出端固定连接有安装板8，安装板8下端安装有打磨电机，安装板8上端两侧均贯穿设有吸气管9，吸气管9下端连通设有吸尘罩10，工作箱1上端固定连接有吸尘器13，吸尘器13吸气端连通设有吸尘管，吸气管9与吸尘管连通，吸尘管9足够长。
28.本实用新型中，工作箱1侧壁开设有清理口，工作箱1内底部设有朝向清理口的斜面，安装框3下端开设有两个开口，安装框3内底部设有导料板，导料板截面为三角形，方便碎屑的掉落。
29.本实用新型中，安装框3侧壁固定连接有安装块17，安装块17与转动筒20转动连接，转动筒20内圈截面为矩形，转动筒20内圈侧壁对转动轴19限位，使得转动轴19转动时能够带动转动筒20转动。
30.初始状态，第一锥形齿轮16与第二锥形齿轮18啮合。
31.在使用时，启动两个电动推杆14，两个电动推杆14带动两个横杆15与固定盘21向相反方向移动，转动盘23不再被固定，启动驱动电机12，驱动电机12的输出轴带动转动筒20转动，转动筒20通过第二锥形齿轮18与第一锥形齿轮16的啮合带动转轴5转动，转轴5带动工作台2转动，使其发生倾斜，工作台2上的碎屑滚落，碎屑从开口掉落至工作箱1内底部，部分碎屑掉落至导料板上，并沿导料板斜面从开口掉落至工作箱1内底部，使得工作台2上的碎屑自动滚落清理，不需要人为清理，从而提高了装置的实用性；
32.再启动两个第一液压缸4，第一液压缸4的输出端带动安装框3向下移动，第一液压缸4的输出端可以进行多次伸缩，导料板3上与倾斜工作台2上的碎屑能够在安装框3运动过程中掉落，从而提高了碎屑的清理效果；
33.清理结束后，第一液压缸4的输出端伸展安装框3向上移动，转动盘23与固定盘21平行时，关闭第一液压缸4，启动两个电动推杆14，两个固定盘21相向移动，固定盘21侧壁的限位杆22贯穿相邻转动盘23侧壁，使得固定盘与限位杆22对转动盘23进行限位使得转轴5被固定，进一步提高工作台2工作过程中的稳定性。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。