成膜装置的制作方法

1.本公开涉及一种成膜装置。


背景技术：

2.公开了一种关于连接器设备的技术，所述连接器设备具备对多个电气设备间的信号连接进行中继的连接器，所述连接器设备还具备：至少一个连接器，所述至少一个连接器经由连接线缆而与其它电气设备连接；至少一个连接检测部，所述至少一个连接检测部分别与所述至少一个连接器对应地设置，用于判定从所述连接器输入的输入信号是否为适当的输入信号并输出判定结果，并且在该输入信号是适当的输入信号的情况下输出该输入信号；连接引导部，其保持已连接的所述连接器的连接信息，并基于该连接信息和所述判定结果来生成与用户接下来应进行的连接有关的连接引导信息；以及输出部，其将所述连接引导信息提供给用户。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2006-1788889号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.本公开提供一种能够在成膜装置中抑制固体原料容器的误连接的技术。
8.用于解决问题的方案
9.根据本公开的一个方式，提供一种成膜装置，其包括：固体原料容器，其用于收容成膜用的固体原料；多个端子，所述多个端子与所述固体原料容器机械连接，并且所述多个端子能够变更电气状态；以及控制部，其检测所述多个端子的电气状态，并基于被检测到的电气状态来判定所述固体原料的种类。
10.发明的效果
11.根据一个方面，能够在成膜装置中抑制固体原料容器的误连接。
附图说明
12.图1是示出实施方式的成膜装置100的结构的一例的框图。
13.图2a是示出连接器120a的图。
14.图2b是示出连接器120a的图。
15.图2c是示出连接器120b的图。
16.图3是示出连接器120a、线缆130、连接器140a、140b、i/o板150的连接状态的图。
17.图4是示出连接器120a、线缆130、连接器140a、140b、i/o板150的连接状态的图。
18.图5是示出成膜装置100的例示性的截面结构的图。
具体实施方式
19.下面，参照附图来说明用于实施本公开的方式。此外，在本说明书和附图中，对实质上相同的结构标注相同的附图标记，由此有时省略重复的说明。
20.《实施方式》
21.图1是示出实施方式的成膜装置100的结构的一例的框图。成膜装置100包括原料收纳部110、连接器120a、120b、线缆130、连接器140a、140b、i/o(input/output：输入/输出)板150、mc(module controller：模块控制器)160、阀170以及警报部180来作为主要的构成要素。
22.下面，除了使用图1以外，还使用图2a、图2b以及图2c来说明连接器120a、120b。图2a及图2b是示出连接器120a的图，图2c是示出连接器120b的图。
23.另外，mc 160与ec(equipment controller：设备控制器)200连接。ec 200是统一地控制成膜装置100和成膜装置100以外的成膜装置等的控制器，所述ec 200位于mc 160的上级。成膜装置100和ec 200构成成膜系统。作为一例，mc 160和ec 200由包括cpu(central processing unit：中央处理单元)、ram(random access memory：随机存取存储器)、rom(read only memory：只读存储器)、hdd(hard disk drive：硬盘驱动器)、输入输出接口、用户接口以及内部总线等的计算机来实现。作为一例，用户接口是键盘、鼠标、显示器等。另外，在图1中示出ec 200的存储器201。作为一例，存储器201由rom实现。
24.原料收纳部110是用于收纳一个或多个原料容器(安瓿)的空间，在图1中，在原料收纳部110内配置有原料容器111。作为一例，原料容器111是用于收容固体原料的固体原料容器的一例。作为一例，固体原料为五氯化钨(wcl5)或六氯化钨(wcl6)。五氯化钨(wcl5)和六氯化钨(wcl6)在大气压下的常温下为固体。
25.在原料容器111连接有原料气体送出配管111a。原料气体送出配管111a将原料容器111与成膜装置100的腔室连接，在原料气体送出配管111a设置有阀170。另外，在原料容器111设置有加热器(未图示)，通过加热来使固体原料升华并作为原料气体供给到腔室。
26.连接器120a、120b在原料收纳部110内相互连接。连接器120a是第一连接器的一例，连接器120b是第二连接器的一例。连接器120a与安装于原料容器111的电线125a连接，连接器120b与线缆130连接。
27.更具体地说，连接器120a和电线125a是如图2a所示的结构，连接器120a固定于电线125a的一端，在连接器120a设置有可装卸的盖126a。连接器120a与电线125a仅被固定，未进行电连接。设置电线125a是为了将连接器120a安装于原料容器111。在此，通过电线125a将连接器120a安装于原料容器111并且将连接器120a与连接器120b连接是用于进行成膜处理的前提条件。
28.如图2b所示，连接器120a具有大致圆筒状的基部121a、多个孔部122a、多个端子123a以及螺栓部124a。多个孔部122a贯通基部121a，在多个孔部122a各自的内部设置有多个端子123a。另外，螺栓部124a设置于基部121a的径向外侧，在螺栓部124a的内周面形成有螺纹。螺栓部124a转动自如地安装于基部121a。
29.多个端子123a是多个端子的一例，且为多个第一端子的一例，是能够插入和拔出连接器120b的销端子123b的阴型的端子。用虚线仅示出多个端子123a中的在图2b中位于近前侧的端子。连接器120a是阴型的连接器。
30.对各端子123a赋予了标识符。作为一例，标识符是识别编号。多个端子123a构成为相互绝缘，但在基部121a的另一个面(在图2b中看不到的背侧面)侧能够使任意两个端子123a短路。未短路的其余的端子123a之间相互电绝缘，保持着开路的状态。
31.端子123a绝缘以及短路是端子123a的电气状态的一例，端子123a具有能够使任意两个端子123a短路的结构是端子123a具有能够变更电气状态的结构的一例。
32.两个端子123a的短路例如通过在基部121a的另一个面(在图2b中看不到的背侧面)侧利用在两端具有销端子的布线等将两个端子123a连接而使它们导通来进行即可。另外，短路的端子123a的数量至少为两个即可，也可以使三个以上的端子123a短路以使它们相互导通。另外，也可以使包括至少两个端子123a的每个组短路。
33.在此，作为一例，说明使多个端子123a中的两个端子123a短路的方式。短路的两个端子123a的识别编号的组合被用于区分原料容器111中收容的固体原料的种类。即，短路的两个端子123a的识别编号的组合根据原料容器111中收容的固体原料的种类而不同，是固有的组合。
34.因此，就安装于收容五氯化钨(wcl5)的原料容器111的连接器120a和安装于收容六氯化钨(wcl6)的原料容器111的连接器120a而言，短路的两个端子123a的识别编号的组合不同。
35.如图2c所示，连接器120b具有基部121b、突出部122b以及多个销端子123b。多个销端子123b是多个第二端子的一例。作为一例，基部121b是薄的矩形状的板状构件，在设置于其中央的多个贯通孔中分别插入有多个销端子123b。多个销端子123b的数量与多个端子123a的数量相等。另外，在基部121b的一个面设置有圆筒状的突出部122b，在突出部122b的外周面形成有螺纹部122b1。
36.为了将这样的连接器120a与120b连接，在使设置于基部121a的外周面的定位用的凸部与设置于突出部122b的内周面的定位用的凹部卡合了的状态下，将多个销端子123b插入连接器120a的多个孔部122a。而且，在将多个端子123a与多个销端子123b分别连接了的状态下，使螺栓部124a与突出部122b的螺纹部122b1卡合，由此连接器120a和120b相互固定。
37.线缆130的一端与连接器120b连接，另一端与连接器140a连接。线缆130具有将多个销端子123b与连接器140a的多个端子(未图示)分别连接的多个布线。
38.连接器140a与设置于i/o板150的连接器140b连接。连接器140a和140b分别具有与线缆130中包括的布线相同数量的端子，并且具有在与连接器120a及120b同样地将彼此的位置对准了的状态下使预先决定出的端子相互连接的结构。因此，连接器140b的各端子经由连接器140a、线缆130以及连接器120b而与连接器120a的各端子123a连接。此外，连接器120b、线缆130、连接器140a、140b、i/o板150以及线缆155是将多个端子123a与mc 160电连接的电连接部的一例。
39.在i/o板150设置有连接器140b和fpga(field programmable gate array：现场可编程门阵列)151。fpga 151经由i/o板150的布线而与连接器140b连接，并且经由线缆155而与mc 160连接。fpga 151读取连接器140b的各端子的电压值，检测连接器120a的各端子123a的连接状态(是否短路)。
40.fpga 151经由连接器140a、140b、线缆130以及连接器120b来检测连接器120a的多
个端子123a的连接状态，并生成表示短路的端子123a的组合的i/o数据。fpga 151将i/o数据传输到mc 160。此外，进行这样的处理的处理部不限于fpga 151，能够使用各种处理部。
41.mc 160是控制部的一例，按照成膜处理的制程(处理制程)对成膜装置100的各部(例如，阀、电源、加热器、泵等)进行控制。另外，作为一例，mc 160经由串行接口用的线缆155而与设置于i/o板150的fpga 151连接，并且，作为一例，经由lan(local area network：局域网)线缆205而与ec 200连接。
42.mc 160基于从fpga 151获取到的i/o数据来判别连接器120a的种类。mc 160在进行判别时，读取ec 200的存储器201中保存的参照数据，并将参照数据与i/o数据进行比较，由此判别连接器120a的种类。
43.阀170设置于将原料容器111与处理容器(未图示)连接的原料气体送出配管111a。通过mc 160将阀170在打开与关闭(切断)之间进行切换。阀170在不进行成膜时保持为关闭的状态。另外，在收容与成膜处理本身使用的固体原料不同的固体原料的原料容器111的连接器120a与连接器120b进行了连接的情况下，通过mc 160将阀170保持为关闭的状态。这是因为，当包含本身不使用的固体原料的原料容器111错误地与原料气体送出配管111a连接时，可能因批次不良而产生巨大的经济损失。
44.在收容与成膜处理本身使用的固体原料不同的固体原料的原料容器111的连接器120a与连接器120b进行了连接的情况下，警报部180通过mc 160进行工作。警报部180只要是能够向成膜装置100的操作者(利用者)通知发生了异常情况的装置即可，作为一例，是发出警报的警报装置、在mc 160、ec 200的显示器等中显示警报消息的装置等。
45.图3是示出用于检测收容五氯化钨(wcl5)的原料容器111的连接器120a、线缆130、连接器140a、140b、i/o板150的连接状态的图。图4是示出用于检测收容六氯化钨(wcl6)的原料容器111的连接器120a、线缆130、连接器140a、140b、i/o板150的连接状态的图。
46.在图3和图4中，从左侧到右侧示出端子123a、销端子123b、线缆130的布线、连接器140a、140b的端子以及i/o板150的连接状态。在图3和图4中，省略了fpga 151。
47.在此，作为一例，设为连接器120a的端子123a有28个，端子123a的识别编号为1至28。另外，由于端子123a、销端子123b、线缆130的布线以及连接器140a、140b的端子的数量分别有28个，因此设为端子123a、销端子123b、线缆130的布线以及连接器140a、140b的端子具有1至28的识别编号来进行说明。设为端子123a、销端子123b、线缆130的布线以及连接器140a、140b的端子各自与识别编号相同的各端子进行连接。
48.另外，为了判别收容五氯化钨(wcl5)的原料容器111和收容六氯化钨(wcl6)的原料容器111，作为一例，使用识别编号为5、6、17、18的四个端子123a，不使用其它识别编号的端子123a。因此，在图3和图4中，关于线缆130的布线、连接器140a、140b的端子以及i/o板150，仅示出识别编号为5、6、17、18的部分，关于识别编号为1～4、7～16、19～28记载为“未连接”(not connected)。
49.如图3所示，在安装于五氯化钨(wcl5)的原料容器111的连接器120a中，使识别编号为5和17的端子123a短路，识别编号为6和18的端子123a不短路(开路)。因此，在图3中，示出将识别编号为5和17的端子123a连接的状态，将识别编号为6和18的端子123a记载为“未连接”(not connected)。
50.另外，如图4所示，在安装于六氯化钨(wcl6)的原料容器111的连接器120a中，使识
别编号为6和18的端子123a短路，识别编号为5和17的端子123a不短路(开路)。因此，在图4中，示出将识别编号为6和18的端子123a连接的状态，将识别编号为5和17的端子123a记载为“未连接”(not connected)。
51.设置于i/o板150的fpga 151在判别收容五氯化钨(wcl5)的原料容器111和收容六氯化钨(wcl6)的原料容器111时，仅检测连接器140b的28个端子中的识别编号为5、6、17、18的端子的电压值。
52.在图3和图4中，将连接器140b的识别编号为5、17、6、18的端子的电压值分别设为a1、b1、a2、b2。fpga 151检测电压值a1、b1、a2、b2，并制作i/o数据。
53.如图3所示，在使识别编号为5和17的端子123a短路并使识别编号为6和18的端子123a不短路(开路)的情况下，电流以如下的路径流动。电流从i/o板150的识别编号为5的电源(+24v)流向识别编号为5的连接器140a、140b、线缆130的布线、销端子123b、端子123a。而且，电流从连接器120a的识别编号为5的端子123a通过识别编号为17的端子123a，经由识别编号为17的销端子123b、线缆130的布线、连接器140a、140b，并通过i/o板150的识别编号为17的电阻器r，从而流向地线(gnd)。
54.另外，在此时，由于识别编号为6和18的端子123a开路，因此在i/o板150的识别编号为6的电源(+24v)与识别编号为18的电阻器r、地线(gnd)之间不流通电流。
55.因此，设置于i/o板150的fpga 151所检测的连接器140b的电压值a1、b1分别为流通电流的情况下的电压值v1、v2，电压值a2、b2为未流通电流的情况下的+24v、0v。
56.另外，如图4所示，在使识别编号为6和18的端子123a短路且使识别编号为5和17的端子123a不短路(开路)的情况下，电流以如下的路径流动。电流从i/o板150的识别编号为6的电源(+24v)流向识别编号为6的连接器140a、140b、线缆130的布线、销端子123b、端子123a。而且，电流从连接器120a的识别编号为6的端子123a通过识别编号为18的端子123a，经由识别编号为18的销端子123b、线缆130的布线、连接器140a、140b，并通过i/o板150的识别编号为18的电阻器r，从而流向地线(gnd)。
57.另外，在此时，由于识别编号为5和17的端子123a开路，因此在i/o板150的识别编号为5的电源(+24v)与识别编号为17的电阻器r、地线(gnd)之间不流通电流。
58.因此，设置于i/o板150的fpga 151所检测的连接器140b的电压值a2、b2分别为流通电流的情况下的电压值v1、v2，电压值a1、b1分别为未流通电流的情况下的+24v、0v。
59.作为一例，fpga 151基于电压值a1、b1、a2、b2来制作2位的i/o数据。fpga 151在电压值a1、b1、a2、b2分别为v1、v2、24v、0v的情况下，制作2位的i/o数据
‘
01’，在电压值a1、b1、a2、b2分别为24v、0v、v1、v2的情况下，制作2位的i/o数据
‘
10’。i/o数据
‘
01’表示使识别编号为5和17的端子123a短路，i/o数据
‘
10’表示使识别编号为6和18的端子123a短路。fpga 151根据安装于五氯化钨(wcl5)的原料容器111的连接器120的各端子123a的连接状态来制作i/o数据
‘
01’，根据安装于六氯化钨(wcl6)的原料容器111的连接器120的各端子123a的连接状态来制作i/o数据
‘
10’。
60.mc 160基于成膜参数和i/o数据来控制阀170的打开/关闭(切断)，并且使警报部180工作。成膜参数表示根据成膜处理的种类而使用的固体原料的种类。作为一例，在进行成膜处理(1)的情况下，成膜参数表示使用五氯化钨(wcl5)，在进行成膜处理(2)的情况下，成膜参数表示使用六氯化钨(wcl6)。表示这样的成膜参数的数据存储在ec 200的存储器
201中。在此，设为成膜装置100进行成膜处理(1)和(2)中的任一方，在存储器201中保存有表示关于成膜处理(1)和(2)中的任一方的成膜参数的数据。
61.另外，在ec 200的存储器201中保存有参照数据。参照数据是具有与根据安装于原料容器111的连接器120的端子123a的连接状态(是否短路)得到的i/o数据相同的值的2位的数据。成膜装置100进行成膜处理(1)和(2)中的任一方，因此存储器201中保存的参照数据具有与根据安装于原料容器111的连接器120的端子123a的连接状态(是否短路)得到的i/o数据相同的值，该原料容器111用于收容在成膜装置100所进行的成膜处理(1)和(2)中的任一方中使用的固体原料。
62.在成膜装置100进行成膜处理(1)的情况下，存储器201中保存的参照数据为
‘
01’。另外，在成膜装置100进行成膜处理(2)的情况下，存储器201中保存的参照数据为
‘
10’。
63.mc 160从存储器201中读取与成膜装置100有关的成膜参数及参照数据。当从fpga 151获取到i/o数据时，mc 160将i/o数据与从存储器201中读取出的参照数据进行比较，如果一致，则将阀170打开。其结果是，使固体原料升华而得到的原料气体被供给到腔室。
64.另外，如果从fpga 151获取到的i/o数据与从存储器201中读取出的参照数据不一致，则mc 160将阀170保持为关闭状态并且使警报部180工作。
65.如以上那样，在成膜装置100中，将线缆130的一端的连接器120b与安装于原料容器111的连接器120a连接，将线缆130的另一端的连接器140a与设置于i/o板150的连接器140b连接。而且，为了判别两种固体原料的种类，作为一例，利用28个端子123a中的识别编号为5、17、6、18的四个端子123a，使识别编号5、17、6、18的四个端子123a中的两个端子123a以与固体原料的种类相应的固有的组合进行短路。
66.另外，设置于i/o板150的fpga 151基于识别编号为5、17、6、18的连接器140b的端子的电压值a1、b1、a2、b2来制作i/o数据，并传输到mc 160。而且，mc 160从存储器201中读取成膜参数和参照数据，在参照数据与从fpga 151获取到的i/o数据不一致的情况下，将阀170保持为关闭状态，并且使警报部180工作。
67.因此，能够事先防止将收容本身不使用的固体原料的原料容器111错误地与原料气体送出配管111a连接的情况。
68.因而，能够提供一种能够抑制原料容器111的误连接的成膜装置100。
69.另外，在连接器120a与连接器120b分离的情况下以及连接器140a与连接器140b分离的情况下，mc 160判断为识别编号为5和17的端子123a之间开路，并且识别编号为6和18的端子123a之间开路。其结果是，判断为识别编号为5和17的端子123a之间的电气状态(电连接状态)以及识别编号为6和18的端子123a之间的电气状态与正常连接的情况下的电气状态不同，开始对成膜装置100进行连锁控制。开始进行连锁控制例如是指执行使警报部180工作的控制或者使成膜处理停止的控制等。其结果是，实现故障安全(fail safe)动作和防错(fool proof)动作。
70.另外，并不是直接地检测与原料气体送出配管111a的误连接，而是利用新安装于原料容器111的连接器120a、在两端分别具有连接器120b和连接器140a的线缆130、以及设置于i/o板150的连接器140b来检测原料容器111的误连接。
71.原料容器111的误连接是利用基于连接器120a的短路的两个端子123a的固有的组合的电压值来判别的，因此判别的精度非常高。
72.因而，能够提供一种能够以非常高的精度判别原料容器111的误连接的、可靠性高的成膜装置100。
73.另外，在存在原料容器111的误连接的情况下，将阀170保持为关闭状态，因此能够抑制向腔室供给不同于本身使用的原料气体。当向腔室供给错误的原料气体时，可能因批次的不良而产生巨大的经济损失，但能够事先抑制这样的损失。
74.另外，在液体原料、气体原料的情况下，能够向原料容器添加原料，但在固体原料的情况下无法添加，因此会更换原料容器111。在进行更换时，可能发生人为错误。在像这样使用固体原料进行成膜的情况下，能够提供利用价值非常高的成膜装置100。
75.此外，以上说明了成膜装置100进行成膜处理(1)和(2)中的任一方并且将收容五氯化钨(wcl5)和六氯化钨(wcl6)中的任一方的原料容器111与原料气体送出配管111a连接的方式。然而，成膜装置100也可以具有两个原料气体送出配管111a，来切换地使用收容五氯化钨(wcl5)的原料容器111和收容六氯化钨(wcl6)的原料容器111。
76.在该情况下，在存储器201中预先保存成膜处理(1)和(2)这两方的成膜参数、以及与收容五氯化钨(wcl5)的原料容器111及收容六氯化钨(wcl6)的原料容器111对应的参照数据即可。而且，mc 160读取与执行的成膜处理(1)或(2)的成膜参数所表示的固体原料有关的参照数据，判定该参照数据是否与从fpga 151获取的i/o数据一致即可。例如，当成膜参数所表示的固体原料是五氯化钨(wcl5)的情况下，mc 160读出参照数据
‘
01’，判定该参照数据是否与从fpga 151获取的i/o数据一致即可。另外，当成膜参数所表示的固体原料是六氯化钨(wcl6)时，mc 160读取参照数据
‘
10’，判定该参照数据是否与从fpga 151获取的i/o数据一致即可。
77.另外，以上说明了fpga 151基于电压值a1、b1、a2、b2来制作i/o数据的方式，但也可以使用电流值或电阻值来代替电压值a1、b1、a2、b2。
78.另外，以上说明了对使用五氯化钨(wcl5)和六氯化钨(wcl6)来作为固体原料并且判别两种固体原料的方式。然而，固体原料并不限于这两种。
79.另外，以上作为能够变更多个端子123a的连接状态的结构，说明了使多个端子123a之间短路的结构，但能够变更电气状态的结构不限于这样的结构。例如，也可以通过将电阻值不同的电阻器连接在多个端子123a之间来变更多个端子123a的连接状态。
80.另外，在以上，作为端子123a能够变更电气状态的结构，说明了能够变更多个端子123a的连接状态的结构，但能够变更电气状态的结构不限于这样的结构。例如，也可以是能够变更静电电容的结构。
81.另外，以上说明了用于抑制原料容器111的误连接的如上述那样的技术应用于成膜装置100的方式，但如上述那样的技术也可以应用于成膜装置以外的制造装置等。
82.最后，使用图5来说明能够进行钨膜的成膜的成膜装置100的一例。图5是示出成膜装置100的例示性的截面结构的图。
83.成膜装置100具有气密地构成的大致圆筒状的腔室1，用于将作为被处理基板的晶圆w水平地支承的基座2以被通过从后述的排气室的底部到达该基座2的中央下部的圆筒状的支承构件3支承的状态配置在该腔室1中。基座2例如由aln等的陶瓷制成。另外，在基座2中埋入有加热器5，加热器5与加热器电源6连接。另一方面，在基座2的上表面附近设置有热电偶7，热电偶7的信号被传输到加热器控制器8。而且，加热器控制器8根据热电偶7的信号
向加热器电源6发送指令，控制加热器5的加热来将晶圆w控制为规定的温度。此外，在基座2以相对于基座2的表面能够突出和退回的方式设置有三个晶圆升降销(未图示)，在搬送晶圆w时，该三个晶圆升降销成为从基座2的表面突出的状态。另外，基座2能够通过升降机构(未图示)进行升降。
84.在腔室1的顶壁1a形成有圆形的孔1b，喷淋头10以从孔1b向腔室1内突出的方式嵌入顶壁1a。喷淋头10用于将从后述的气体供给机构30供给的作为成膜原料气体的wcl6气体喷出到腔室1内。在喷淋头10的上部设置有用于导入wcl6气体和作为吹扫气体的n2气体的第一导入路11、以及用于导入作为还原气体的h2气体和作为吹扫气体的n2气体的第二导入路12。
85.在喷淋头10的内部分上下两层地设置有空间13、14。上侧的空间13与第一导入路11相连，第一气体喷出路15从空间13延伸到喷淋头10的底面。下侧的空间14与第二导入路12相连，第二气体喷出路16从空间14延伸到喷淋头10的底面。即，喷淋头10将作为成膜原料气体的wcl6气体和作为还原气体的h2气体分别独立地从喷出路15及16喷出。
86.在腔室1的底壁设置有朝向下方突出的排气室21。在排气室21的侧面连接有排气管22，排气管22与具有真空泵、压力控制阀等的排气装置23连接。通过使排气装置23工作，能够使腔室1内成为规定的减压状态。
87.在腔室1的侧壁设置有用于进行晶圆w的搬入和搬出的搬入搬出口24、以及用于将该搬入搬出口24进行开闭的闸阀25。另外，在腔室1的壁部设置有加热器26，在进行成膜处理时，能够控制腔室1的内壁的温度。
88.气体供给机构30具有用于收容作为成膜原料的wcl6的原料容器111。wcl6在常温下为固体，在原料容器111内以固体的形式收容有作为钨原料的氯化钨即wcl6。在原料容器111的周围设置有加热器31a，将原料容器111内的成膜原料加热到适当的温度来使wcl6升华。此外，作为氯化钨，也能够使用wcl5。即使使用wcl5，也表现出与wcl6大致相同的行为。
89.在原料容器111中插入有用于从上方供给作为载气的n2气体的载气配管32。载气配管32与n2气体供给源33连接。另外，在载气配管32安装有作为流量控制器的质量流量控制器34及其前后的阀35。另外，在原料容器111内，从上方插入有作为原料气体线路的原料气体送出配管111a，该原料气体送出配管111a的另一端与喷淋头10的第一导入路11连接。在原料气体送出配管111a安装有阀37。在原料气体送出配管111a设置有用于防止作为成膜原料气体的wcl6气体的冷凝的加热器38。而且，在原料容器111内升华了的wcl6气体被作为载气的n2气体(载气n2)搬送，经由原料气体送出配管111a和第一导入路11被供给到喷淋头10内。另外，原料气体送出配管111a经由配管74而与供给作为吹扫气体的n2气体(吹扫n2)的n2气体供给源71连接。在配管74安装有作为流量控制器的质量流量控制器72及其前后的阀73。来自n2气体供给源71的n2气体被用作原料气体线路侧的吹扫气体。
90.此外，载气配管32与原料气体送出配管111a之间通过旁通配管48连接，在该旁通配管48安装有阀49。在载气配管32以及原料气体送出配管111a中比配管48连接部分更靠下游侧的位置分别安装有阀35a、37a。而且，通过关闭阀35a、37a并打开阀49，能够使来自n2气体供给源33的n2气体经过载气配管32、旁通配管48并对原料气体送出配管111a进行吹扫。此外，作为载气和吹扫气体，不限于n2气体，也可以是ar气体等其它非活性气体。
91.在喷淋头10的第二导入路12连接有作为h2气体线路的配管40，在配管40连接有供
给作为还原气体的h2气体的h2气体供给源42并经由配管64连接有用于供给作为吹扫气体的n2气体(吹扫n2)的n2气体供给源61。另外，在配管40安装有作为流量控制器的质量流量控制器44及其前后的阀45，在配管64安装有作为流量控制器的质量流量控制器62及其前后的阀63。来自n2气体供给源61的n2气体被用作h2气体线路侧的吹扫气体。作为还原气体，不限于h2气体，也能够使用sih4气体、b2h6气体、nh3气体。也可以设为能够供给h2气体、sih4气体、b2h6气体以及nh3气体中的两种以上的气体。另外，也可以使用这些气体以外的其它还原气体，例如ph3气体、sih2cl2气体。
92.成膜装置100的各构成部、具体地说是阀、电源、加热器、泵等的控制由mc 160进行。构成为成膜装置100的各构成部与mc 160连接并被该mc 160控制。mc 160的用户接口是供操作者进行用于管理成膜装置100的各构成部的命令的输入操作等的键盘、将成膜装置100的各构成部的运转状况可视化地显示的显示器等。另外，在mc 160的存储器中保存有用于实现由成膜装置100执行的各种处理的控制程序、用于使成膜装置100的各构成部根据处理条件来执行规定的处理的控制程序(处理制程)、各种数据库等。此外，mc 160的存储器是rom、hdd。
93.mc 160根据需要按照来自用户接口的指示等从存储器调出规定的处理制程并执行，由此成膜装置100在mc 160的控制下进行期望的成膜处理。
94.具体地说，mc 160打开闸阀25，通过搬送装置(未图示)将晶圆w经由搬入搬出口24搬入到腔室1内，并载置于被加热器5加热至规定温度的基座2上。在减压至规定的真空度之后，通过cvd(chemical vapor deposition：化学气相沉积)法或ald(atomic layer deposition：原子层沉积)法来进行钨膜的成膜。作为晶圆w，例如能够使用在热氧化膜的表面或者具有沟槽、孔等凹部的层间绝缘膜的表面形成有势垒金属膜(例如tin膜、tisin膜)来作为基底膜的晶圆。钨膜将tin膜、tisin膜用作基底膜，由此容易进行成膜。但是，基底膜不限于此。
95.以上对本公开所涉及的成膜装置的实施方式进行了说明，但本公开并不限定于上述实施方式等。能够在权利要求书所记载的范围内进行各种变更、修改、置换、添加、删除以及组合。这些当然也属于本公开的技术范围。
96.此外，本国际申请主张基于2020年3月23日申请的日本专利申请2020-051463号的优先权，其全部内容通过参照而被引用到本国际申请中。
97.附图标记说明
98.100：成膜装置；110：原料收纳部；120a、120b：连接器；160：mc；170：阀；180：警报部。