一种AZO靶材的制备方法及其装置与流程

一种azo靶材的制备方法及其装置
技术领域
1.本发明属于azo靶材技术领域，具体涉及一种azo靶材的制备方法及其装置。


背景技术：

2.靶材作为镀膜工艺的原材料，常通过溅射工艺制备薄膜材料。溅射是利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体即是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材，或简称靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
3.靶材在制备过程中需要进行打磨处理，并且在使用中还需要定期进行打磨处理，现有打磨一般是通过砂纸手动打磨，十分不便，对于圆型靶材的边壁进行打磨更是麻烦。


技术实现要素：

4.本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单，设计合理的azo靶材的制备装置。
5.本发明通过以下技术方案来实现上述目的：
6.一种azo靶材的制备装置，包括上置加工架与下置加工架，所述下置加工架连接有输出带体与固定座块，所述固定座块设置于输出带体的上下输送带之间，所述上置加工架的外表面固定连接有连接架，所述连接架固定连接有第一驱动电机与第三驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有伸缩横臂，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动端固定连接有伸缩杆件，所述伸缩杆件的末端固定连接有打磨头，所述打磨头环绕预打磨工件的表面打磨。
7.作为本发明的进一步优化方案，所述压紧机构包括上置管体与下置杆体，所述下置杆体的末端固定连接有压紧件，所述上置管体的内表面与下置杆体的外表面螺纹连接，所述上置管体的内部设置有限制杆，所述限制杆的一端与下置杆体固定连接，所述限制杆的另一端与上置管体的上端内壁固定连接，所述限制杆包括外管与内杆，所述内杆插入于外管内，所述外管与内杆均为方形。
8.作为本发明的进一步优化方案，所述压紧件包括下置管体，所述下置管体的下端固定连接有压盘件。
9.作为本发明的进一步优化方案，所述下置管体的内部滑动连接有移动板件，所述移动板件的外壁与下置管体的内壁紧密接触，所述下置管体的内部设置有上置腔体与下置腔体，所述移动板件为上置腔体与下置腔体的分界线，所述上置腔体与外界连通，所述上置腔体内设置有上置弹簧，所述上置弹簧的一端与所述移动板件连接，所述移动板件的下端固定连接有连接杆件，所述连接杆件的末端固定连接有压板。
10.作为本发明的进一步优化方案，所述压盘件的下端外表面设置有环形的压块，所
述压块的数量为若干组，其直径大小不一，且直径最大的压块设置于压盘件的最外沿。
11.作为本发明的进一步优化方案，除直径最大的压块外，其它所述的压块的表面开设有凹槽。
12.作为本发明的进一步优化方案，所述压盘件的上沿设置于下置管体的内部，所述下置管体的内壁滑动连接有移动卡件，所述移动卡件的上端固定连接有下置弹簧，所述下置管体的内壁固定连接有横板件，所述横板件的表面镂空，所述下置弹簧的一端与所述横板件固定连接，所述连接杆件贯穿所述横板件。
13.作为本发明的进一步优化方案，所述移动板件与所述移动卡件之间设置有弹性拉绳。
14.一种azo靶材的制备方法，包括一种azo靶材的制备装置，该装置包括上置加工架与下置加工架，所述下置加工架连接有输出带体与固定座块，所述固定座块设置于输出带体的上下输送带之间，所述上置加工架的外表面固定连接有连接架，所述连接架固定连接有第一驱动电机与第三驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有伸缩横臂，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动端固定连接有伸缩杆件，所述伸缩杆件的末端固定连接有打磨头，所述打磨头环绕预打磨工件的表面打磨；该方法还包括设置有检测装置，当工件跟随输出带体移动至固定座块的表面时，所述第三驱动电机驱动压紧机构下移，压紧所述工件，所述伸缩杆件伸长，所述第二驱动电机驱动打磨头转动，所述第一驱动电机驱动伸缩横臂转动，带动打磨头绕工件的表面转动并打磨工件的边壁。
15.作为本发明的进一步优化方案，该方法还包括，所述压紧机构包括上置管体与下置杆体，所述下置杆体的末端固定连接有压紧件，所述上置管体的内表面与下置杆体的外表面螺纹连接，所述上置管体的内部设置有限制杆，所述限制杆的一端与下置杆体固定连接，所述限制杆的另一端与上置管体的上端内壁固定连接，所述限制杆包括外管与内杆，所述内杆插入于外管内，所述外管与内杆均为方形；所述第三驱动电机驱动上置管体转动，所述下置杆体下移至压紧件与所述工件的表面接触。
16.本发明的有益效果在于：本发明通过下置加工架连接输出带体以及固定座块，当工件移动至固定座块的表面时，通过压紧件压紧该工件，并通过打磨头来对工件的边壁进行打磨处理，并且通过伸缩横臂，来转动盖打磨头，十分方便；整个制备装置及其制备方法，操作十分方便，使用十分灵活，对待打磨的工件具有较强的稳定性，便于圆形的azo靶材工件的边缘打磨，制备成本低，便于推广使用。
附图说明
17.图1是本发明的整体结构示意图；
18.图2是本发明的图1中第一驱动电机组件的结构示意图；
19.图3是本发明的图2中的下置管体的内部结构图；
20.图4是本发明的图3中的下置管体的内部放大结构图。
21.图中：1、上置加工架；2、下置加工架；3、输出带体；4、固定座块；5、连接架；6、第一驱动电机；7、上置管体；8、下置杆体；9、压盘件；10、第二驱动电机；11、伸缩杆件；12、打磨头；13、伸缩横臂；14、下置管体；15、上置腔体；16、上置弹簧；17、下置腔体；18、移动板件；
19、下置弹簧；20、横板件；21、移动卡件；22、压块；23、连接杆件；24、压板；25、限制杆；26、弹性拉绳。
具体实施方式
22.下面结合附图对本技术作进一步详细描述，有必要在此指出的是，以下具体实施方式只用于对本技术进行进一步的说明，不能理解为对本技术保护范围的限制，该领域的技术人员可以根据上述申请内容对本技术作出一些非本质的改进和调整。
23.实施例1
24.如图1-图4所示，一种azo靶材的制备装置，包括上置加工架1与下置加工架2，所述下置加工架2连接有输出带体3与固定座块4，所述固定座块4设置于输出带体3的上下输送带之间，所述上置加工架1的外表面固定连接有连接架5，所述连接架5固定连接有第一驱动电机6与第三驱动电机，所述第一驱动电机6的输出端固定连接有伸缩横臂13，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂13连接有第二驱动电机10，所述第二驱动电机10的驱动端固定连接有伸缩杆件11，所述伸缩杆件11的末端固定连接有打磨头12，所述打磨头12环绕预打磨工件的表面打磨。
25.在实际的使用中，可以配合检测装置使用，当工件跟随输出带体3移动至固定座块4的表面，检测装置检测到工件时，所述第三驱动电机驱动压紧机构下移，压紧所述工件，所述伸缩杆件11伸长，所述第二驱动电机10驱动打磨头12转动，所述第一驱动电机6驱动伸缩横臂13转动，带动打磨头12绕工件的表面转动并打磨工件的边壁，该处的检测装置可以选用红外线传感器或其他光电开关，输出带体3的运行速度需要控制；如图1所示，第三驱动电机在图中被挡住，当选用一组步进电机作为第三驱动电机时，压紧件并非为打磨头12旋转转动的中心，但在实际的操作中，可以将第一驱动电机6选用双头电机，此时，第一驱动电机6的上端头与伸缩横臂13连接，第一驱动电机6的下端头与压紧机构连接，此时压紧件为打磨头12的转动中心。
26.在本实施例中，驱动电机均选用步进电机使用，该实施例中的步进电机是指其把电脉冲信号变换成角位移以控制转子转动的电动机，在自动控制装置中作为执行元件，每输入一个脉冲信号，步进电机前进一步，故又称脉冲电动机，步进电机多用于数字式计算机的外部设备，以及打印机、绘图机和磁盘等装置。步进电机的驱动电源由变频脉冲信号源、脉冲分配器及脉冲放大器组成，由此驱动电源向电机绕组提供脉冲电流。步进电机的运行性能决定于电机与驱动电源间的良好配合，步进电机的优点是没有累积误差，结构简单，使用维修方便，制造成本低，步进电机带动负载惯量的能力大，适用性较为广泛，在本实施例中，其实际的型号并不限定，可以根据实际的装置制备情况来灵活选择。
27.伸缩杆件11与伸缩横臂13可以选用手动式的伸缩臂体结构(多为粗细杆体相互插入使用，通过螺栓件配合固定)，也可以选用伸缩气缸或其他伸缩结构；当伸缩杆件11为手动式的伸缩臂体结构时，其可以设置为如下形式，当工件移动靠近固定座块4时，此时伸缩杆件11位于固定座块4的另一侧，当对工件打磨完毕后，可控制伸缩杆件11，使其位于工件移动方向的反方向，如此设置，在加工相同类型的工件时，可以极大减小工人师傅的工作量。
28.进一步的，所述压紧机构包括上置管体7与下置杆体8，所述下置杆体8的末端固定
连接有压紧件，所述上置管体7的内表面与下置杆体8的外表面螺纹连接，所述上置管体7的内部设置有限制杆25，所述限制杆25的一端与下置杆体8固定连接，所述限制杆25的另一端与上置管体7的上端内壁固定连接，所述限制杆25包括外管与内杆，所述内杆插入于外管内，所述外管与内杆均为方形。采用方形结构，可以限定内杆的转动，从而上下调节的压紧件的位置。
29.进一步的，所述压紧件包括下置管体14，所述下置管体14的下端固定连接有压盘件9。通过压盘件9与工件的表面接触，从而更好的稳定工件。
30.进一步的，所述下置管体14的内部滑动连接有移动板件18，所述移动板件18的外壁与下置管体14的内壁紧密接触，所述下置管体14的内部设置有上置腔体15与下置腔体17，所述移动板件18为上置腔体15与下置腔体17的分界线，所述上置腔体15与外界连通，所述上置腔体15内设置有上置弹簧16，所述上置弹簧16的一端与所述移动板件18连接，所述移动板件18的下端固定连接有连接杆件23，所述连接杆件23的末端固定连接有压板24。通过压板24与压盘件9配合，从而更好的稳定工件。
31.再进一步的，所述压盘件9的下端外表面设置有环形的压块22，所述压块22的数量为若干组，其直径大小不一，且直径最大的压块22设置于压盘件9的最外沿。除直径最大的压块22外，其它所述的压块22的表面开设有凹槽。压盘件9的下端面设置压块22，增大与工件表面的摩擦力，使工件在被打磨时，更加稳定。
32.最佳的，所述压盘件9的上沿设置于下置管体14的内部，所述下置管体14的内壁滑动连接有移动卡件21，移动卡件21与压盘件9的上端沿边接触，产生封闭效果，所述移动卡件21的上端固定连接有下置弹簧19，所述下置管体14的内壁固定连接有横板件20，所述横板件20的表面镂空，所述下置弹簧19的一端与所述横板件20固定连接，所述连接杆件23贯穿所述横板件20。在实际的使用中，当下置杆体8下移时，压盘件9先与工件的表面接触，压板24再与工件的表面接触，压板24与工件的表面接触后，推动连接杆件23，使移动板件18上移，此时下置腔体17的空间变大，压盘件9与工件的表面形成新的腔体，该腔体内的空气顶起移动卡件21，进入下置腔体17内，待下置杆体8移动完成后，此时压盘件9配合其表面的压块22与工件的表面紧密接触，限定该工件，在该方案实施中，可以在下置腔体17以及压盘件9的表面设置相应的阀件，在解除压紧时，可以通过阀件，使上述两者内的气体压强恢复。
33.进一步的，所述移动板件18与所述移动卡件21之间设置有弹性拉绳26，将下置杆体8的下移分为两个阶段，第一阶段下移后，该弹性拉绳26绷紧，此时，压盘件9压紧工件；当打磨结束后，可以通过下置杆体8继续下移，通过弹性拉绳26将移动卡件21拉起，从而平衡下置腔体17与压盘件9内的气压，从而解除压紧状态，通过下置杆体8的上移，实现对工件的“放行”。
34.实施例2
35.一种azo靶材的制备方法，包括一种azo靶材的制备装置，该装置包括上置加工架1与下置加工架2，所述下置加工架2连接有输出带体3与固定座块4，所述固定座块4设置于输出带体3的上下输送带之间，所述上置加工架1的外表面固定连接有连接架5，所述连接架5固定连接有第一驱动电机6与第三驱动电机，所述第一驱动电机6的输出端固定连接有伸缩横臂13，所述第三驱动电机的驱动端连接有压紧机构，所述伸缩横臂13连接有第二驱动电机10，所述第二驱动电机10的驱动端固定连接有伸缩杆件11，所述伸缩杆件11的末端固定
连接有打磨头12，所述打磨头12环绕预打磨工件的表面打磨；该方法还包括设置有检测装置，当工件跟随输出带体3移动至固定座块4的表面时，所述第三驱动电机驱动压紧机构下移，压紧所述工件，所述伸缩杆件11伸长，所述第二驱动电机10驱动打磨头12转动，所述第一驱动电机6驱动伸缩横臂13转动，带动打磨头12绕工件的表面转动并打磨工件的边壁。
36.该方法还包括，所述压紧机构包括上置管体7与下置杆体8，所述下置杆体8的末端固定连接有压紧件，所述上置管体7的内表面与下置杆体8的外表面螺纹连接，所述上置管体7的内部设置有限制杆25，所述限制杆25的一端与下置杆体8固定连接，所述限制杆25的另一端与上置管体7的上端内壁固定连接，所述限制杆25包括外管与内杆，所述内杆插入于外管内，所述外管与内杆均为方形；所述第三驱动电机驱动上置管体7转动，所述下置杆体8下移至压紧件与所述工件的表面接触。
37.需要说明的是，该azo靶材的制备装置及其制备方法，在使用时，通过下置加工架2连接输出带体3以及固定座块4，当工件移动至固定座块4的表面时，通过压紧件压紧该工件，并通过打磨头12来对工件的边壁进行打磨处理，并且通过伸缩横臂13，来转动盖打磨头12，十分方便；整个制备装置及其制备方法，操作十分方便，使用十分灵活，对待打磨的工件具有较强的稳定性，便于圆形的azo靶材工件的边缘打磨，制备成本低，便于推广使用。
38.本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
39.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
40.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
41.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
42.尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
43.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。