用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统的制作方法

1.本发明涉及镀覆技术领域，具体地，涉及用于真空镀膜的挂装载具，还涉及包括该挂装载具的上下料设备和连续真空镀膜系统。


背景技术：

2.为了提高工件(例如燃料电池的金属双极板)的耐腐蚀性能，可以利用真空镀膜的方式在工件的表面镀覆薄膜或涂层。例如，燃料电池的金属双极板的耐腐蚀性相对较差，在燃料电池的使用环境中，金属双极板腐蚀后溶出的金属离子会污染燃料电池的质子交换膜，降低电堆的整体性能进而造成电堆失效。此外，腐蚀后金属表面生成的钝化膜会增大金属双极板表面的接触电阻，也会降低电堆的性能。因此，在金属双极板的加工成型工艺过程中，表面镀膜处理作为关键工序，可以有效提升金属双极板的耐蚀性和耐久性，降低接触电阻。
3.包括金属双极板在内的工件的挂装和卸料是工件镀膜生产中的重要一环，直接影响着镀膜的效率、质量和成本。目前，相关技术中工件的镀膜过程中，挂装和卸料都是人工进行，需依靠人力将工件依次挂装到镀膜转架并用弹簧装置勾紧，以防止工件在镀膜腔室中掉落，保证工件与转架间有良好的导电性。


技术实现要素：

4.本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的实施例提出一种用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统。
5.根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具包括：本体，所述本体具有镀膜窗口，所述镀膜窗口沿第一预设方向贯通所述本体；和压制件，所述压制件在压制工件的压制位置和脱离工件的脱离位置之间可转动地设在所述本体上，位于所述压制位置的所述压制件与所述本体配合以便将工件压制在所述本体上。
6.通过利用根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本。
7.可选地，所述本体还具有用于容纳工件的容纳槽，所述镀膜窗口在所述第一预设方向上与所述容纳槽相对，所述镀膜窗口与所述容纳槽连通。
8.可选地，所述压制件包括转动部和压制部，所述转动部在所述压制位置和所述脱离位置之间可转动地设在所述本体上，所述压制部设在所述转动部上，其中位于所述压制位置的所述压制件的所述压制部与所述容纳槽的底壁面在所述第一预设方向上相对设置以便所述压制部将工件压制在所述容纳槽的底壁面上，所述镀膜窗口开设在所述容纳槽的底壁面上。
9.可选地，所述转动部和所述本体中的一者具有限位槽，所述挂装载具进一步包括限位件，所述限位件在限位位置和缩回位置之间可移动地设在所述转动部和所述本体中的另一者上，其中所述压制件位于所述压制位置时，所述限位件位于所述限位位置，所述限位
件的至少一部分配合在所述限位槽内，所述压制件位于所述脱离位置时，所述限位件位于所述缩回位置，所述限位件脱离所述限位槽。
10.可选地，所述本体具有容纳腔，所述转动部的第一部分位于所述容纳腔内，所述第一部分和所述容纳腔的壁面中的一者设有所述限位槽。
11.可选地，所述限位槽设在所述第一部分的周面上，所述容纳腔的壁面上设有限位件槽，所述限位件在所述限位位置和所述缩回位置之间可移动地设在所述限位件槽内，其中位于所述限位位置的所述限位件的至少一部分伸出所述限位件槽，位于所述缩回位置的所述限位件的至少一部分位于所述限位件槽内。
12.可选地，所述挂装载具进一步包括位于所述限位件槽内的第一弹性件，所述第一弹性件的一端抵靠在所述限位件槽的壁面上，所述第一弹性件的另一端抵靠在所述限位件上，其中所述第一弹性件处于形变状态以便将所述限位件常推向所述限位位置。
13.可选地，所述限位槽的壁面为弧形面，位于所述限位位置的所述限位件的第一端部配合在所述限位槽内，所述第一端部的表面为弧形面。
14.可选地，所述本体具有沿第二预设方向间隔排列的多个所述容纳槽，每个所述容纳槽的底壁面上开设有所述镀膜窗口，所述第二预设方向垂直于所述第一预设方向，其中所述转动部的转动轴线平行于所述第二预设方向，所述压制部为多个，多个所述压制部沿所述第二预设方向间隔开地设在所述转动部上，每个所述容纳槽的底壁面与位于所述压制位置的所述压制件的至少一个所述压制部在所述第一预设方向上相对设置。
15.可选地，所述压制件进一步包括连接部，所述连接部的一端与所述转动部相连，所述连接部的另一端与所述压制部相连。
16.可选地，所述压制件进一步包括用于压制工件的第二弹性件，所述第二弹性件的一端与所述连接部相连，所述第二弹性件的另一端与所述压制部相连，其中位于所述压制位置的所述压制件的所述第二弹性件处于形变状态以便将工件推向所述本体。
17.可选地，所述压制件为两个，两个所述压制件沿第三预设方向间隔开地设置，所述第三预设方向垂直于所述第一预设方向。
18.根据本发明实施例的上下料设备包括：挂装载具，所述挂装载具为根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具；以及上料机械手和下料机械手，所述上料机械手和所述下料机械手中的每一者包括吸盘，所述上料机械手与所述挂装载具配合以便将工件放置在所述挂装载具上，所述下料机械手与所述挂装载具配合以便从所述挂装载具上取走工件。
19.根据本发明实施例的上下料设备具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低的优点。
20.根据本发明实施例的连续真空镀膜系统包括挂装载具，所述挂装载具为根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具。
21.根据本发明实施例的连续真空镀膜系统具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低的优点。
附图说明
22.图1是根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具的结构示意图。
23.图2是根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具的局部剖视图。
24.图3是图1中的a区域的放大图。
25.图4是图1中的b区域的放大图。
26.图5是根据本发明实施例的真空镀膜系统1000的局部结构示意图。
具体实施方式
27.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
28.如图1-图4所示，根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具100包括本体1和压制件2a。本体1具有镀膜窗口11，镀膜窗口11沿第一预设方向贯通本体1。压制件2a在压制工件200的压制位置和脱离工件200的脱离位置之间可转动地设在本体1上。位于该压制位置的压制件2a与本体1配合以便将工件200压制在本体1上。换言之，工件200被夹持在本体1与位于该压制位置的压制件2a之间。
29.下面参考图1-图4简要地描述挂装载具100的使用过程。首先，将本体1大体水平地放置，然后利用上料机械手将工件200放置在本体1上以便实现工件200的自动放置。此时，工件200的待处理部分与镀膜窗口11相对，即工件200的待处理部分从镀膜窗口11露出。待工件200被放置在本体1上后，将压制件2a从该脱离位置转动到该压制位置，以便利用压制件2a将工件200压制在本体1上。
30.接着，将夹持有工件200的挂装载具100大体竖直地放置，使挂装载具100进入到功能室(例如清洗室、镀膜室)以便对挂装载具100上的工件200进行相应的处理(清洗、镀膜)。对工件200处理完毕后，使挂装载具100离开功能室。
31.最后，将夹持有工件200的挂装载具100大体水平地放置，并将压制件2a从该压制位置转动到该脱离位置，此时压制件2a不再与工件200接触，用下料机械手将工件200从本体1上取走。
32.由此可以利用机械手自动完成工件200的取放，只需人工在该脱离位置与该压制位置之间转动压制件2a即可，从而提高工件200的挂装和卸料效率、降低人力成本。此外，还可以提高工件200的挂装一致性，进而提高工件200的镀膜一致性，以便提高产品合格率。
33.通过利用根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具100，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本、提高产品合格率。
34.如图1-图4所示，根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具100包括本体1和两个压制件2a、2b。本体1的形状可以是多边形。可选地，本体1可以是多边形板(例如矩形板)。
35.该第一预设方向可以与本体1的厚度方向一致。本体1具有在其厚度方向上相对的第一表面15和第二表面16。当本体1大体水平放置时(如图2所示)，本体1的厚度方向可以与上下方向一致，即该第一预设方向可以与上下方向一致。第一表面15可以是本体1的上表面，第二表面16可以是本体1的下表面。当本体1大体竖直放置时，本体1的厚度方向可以与前后方向一致，第一表面15可以是本体1的前表面，第二表面16可以是本体1的后表面。上下方向如图2中的箭头c所示。
36.如图1和图2所示，本体1还具有用于容纳工件200的容纳槽12，镀膜窗口11在该第一预设方向上与容纳槽12相对，镀膜窗口11与容纳槽12连通。由此在放置工件200时，可以
利用上料机械手将工件200放置在容纳槽12内，从而可以利用容纳槽12对工件200进行限位，避免在利用压制件2压制工件200时造成工件200移动，以便精确地露出工件200的待处理部分。其中，工件200可以是燃料电池的金属双极板。
37.工件200具有相对的两个待处理表面，这两个待处理表面可以在工件200的厚度方向上相对。当工件200放置在容纳槽12内之后，工件200的一个待处理表面可以通过镀膜窗口11露出，工件200的另一个待处理表面可以通过容纳槽12的开口露出。
38.如图1所示，本体1的第一表面15上设有多个容纳槽12，多个容纳槽12沿第二预设方向间隔排列，该第二预设方向垂直于该第一预设方向。每个容纳槽12的深度方向可以与该第一预设方向一致。通过设置多个容纳槽12，可以同时将多个工件200放置(夹持)在挂装载具100上，从而可以同时对多个工件200进行处理，以便提高工件200的处理效率。
39.如图2所示，每个容纳槽12的底壁面121上开设有镀膜窗口11。也就是说，本体1可以具有多个镀膜窗口11，多个镀膜窗口11一一对应地开设在多个容纳槽12的底壁面121上。由此可以使本体1和挂装载具100的结构更加合理。
40.如图1所示，压制件2a和压制件2b可以沿第三预设方向间隔开地设置，该第三预设方向垂直于该第一预设方向，即该第一预设方向、该第二预设方向和该第三预设方向可以彼此垂直。
41.当工件200放置在容纳槽12内之后，工件200的厚度方向可以与该第一预设方向一致，工件200的长度方向和宽度方向中的一者与该第二预设方向一致，工件200的长度方向和宽度方向中的另一者与该第三预设方向一致。该第二预设方向如图1中的箭头d所示，该第三预设方向如图1中的箭头e所示。
42.压制件2a包括转动部21a和多个压制部22a，压制件2b包括转动部21b和多个压制部22b。转动部21a在该压制位置和该脱离位置之间可转动地设在本体1上，转动部21b在该压制位置和该脱离位置之间可转动地设在本体1上。
43.转动部21a和转动部21b中的每一者可以沿该第二预设方向延伸，转动部21a和转动部21b中的每一者的转动轴线平行于该第二预设方向。可选地，转动部21a和转动部21b中的每一者可以是圆柱状。
44.如图1所示，多个压制部22a沿该第二预设方向间隔开地设在转动部21a上，多个压制部22b沿该第二预设方向间隔开地设在转动部21b上。每个容纳槽12的底壁面121与位于该压制位置的压制件2a的至少一个压制部22a在该第一预设方向上相对设置，每个容纳槽12的底壁面121与位于该压制位置的压制件2b的至少一个压制部22b在该第一预设方向上相对设置。
45.可选地，工件200可以是大体矩形。每个容纳槽12的底壁面121与位于该压制位置的压制件2a的两个压制部22a在该第一预设方向上相对设置，每个容纳槽12的底壁面121与位于该压制位置的压制件2b的两个压制部22b在该第一预设方向上相对设置。由此两个压制部22a和两个压制部22b可以压制在工件200的四个拐角处，从而可以将工件200更加稳定地压制在本体1(容纳槽12的底壁面121)上。
46.压制部22a和压制部22b都可以是平板状。位于该压制位置的压制件2a的压制部22a可以平行于工件200，位于该压制位置的压制件2b的压制部22b可以平行于工件200。由此压制部22a和压制部22b可以将工件200更加稳定地压制在本体1(容纳槽12的底壁面121)
上。
47.如图1所示，压制件2a进一步包括连接部24a，连接部24a的一端与转动部21a相连，连接部24a的另一端与压制部22a相连。压制件2b进一步包括连接部24b，连接部24b的一端与转动部21b相连，连接部24b的另一端与压制部22b相连。由此可以使压制件2a和压制件2b的结构更加合理。
48.连接部24a可以包括依次相连的第一连接段241a、中间段242a和第二连接段243a。当压制件2a位于该压制位置时，第一连接段241a和第二连接段243a中的每一者沿该第一预设方向延伸，中间段242a沿该第三预设方向延伸。连接部24a可以是多个，每个连接部24a的第一连接段241a的一端与转动部21a相连，多个连接部24a的第二连接段243a的一端一一对应地与多个压制部22a相连。
49.连接部24b可以包括依次相连的第一连接段241b、中间段242b和第二连接段243b。当压制件2b位于该压制位置时，第一连接段241b和第二连接段243b中的每一者沿该第一预设方向延伸，中间段242b沿该第三预设方向延伸。连接部24b可以是多个，每个连接部24b的第一连接段241b的一端与转动部21b相连，多个连接部24b的第二连接段243b的一端一一对应地与多个压制部22b相连。由此可以使连接部24a和连接部24b的结构更加合理。
50.如图1所示，压制件2a进一步包括用于压制工件200的第二弹性件42a，第二弹性件42a的一端与连接部24a相连，第二弹性件42a的另一端与压制部22a相连。其中，位于该压制位置的压制件2a的第二弹性件42a处于形变状态(例如压缩状态)以便将工件200推向本体1。
51.压制件2b进一步包括用于压制工件200的第二弹性件42b，第二弹性件42b的一端与连接部24b相连，第二弹性件42b的另一端与压制部22b相连。其中，位于该压制位置的压制件2b的第二弹性件42b处于形变状态(例如压缩状态)以便将工件200推向本体1。
52.通过设置第二弹性件42a、42b，从而可以增大施加在工件200上的压制力，以便将工件200更加稳定地压制在本体1上。由此可以使工件200与本体1更好地接触导电，即使工件200和挂装载具100更好地接触导电，由此更加有利于提高工件200表面镀层的致密性。
53.可选地，第二弹性件42a、42b可以是弹簧。第二弹性件42a的该一端与第二连接段243a相连，第二弹性件42b的该一端与第二连接段243b相连。
54.如图1、图3和图4所示，转动部21a和本体1中的一者具有限位槽23a，转动部21b和本体1中的一者具有限位槽23b。挂装载具100进一步包括限位件3a、3b，限位件3a在限位位置和缩回位置之间可移动地设在转动部21a和本体1中的另一者上，限位件3b在限位位置和缩回位置之间可移动地设在转动部21b和本体1中的另一者上。
55.换言之，转动部21a具有限位槽23a且限位件3a在该限位位置和该缩回位置之间可移动地设在本体1上，或者本体1具有限位槽23a且限位件3a在该限位位置和该缩回位置之间可移动地设在转动部21a上。转动部21b具有限位槽23b且限位件3b在该限位位置和该缩回位置之间可移动地设在本体1上，或者本体1具有限位槽23b且限位件3b在该限位位置和该缩回位置之间可移动地设在转动部21b上。
56.其中，压制件2a位于该压制位置时，限位件3a位于该限位位置，限位件3a的至少一部分配合在限位槽23a内，压制件2a位于该脱离位置时，限位件3a位于该缩回位置，限位件3a脱离限位槽23a。压制件2b位于该压制位置时，限位件3b位于该限位位置，限位件3b的至
少一部分配合在限位槽23b内，压制件2b位于该脱离位置时，限位件3b位于该缩回位置，限位件3b脱离限位槽23b。
57.也就是说，当压制件2a、2b(转动部21a、21b)从该脱离位置移动到该压制位置时，限位件3a、3b从该缩回位置移动到该限位位置。当压制件2a、2b(转动部21a、21b)从该压制位置移动到该脱离位置时，限位件3a、3b从该限位位置移动到该缩回位置。
58.由此可以利用限位件3a对压制件2a进行限位、利用限位件3b对压制件2b进行限位，从而可以将压制件2a、2b限制在该压制位置，以便使压制件2a、2b能够将工件200更加稳定地压制在本体1上，避免工件200从本体1(挂装载具100)上脱落。
59.本体1具有容纳腔13a、13b，转动部21a的第一部分211a位于容纳腔13a内，第一部分211a和容纳腔13a的壁面中的一者设有限位槽23a，转动部21b的第一部分211b位于容纳腔13b内，第一部分211b和容纳腔13b的壁面中的一者设有限位槽23b。由此可以使挂装载具100的结构更加合理。
60.如图3和图4所示，限位槽23a设在第一部分211a的周面上，限位槽23b设在第一部分211b的周面上，容纳腔13a的壁面上设有限位件槽14a，容纳腔13b的壁面上设有限位件槽14b。限位件3a在该限位位置和该缩回位置之间可移动地设在限位件槽14a内，限位件3b在该限位位置和该缩回位置之间可移动地设在限位件槽14b内。
61.其中，位于该限位位置的限位件3a的至少一部分伸出限位件槽14a，位于该缩回位置的限位件3a的至少一部分位于限位件槽14a内。位于该限位位置的限位件3b的至少一部分伸出限位件槽14b，位于该缩回位置的限位件3b的至少一部分位于限位件槽14b内。通过设置限位件槽14a、14b，从而可以使限位件3a、3b更加稳定地在该限位位置和该缩回位置之间移动。
62.如图3和图4所示，挂装载具100进一步包括第一弹性件41a、41b，第一弹性件41a位于限位件槽14a内，第一弹性件41b位于限位件槽14b内。第一弹性件41a的一端抵靠在限位件槽14a的壁面上，第一弹性件41a的另一端抵靠在限位件3a上，第一弹性件41b的一端抵靠在限位件槽14b的壁面上，第一弹性件41b的另一端抵靠在限位件3b上。
63.其中，第一弹性件41a处于形变状态(例如压缩状态)以便将限位件3a常推向该限位位置，第一弹性件41b处于形变状态(例如压缩状态)以便将限位件3b常推向该限位位置。也就是说，限位件3a处于该缩回位置时，第一弹性件41a处于形变状态，限位件3a处于该限位位置时，第一弹性件41a也处于形变状态；限位件3b处于该缩回位置时，第一弹性件41b处于形变状态，限位件3b处于该限位位置时，第一弹性件41b也处于形变状态。
64.通过设置位于限位件3a与限位件槽14a的壁面之间的第一弹性件41a以及位于限位件3b与限位件槽14b的壁面之间的第一弹性件41b，从而不仅可以利用第一弹性件41a、41b自动地将限位件3a、3b从该缩回位置推到该限位位置，而且可以利用第一弹性件41a、41b向限位件3a、3b施加朝向该限位位置的弹力，以便使限位件3a、3b更加稳定地处于该限位位置，进而可以使压制件2a、2b(转动部21a、21b)更加稳定地处于该压制位置。可选地，第一弹性件41a、41b可以是弹簧。
65.为了使本技术的技术方案更加容易被理解，下面以本体1大体水平地放置时压制件2a、2b沿前后方向延伸且压制件2a位于压制件2b左侧为例，进一步描述挂装载具100的使用过程。前后方向如图1中的箭头f所示，左右方向如图1中的箭头g所示。
66.转动部21a的前端部位于容纳腔13a内，转动部21a的前端部的周面设有限位槽23a，转动部21b的前端部位于容纳腔13b内，转动部21b的前端部的周面设有限位槽23b，转动部21a位于转动部21b的左侧。本体1的左侧面开设有限位件槽14a，本体1的右侧面开设有限位件槽14b。也就是说，本体1的左侧面的一部分构成容纳腔13a的壁面的一部分，本体1的右侧面的一部分构成容纳腔13b的壁面的一部分。
67.限位件3a、3b沿左右方向在该限位位置与该缩回位置之间移动。第一弹性件41a的左端部抵靠在限位件3a上，第一弹性件41a的右端部抵靠在限位件槽14a的底壁面上，第一弹性件41b的右端部抵靠在限位件3b上，第一弹性件41b的左端部抵靠在限位件槽14b的底壁面上。
68.当压制件2a、2b(转动部21a、21b)位于该脱离位置时，第一弹性件41a、41b处于压缩状态，限位件3a的左端部抵靠在转动部21a的前端部的周面上，限位件3b的右端部抵靠在转动部21b的前端部的周面上。
69.待工件200被放置在容纳槽12内之后，顺时针旋转转动部21a(从前向后看)以便转动部21a从该脱离位置转动到该压制位置，限位件3a与位于该压制位置的转动部21a的限位槽23a在左右方向上相对，由此第一弹性件41a推动限位件3a从右向左移动以便限位件3a从该缩回位置移动到该限位位置，位于该限位位置的限位件3a的左端部配合在限位槽23a内，以便将转动部21a(压制件2a)限制在该压制位置，此时第一弹性件41a依然处于压缩状态。
70.逆时针旋转转动部21b(从前向后看)以便转动部21b从该脱离位置转动到该压制位置，限位件3b与位于该压制位置的转动部21b的限位槽23b在左右方向上相对，由此第一弹性件41b推动限位件3b从左向右移动以便限位件3b从该缩回位置移动到该限位位置，位于该限位位置的限位件3b的右端部配合在限位槽23b内，以便将转动部21b(压制件2b)限制在该压制位置，此时第一弹性件41b依然处于压缩状态。
71.对工件200处理完毕后，逆时针旋转转动部21a(从前向后看)以便转动部21a从该压制位置转动到该脱离位置。限位槽23a的壁面向右推动限位件3a移动，以便使限位件3a从该限位位置移动到该缩回位置并脱离限位槽23a。顺时针旋转转动部21b(从前向后看)以便转动部21b从该压制位置转动到该脱离位置。限位槽23b的壁面向左推动限位件3b移动，以便使限位件3b从该限位位置移动到该缩回位置并脱离限位槽23b。
72.可选地，限位槽23a、23b的壁面为弧形面。位于该限位位置的限位件3a的第一端部31a(例如左端部)配合在限位槽23a内，限位件3a的第一端部31a的表面为弧形面。位于该限位位置的限位件3b的第一端部31b(例如右端部)配合在限位槽23b内，限位件3b的第一端部31b的表面为弧形面。由此可以使限位件3a的第一端部31a更加顺畅地脱离限位槽23a、限位件3b的第一端部31b更加顺畅地脱离限位槽23b，从而使压制件2a、2b(转动部21a、21b)更加顺畅地从该压制位置移动到该脱离位置，以便更加容易地从本体1上取走工件200。
73.例如，限位槽23a、23b的壁面均为球冠，限位件3a的第一端部31a的表面为球冠，限位件3b的第一端部31b的表面为球冠。由此可以使限位件3a的第一端部31a更加顺畅地脱离限位槽23a、限位件3b的第一端部31b更加顺畅地脱离限位槽23b，从而使压制件2a、2b(转动部21a、21b)更加顺畅地从该压制位置移动到该脱离位置，以便更加容易地从本体1上取走工件200。
74.如图3和图4所示，压制件2a还包括设在转动部21a上的手柄25a，压制件2b还包括
设在转动部21b上的手柄25b，由此可以通过握持手柄25a、25b来对转动部21a、21进行转动。可选地，手柄25a设在转动部21a的端面上，手柄25b设在转动部21b的端面上。
75.本发明还提供上下料设备。根据本发明实施例的上下料设备包括上料机械手、下料机械手和根据本发明上述实施例的挂装载具100。该上料机械手和该下料机械手中的每一者包括吸盘，该吸盘可以吸附工件200。上料机械手与挂装载具100配合以便将工件200放置在挂装载具100上，下料机械手与挂装载具100配合以便从挂装载具100上取走工件200。
76.根据本发明实施例的上下料设备具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低、产品合格率高等优点。
77.本发明还提供连续真空镀膜系统1000。根据本发明实施例的连续真空镀膜系统1000包括根据本发明上述实施例的挂装载具100。
78.根据本发明实施例的连续真空镀膜系统1000具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低、产品合格率高等优点。
79.如图5所示，根据本发明实施例的连续真空镀膜系统1000还可以包括上料室300、下料室400和多个功能单元500。每个功能单元500包括依次相连的第一过渡室510、功能室520和第二过渡室530，即功能室520位于第一过渡室510与第二过渡室530之间。上料室300、多个功能单元500和下料室400依次相连，即上料室300、功能单元500、......、功能单元500和下料室400依次排列。
80.挂装载具100以及挂装在挂装载具100上的工件200可以依次经过上料室300、功能单元500、......、功能单元500和下料室400。
81.上料室300和相邻的功能单元500的第一过渡室510相连，下料室400和相邻的功能单元500的第二过渡室530相连。换言之，上料室300和多个功能单元500中的与其相邻的一者的第一过渡室510相连，下料室400和多个功能单元500中的与其相邻的一者的第二过渡室530相连。相邻两个功能单元500中的一者的第二过渡室530和相邻两个功能单元500中的另一者的第一过渡室510相连，即相邻两个功能单元500的功能室520之间存在至少两个过渡室。
82.来自上料室300或前一个(上游)功能单元500的挂装载具100以及挂装在挂装载具100上的工件200进入到本功能单元500的第一过渡室510内，进而进入到功能室520内以便进行相应的处理。如果只需对工件200进行一次处理，则处理后的工件200可以进入到本功能单元500的第二过渡室530内，进而进入到后一个(下游)功能单元500或下料室400内。
83.如果需要对工件200进行多次处理，则经过一次处理后的工件200可以先进入到第二过渡室530内，再回到功能室520内以便对工件200进行再次处理。如此反复，直至完成工件200在该功能单元500的全部处理。由于对工件200进行多次处理只需要占用功能室520和第二过渡室530，因此在对工件200进行多次处理的同时，上料室300或前一个功能单元500的工件200可以进入到本功能单元500的第一过渡室510内。由此可以避免工件200留滞在上料室300或前一个功能单元500内，从而不会影响后续工件上料、也不会影响前一个功能单元500处理后续工件。
84.如果没有后续工件进入到本功能单元500的第一过渡室510内，工件200也可以从功能室520回到第一过渡室510内，进而再次进入到功能室520内以便对工件200进行再次处理。
85.根据本发明实施例的连续真空镀膜系统1000通过使每个功能单元500包括功能室520以及位于功能室520两侧的第一过渡室510和第二过渡室530，从而能够在不影响后续工件进入该功能单元500的情况下、实现对工件200进行多次处理。由此不仅可以提高连续真空镀膜系统1000的处理效率和处理量，而且可以提高工件200的处理效果。
86.相关技术中为了对工件进行多次处理，需要在功能室内设置多个处理装置，每个处理装置对工件进行一次处理。由于工件200能够在本技术的功能室520与第二过渡室530(第一过渡室510)之间往返移动(来回移动)，因此只需要在功能室520内设置较少数量、甚至一个处理装置，就可以对工件200进行多次处理。由此不仅可以简化功能单元500和连续真空镀膜系统1000的结构、降低功能单元500和连续真空镀膜系统1000的制造成本和制造难度，而且可以减小功能单元500和连续真空镀膜系统1000占用的空间，降低维持功能单元500的真空度的成本。
87.此外，当功能单元500、下料室400因发生故障等原因而暂时无法使用时，可以将进行完相应处理的工件200暂存在前一个功能单元500的第二过渡室530内。此时，前一个功能单元500可以利用其第一过渡室510和功能室520对后续工件进行处理，从而避免因功能单元500、下料室400暂时无法使用而导致整个连续真空镀膜系统1000停止运行，以便进一步提高连续真空镀膜系统1000的处理效率和处理量。
88.因此，根据本发明实施例的连续真空镀膜系统1000具有处理效率和处理量高、处理效果好、制造成本和制造难度低、运行成本低等优点。
89.如图5所示，多个功能单元500可以包括清洗单元500a、第一镀膜单元500b和第二镀膜单元500c。可选地，上料室300、多个功能单元500和下料室400沿某一方向依次相连。例如，上料室300、清洗单元500a、第一镀膜单元500b、第二镀膜单元500c和下料室400沿某一方向依次相连。
90.如图5所示，清洗单元500a包括依次相连的第一过渡室510a、清洗室520a和第二过渡室530a，清洗单元500a的第一过渡室510a和上料室300相连。第一镀膜单元500b包括依次相连的第一过渡室510b、第一镀膜室520b和第二过渡室530b，第一镀膜单元500b的第一过渡室510b和清洗单元500a的第二过渡室530a相连。第二镀膜单元500c包括依次相连的第一过渡室510c、第二镀膜室520c和第二过渡室530c，第二镀膜单元500c的第一过渡室510c和第一镀膜单元500b的第二过渡室530b相连，第二镀膜单元500c的第二过渡室530c和下料室400相连。
91.可选地，上料室300、第一过渡室510a、清洗室520a、第二过渡室530a、第一过渡室510b、第一镀膜室520b、第二过渡室530b、第一过渡室510c、第二镀膜室520c、第二过渡室530c和下料室400沿某一方向(例如水平方向)依次相连。
92.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
93.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
94.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
95.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
96.在本发明中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
97.尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。