一种用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统及方法

文档序号:32752379发布日期:2022-12-31 01:37阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,其特征在于,包括:蚀刻剂再生池(1)、料液循环池(2)和电化学电解单元(3);所述电化学电解单元(3)包括电解槽(3-1)、阳极(3-2)和阴极(3-3);所述电解槽(3-1)下部设置有第一进水口(3-11)、上部设置有溢水口(3-12);所述蚀刻剂再生池(1)用于接收外部的废蚀刻剂,并将废蚀刻剂输送至电化学电解单元(3)的阳极(3-2)附近,同时,蚀刻剂再生池(1)接收电化学电解单元(3)电解后从阳极(3-2)附近抽取的酸液;所述料液循环池(2)接收废蚀刻剂电解后来自溢水口(3-12)的出水和从阳极(3-2)附近抽取的酸液,之后将混合后的液体通过第一进水口(3-11)输送至电化学电解单元(3)的阴极(3-3)附近。2.根据权利要求1所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,其特征在于,所述阳极(3-2)为滤芯电极,内部为空腔,壁上为多孔结构;一端为第二进水口(3-21),另一端为抽水口(3-22);所述蚀刻剂再生池(1)内的蚀刻剂通过第二进水口(3-21)输送至阳极(3-2)内部,同时,从抽水口(3-22)抽取阳极(3-2)电解后的酸液并输送至蚀刻剂再生池(1);所述料液循环池(2)接收的酸液为来自抽水口(3-22)抽取阳极(3-2)电解后的酸液。3.根据权利要求1所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,其特征在于,所述电解槽(3-1)为圆筒型,第一进水口(3-11)的出水方向与电解槽(3-1)的内壁相切。4.根据权利要求1所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,其特征在于,所述阴极(3-3)为多孔网筒电极,材料为不锈钢、钛或铜。5.根据权利要求1所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,其特征在于,电解时的电流密度可为5-30ma/cm2。6.根据权利要求2所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,其特征在于,所述的阳极(3-2)套设于阴极(3-3)内,阴极(4-2)与阳极(4-1)之间的距离为1-10cm。7.权利要求1-6任一项所述的旋流电解系统用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收。8.一种用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解方法,其特征在于,使用权利要求1-6任一项所述的电解系统。9.根据权利要求8所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解方法,其特征在于,具体步骤如下:(1)将废蚀刻剂加入到蚀刻剂再生池(1),之后将蚀刻剂输送至电化学电解单元(3)的阳极(3-2)附近开始进行电解;(2)电解过程中,从电化学电解单元(3)的阳极(3-2)附近抽取酸液,抽取的酸液一部分输送至蚀刻剂再生池(1),另一部分输送至料液循环池(2);电解槽(3-1)的溢水口(3-12)的出水被输送至料液循环池(2);(3)将料液循环池(2)中的混合水体通过第一进水口(3-11)输送至阴极(3-3)附近。10.根据权利要求9所述的用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解方法,其特征在于,第一进水口(3-11)的出水方向与电解槽(3-1)的内壁相切。

技术总结
本发明涉及一种用于酸性氯化铜蚀刻剂的再生与铜回收的旋流电解系统,包括:蚀刻剂再生池、料液循环池和电化学电解单元;本发明中电化学电解单元无需额外的氧化剂以及萃取剂即可实现蚀刻剂再生和铜回收的效果,同时消除了蚀刻剂使用后产生CuCl惰性膜。本发明的系统不仅解决了蚀刻剂的资源损耗的问题而且还解决了金属离子污染的问题,增强了其资源的利用率,极大减少费用的投入。极大减少费用的投入。极大减少费用的投入。


技术研发人员:江波 张琪 石宁 肖慧吉 王雪松 吴静丽 罗思义 郝永杰 孙好芬
受保护的技术使用者:青岛理工大学
技术研发日:2022.10.08
技术公布日:2022/12/30
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