一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法

1.本发明涉及离子束溅射镀膜机领域，具体为一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法。


背景技术：

2.镀膜是在表面镀上非常薄的金属薄膜，目的是希望增强基体的硬度、耐磨性和耐腐蚀性。
3.镀膜机是对产品表面进行自动化镀膜操作的一种机械设备，相较于人工而言，镀膜机操作时间快、工作效率高，离子束溅射镀膜机属于镀膜机的一种，是用于物理学领域的工艺试验仪器。
4.但是，现有的离子束溅射镀膜机在进行使用时将产品放置在设备内部的旋转机架上，但设备内部的旋转支架只能围绕其轴线旋转，产品无法进行转动，导致产品在镀膜时表面原料分布不均匀，影响产品的合格率，且上层产品表面低落的原料容易污染下层产品表面，导致不用层次的产品表面镀层的厚度不一致等；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的现有的离子束溅射镀膜机在进行使用时将产品放置在设备内部的旋转机架上，但设备内部的旋转支架只能围绕其轴线旋转，产品无法进行转动，导致产品在镀膜时表面原料分布不均匀，影响产品的合格率，且上层产品表面低落的原料容易污染下层产品表面，导致不用层次的产品表面镀层的厚度不一致等问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，包括镀膜机镀膜箱，所述镀膜机镀膜箱的前方旋转设置有旋转密封舱门，所述镀膜机镀膜箱的中间设置有立式旋转支撑轴杆，所述立式旋转支撑轴杆的底端插接在镀膜机镀膜箱的底端内部并通过电机驱动，所述立式旋转支撑轴杆的外表面固定设置有旋转支撑杆，所述旋转支撑杆的另一端设置有旋转镀膜机构；
7.所述旋转镀膜机构包括固定外环，所述固定外环与镀膜机镀膜箱的内壁中间固定设置有固定连接杆，所述固定外环的内壁上固定设置有齿轮环，所述齿轮环的内侧设置有旋转内环，所述旋转支撑杆远离立式旋转支撑轴杆的端部与旋转内环的内壁固定连接，所述旋转连接轴的底部外边缘设置有u形卡接槽，所述u形卡接槽的内部卡接有轴承，所述轴承的中间贯穿设置还有旋转连接轴，所述旋转连接轴的顶端外侧设置有旋转齿轮，所述旋转齿轮与齿轮环啮合且其下方设置有悬挂板，所述悬挂板固定在旋转连接轴的外表面且底面镶嵌设置有滚珠；
8.所述旋转连接轴的下方设置有调节悬挂机构，所述调节悬挂机构包括悬挂连接块，所述悬挂连接块固定在旋转连接轴的底端，所述悬挂连接块的外表面设置有四个对称
分布的侧边支杆，所述侧边支杆远离悬挂连接块的端部贯穿滑动设置有调节支杆，所述侧边支杆的内壁上设置有调节卡槽，所述调节支杆位于侧边支杆内部的端部两侧均设置有调节限位块，所述调节限位块的一端卡接在调节卡槽内侧另一端位于调节支杆内部，两个所述调节限位块的中间设置有调节弹簧，所述调节支杆的外端下方设置有旋转转轴，所述旋转转轴的下方设置有挂钩。
9.优选的，所述固定外环的上表面设置有滴落物接受装置，所述滴落物接受装置包括固定块，所述固定块固定在固定外环的上表面且内部设置有升降电机，所述升降电机的端部设置有升降齿轮，所述升降齿轮的一侧设置有和其啮合的螺杆齿轮，所述螺杆齿轮的中间贯穿设置有升降螺杆，所述升降螺杆的顶端外侧设置有方形升降套管，所述方形升降套管的顶端贯穿固定块的上表面且与固定块滑动连接。
10.优选的，所述方形升降套管的顶端固定设置有滴落物收集盆，所述滴落物收集盆的外表面设置有排出管，所述滴落物收集盆的内侧底面且倾斜状态且位于排出管处的边缘处于最低点。
11.优选的，所述方形升降套管的底端设置有插接孔，所述固定块的顶端插接在插接孔中，所述插接孔的内壁上设置有与固定块外表面旋向相同且啮合的螺纹，所述固定块与方形升降套管通过螺纹传动。
12.优选的，所述调节支杆的底面设置有限位滑槽，所述侧边支杆远离悬挂连接块的端部底面贯穿设置有限位插接槽。
13.优选的，所述限位插接槽的下方设置有l形限位板，所述l形限位板的一端从限位插接槽中穿过并插接在限位滑槽内侧，所述l形限位板的另一端贴合侧边支杆的底面并与侧边支杆通过螺钉连接。
14.优选的，所述旋转转轴的上下端与调节支杆和挂钩均旋转活动连接，所述挂钩和旋转转轴均可以围绕旋转转轴的轴线轻易旋转。
15.一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架的使用方法，所述使用方法包括以下步骤：
16.(a)首先工作人员将待进行镀膜处理的产品悬挂在挂钩上，在悬挂产品时需要根据产品的粗度、宽度考虑是否需要将调节支杆从侧边支杆的内部拉出，以改变挂钩与和相邻的挂钩之间的间距，以便产品在镀膜并旋转时不会相互接触，然后将所有的产品悬挂在镀膜机内部，并将旋转密封舱门进行旋转封闭；
17.(b)接通镀膜机电源对产品进行镀膜处理，在镀膜处理时可以通过立式旋转支撑轴杆连接的电机驱动立式旋转支撑轴杆匀速进行旋转，此时立式旋转支撑轴杆会带动旋转支撑杆旋转而使得旋转支撑杆带动旋转内环随着立式旋转支撑轴杆同步进行旋转，由于立式旋转支撑轴杆的启动带动旋转内环围绕立式旋转支撑轴杆的轴线转动会使得原先悬挂且处于静止状态的产品因为旋转内环启动的惯性而出现摆动，此时由于旋转转轴的两端均可以旋转，导致产品会围绕旋转转轴的轴线出现自转；
18.(c)同时旋转内环围绕立式旋转支撑轴杆轴线进行旋转时会带动旋转连接轴围绕立式旋转支撑轴杆的轴线同步旋转，此时旋转连接轴会带动旋转齿轮贴合齿轮环的内壁围绕立式旋转支撑轴杆的轴线同步做圆周运动，由于齿轮环和旋转齿轮相互啮合，此时旋转齿轮会贴合齿轮环的内壁座圆周运动并围绕旋转连接轴的轴线进行旋转，此时旋转连接轴
会带动悬挂连接块和四个侧边支杆同步围绕旋转连接轴的轴线旋转，使得自转中的产品同步围绕立式旋转支撑轴杆的轴线做圆周运动；
19.(d)做圆周运动并进行自转的产品在镀膜时，其表面附着的镀膜原料会进行均匀分布，保证产品表面镀膜后表面膜的各部分厚度一致，保证产质量，在产品镀膜的过程中会有多余的镀膜原料顺着产品的表面向下滑落；
20.(e)从产品表面滑落的镀膜原料会落在位于产品正下方的滴落物收集盆的内部，并在滴落物收集盆的内部进行收集并向排出管方向流动并堆积在排出管处，在对于不同悬挂长度的产品进行镀膜操作时，可以接通升降电机的电源并启动；
21.(f)通过升降电机启动后驱动升降齿轮和螺杆齿轮旋转，使得升降螺杆围绕其轴线进行自转，此时升降螺杆会通过和方形升降套管之间的螺纹传动，使得方形升降套管从固定块的内部进行升起或下降，有效的调节滴落物收集盆与产品底端之间的间距，保证产品上滴落的原料落在滴落物收集盆中不会溅射处滴落物收集盆的上端边缘。
22.优选的，所述滴落物收集盆上端的开口处直径尺寸大于位于其上方被悬挂在挂钩上相互对称的产品之间的最大间距尺寸。
23.优选的，所述滴落物收集盆和其上方的挂钩之间的高度差大于等于带镀膜处理的产品被悬挂后的长度尺寸。
24.与现有技术相比，本发明的使用方法的有益效果是：
25.1、本发明在对产品进行离子溅射镀膜时，可以保证产品在镀膜机的仓内部进行匀速旋转，且旋转那过程中产品会因为旋转时产生的力围绕挂钩的轴线进行自转，保证产品在离子溅射镀膜时表面镀膜均匀，有效的降低次品率并提高产品质量；
26.2、本发明在对产品进行离子溅射镀膜时，产品表面在镀膜时向下滴落的原料可以被进行集中收集，不会污染下层镀膜中的产品，避免位于下层的产品表面镀膜厚度因为上层低落的原料而导致表面镀层厚度增加，且收集的原料可以进行回收利用，避免资源浪费。
附图说明
27.图1为本发明整体的结构示意图；
28.图2为本发明整体的侧视图；
29.图3为本发明整体的局部结构放大图；
30.图4为本发明转镀膜机构的结构示意图；
31.图5为本发明图4中a处的结构放大图；
32.图6为本发明滴落物接受装置的结构示意图；
33.图7为本发明图6中b处的结构放大图；
34.图8为本发明密封连接壳体的结构示意图；
35.图9为本发明图8中c处的结构放大图。
36.图中：1、镀膜机镀膜箱；2、旋转密封舱门；3、立式旋转支撑轴杆；4、旋转镀膜机构；401、固定外环；402、旋转内环；403、旋转连接轴；404、u形卡接槽；405、齿轮环；406、悬挂板；407、旋转齿轮；408、轴承；5、滴落物接受装置；501、滴落物收集盆；502、排出管；503、固定块；504、方形升降套管；505、升降螺杆；506、螺杆齿轮；507、升降齿轮；508、升降电机；6、调节悬挂机构；601、悬挂连接块；602、侧边支杆；603、调节支杆；604、旋转转轴；605、挂钩；
606、限位滑槽；607、l形限位板；608、调节卡槽；609、调节限位块；610、调节弹簧；7、旋转支撑杆；8、固定连接杆。
具体实施方式
37.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
38.本发明所提到的升降电机508(型号为ncv28-400-60c)可从市场采购或私人定制获得。
39.请参阅图1至图9，本发明提供的一种实施例：一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，包括镀膜机镀膜箱1，镀膜机镀膜箱1的前方旋转设置有旋转密封舱门2，镀膜机镀膜箱1的中间设置有立式旋转支撑轴杆3，立式旋转支撑轴杆3的底端插接在镀膜机镀膜箱1的底端内部并通过电机驱动，立式旋转支撑轴杆3的外表面固定设置有旋转支撑杆7，旋转支撑杆7的另一端设置有旋转镀膜机构4；
40.旋转镀膜机构4包括固定外环401，固定外环401与镀膜机镀膜箱1的内壁中间固定设置有固定连接杆8，固定外环401的内壁上固定设置有齿轮环405，齿轮环405的内侧设置有旋转内环402，旋转支撑杆7远离立式旋转支撑轴杆3的端部与旋转内环402的内壁固定连接，旋转连接轴403的底部外边缘设置有u形卡接槽404，u形卡接槽404的内部卡接有轴承408，轴承408的中间贯穿设置还有旋转连接轴403，旋转连接轴403的顶端外侧设置有旋转齿轮407，旋转齿轮407与齿轮环405啮合且其下方设置有悬挂板406，悬挂板406固定在旋转连接轴403的外表面且底面镶嵌设置有滚珠；
41.旋转连接轴403的下方设置有调节悬挂机构6，调节悬挂机构6包括悬挂连接块601，悬挂连接块601固定在旋转连接轴403的底端，悬挂连接块601的外表面设置有四个对称分布的侧边支杆602，侧边支杆602远离悬挂连接块601的端部贯穿滑动设置有调节支杆603，侧边支杆602的内壁上设置有调节卡槽608，调节支杆603位于侧边支杆602内部的端部两侧均设置有调节限位块609，调节限位块609的一端卡接在调节卡槽608内侧另一端位于调节支杆603内部，两个调节限位块609的中间设置有调节弹簧610，调节支杆603的外端下方设置有旋转转轴604，旋转转轴604的下方设置有挂钩605。
42.旋转转轴604的上下端与调节支杆603和挂钩605均旋转活动连接，挂钩605和旋转转轴604均可以围绕旋转转轴604的轴线轻易旋转，保证在悬挂连接块601围绕立式旋转支撑轴杆3的轴线旋转时，挂钩605和位于挂钩605上悬挂的产品可以因为立式旋转支撑轴杆3启动时产生的惯性力而围绕旋转转轴604的轴线旋转，保证悬挂的产品表面原料分布均匀。
43.固定外环401的上表面设置有滴落物接受装置5，滴落物接受装置5包括固定块503，固定块503固定在固定外环401的上表面且内部设置有升降电机508，升降电机508的端部设置有升降齿轮507，升降齿轮507的一侧设置有和其啮合的螺杆齿轮506，螺杆齿轮506的中间贯穿设置有升降螺杆505，升降螺杆505的顶端外侧设置有方形升降套管504，方形升降套管504的顶端贯穿固定块503的上表面且与固定块503滑动连接。
44.方形升降套管504的顶端固定设置有滴落物收集盆501，滴落物收集盆501的外表面设置有排出管502，滴落物收集盆501的内侧底面且倾斜状态且位于排出管502处的边缘处于最低点，方形升降套管504的底端设置有插接孔，固定块503的顶端插接在插接孔中，插
接孔的内壁上设置有与固定块503外表面旋向相同且啮合的螺纹，固定块503与方形升降套管504通过螺纹传动，可以对滴落物收集盆501上方的镀膜中产品表面低落的原料进行收集并储存，可以进行回收以便进行二次利用，避免资源浪费，保证产品外表面滴落在滴落物收集盆501中的原料不会溅射处滴落物收集盆501的外部。
45.调节支杆603的底面设置有限位滑槽606，侧边支杆602远离悬挂连接块601的端部底面贯穿设置有限位插接槽，限位插接槽的下方设置有l形限位板607，l形限位板607的一端从限位插接槽中穿过并插接在限位滑槽606内侧，l形限位板607的另一端贴合侧边支杆602的底面并与侧边支杆602通过螺钉连接，通过l形限位板607可以限制调节支杆603在侧边支杆602中滑动的有效行程，保证调节支杆603不会从侧边支杆602的内部脱离，。
46.一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架的使用方法，使用方法包括以下步骤：
47.(a)首先工作人员将待进行镀膜处理的产品悬挂在挂钩605上，在悬挂产品时需要根据产品的粗度、宽度考虑是否需要将调节支杆603从侧边支杆602的内部拉出，以改变挂钩605与和相邻的挂钩605之间的间距，以便产品在镀膜并旋转时不会相互接触，然后将所有的产品悬挂在镀膜机内部，并将旋转密封舱门2进行旋转封闭；
48.(b)接通镀膜机电源对产品进行镀膜处理，在镀膜处理时可以通过立式旋转支撑轴杆3连接的电机驱动立式旋转支撑轴杆3匀速进行旋转，此时立式旋转支撑轴杆3会带动旋转支撑杆7旋转而使得旋转支撑杆7带动旋转内环402随着立式旋转支撑轴杆3同步进行旋转，由于立式旋转支撑轴杆3的启动带动旋转内环402围绕立式旋转支撑轴杆3的轴线转动会使得原先悬挂且处于静止状态的产品因为旋转内环402启动的惯性而出现摆动，此时由于旋转转轴604的两端均可以旋转，导致产品会围绕旋转转轴604的轴线出现自转；
49.(c)同时旋转内环402围绕立式旋转支撑轴杆3轴线进行旋转时会带动旋转连接轴403围绕立式旋转支撑轴杆3的轴线同步旋转，此时旋转连接轴403会带动旋转齿轮407贴合齿轮环405的内壁围绕立式旋转支撑轴杆3的轴线同步做圆周运动，由于齿轮环405和旋转齿轮407相互啮合，此时旋转齿轮407会贴合齿轮环405的内壁座圆周运动并围绕旋转连接轴403的轴线进行旋转，此时旋转连接轴403会带动悬挂连接块601和四个侧边支杆602同步围绕旋转连接轴403的轴线旋转，使得自转中的产品同步围绕立式旋转支撑轴杆3的轴线做圆周运动；
50.(d)做圆周运动并进行自转的产品在镀膜时，其表面附着的镀膜原料会进行均匀分布，保证产品表面镀膜后表面膜的各部分厚度一致，保证产质量，在产品镀膜的过程中会有多余的镀膜原料顺着产品的表面向下滑落；
51.(e)从产品表面滑落的镀膜原料会落在位于产品正下方的滴落物收集盆501的内部，并在滴落物收集盆501的内部进行收集并向排出管502方向流动并堆积在排出管502处，在对于不同悬挂长度的产品进行镀膜操作时，可以接通升降电机508的电源并启动；
52.(f)通过升降电机508启动后驱动升降齿轮507和螺杆齿轮506旋转，使得升降螺杆505围绕其轴线进行自转，此时升降螺杆505会通过和方形升降套管504之间的螺纹传动，使得方形升降套管504从固定块503的内部进行升起或下降，有效的调节滴落物收集盆501与产品底端之间的间距，保证产品上滴落的原料落在滴落物收集盆501中不会溅射处滴落物收集盆501的上端边缘。
53.滴落物收集盆501上端的开口处直径尺寸大于位于其上方被悬挂在挂钩605上相
互对称的产品之间的最大间距尺寸，滴落物收集盆501和其上方的挂钩605之间的高度差大于等于带镀膜处理的产品被悬挂后的长度尺寸，保证产品可以顺利的进行悬挂，且悬挂后可以正常的进行旋转和镀膜操作，不会受到滴落物收集盆501的影响。
54.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。