技术特征：
1.一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）表面溅射镀钛：取氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面清洗，然后镀钛，得到纳米级钛层的氮化铝覆铝陶瓷基板，镀钛层厚度为50-100nm；2）激光强化：取步骤1中具有纳米级钛层氮化铝覆铝陶瓷基板进行激光强化处理；3）表面处理：取步骤2中处理后的氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面处理。2.根据权利要求1所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：步骤1中，氮化铝覆铝陶瓷基板表面铝层厚度为0.4~0.6mm。3.根据权利要求1所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：步骤1中，表面清洗步骤为：a.配制10~20%氢氧化钠水溶液，取氮化铝覆铝陶瓷基板浸入碱洗3~5min，取出用纯水洗净；b.配制10~20%硝酸水溶液，取步骤a中氮化铝覆铝陶瓷基板浸入酸洗90~100s，取出用纯水洗净，80~120℃下烘干，备用。4.根据权利要求1或3所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：步骤（1）中，镀钛工艺为表面溅射镀钛工艺，工作参数为：功率5kw，ar流量30sccm，溅射基板温度200℃~300℃，频脉冲电流溅射，电流输出方式为正弦波输出，溅射压力0.3pa，溅射时间10min。5.根据权利要求1所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：步骤2，激光强化处理工艺参数为：激光功率8-12kw，扫描速度20~25mm/s，光斑直径0.25~0.5mm。6.根据权利要求1所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：步骤3中，表面处理工艺为：氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面研磨，再进行碱洗处理和酸洗处理。7.根据权利要求6所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于，其表面处理步骤为：s1．步骤2处理后基板进行机械研磨，去除表层杂质；s2．配制20%氢氧化钠水溶液，取步骤s1中氮化铝覆铝陶瓷基板浸入碱洗10-15s，取出用纯水洗净；s3．配制40~50%硝酸水溶液，取步骤s2中氮化铝覆铝陶瓷基板浸入酸洗90~100s，取出用纯水洗净，得到氮化铝覆铝陶瓷基板。8.根据权利要求7所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：所述机械研磨切屑量为5-10μm。9.根据权利要求1所述的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，其特征在于：步骤2中，激光强化后氮化铝覆铝陶瓷基板表面铝重熔凝固，重熔凝固深度80μm；重熔凝固后表面晶粒细化，平均晶粒尺寸为32μm。
技术总结
本发明公开了一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，涉及半导体加工领域，旨在解决氮化铝覆铝陶瓷基板耐热性能不够的问题，其技术方案要点是：一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，包括以下步骤：1）表面溅射镀钛：取氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面清洗，然后镀钛，得到纳米级钛层的氮化铝覆铝陶瓷基板，镀钛层厚度为50-100nm；2）激光强化：取步骤1中具有纳米级钛层氮化铝覆铝陶瓷基板进行激光强化处理；3）表面处理：取步骤2中处理后的氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面处理。本发明的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法能够有效提升基板的耐热循环性能。环性能。环性能。
技术研发人员：王斌 贺贤汉 欧阳鹏 武威 高远 管鹏飞
受保护的技术使用者：江苏富乐华半导体科技股份有限公司
技术研发日：2022.12.14
技术公布日：2023/1/13