一种磁控溅射旋转靶的制作方法

本发明涉及旋转靶，特别涉及一种磁控溅射旋转靶。

背景技术：

1、磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率，磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射

2、目前的旋转靶在使用的时候，其表面的靶材在经过长时间的使用后，需要进行更换，目前在更换步骤中，目前的旋转靶对靶材更换较为麻烦复杂，且更换效率也较低，严重拖延工作周期，其次，需要将旋转靶通电导热，但是目前的旋转靶在通电导热上也较为麻烦，影响工作效率，且靶材再被撞击的时候，其自身会有个向下的重力，从而带来的稳定性较差，会出现靶材掉落的现象。

3、为此，我们提出了一种磁控溅射旋转靶。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种磁控溅射旋转靶，解决了背景技术中旋转靶在使用的时候，其表面的靶材在经过长时间的使用后，需要进行更换，目前在更换步骤中，目前的旋转靶对靶材更换较为麻烦复杂，且更换效率也较低，严重拖延工作周期，其次，需要将旋转靶通电导热，但是目前的旋转靶在通电导热上也较为麻烦，影响工作效率，且靶材再被撞击的时候，其自身会有个向下的重力，从而带来的稳定性较差，会出现靶材掉落现象的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种磁控溅射旋转靶，包括箱体和设置在箱体内部的靶材，箱体的内部还设置有安装机构，安装机构的一侧设置有放置机构，箱体的底部设置有位移机构，箱体的两侧分别设置有导热机构和导电机构；

3、放置机构包括设置在箱体内部的放置板，设置在放置板外表面上的活动块，设置在放置板两侧的导热孔组和导电孔组，以及开设在放置板外表面上的内槽孔，内槽孔的内部设置有底板，底板的上表面开设有沉槽，沉槽的内部设置有顶升组件。

4、进一步地，顶升组件包括设置在沉槽内部的转筒，设置在转筒外表面上的磁套管，设置在磁套管外表面上的锁紧杆，以及设置在转筒一侧的圆弧孔，转筒的内部设置有对接弹簧，对接弹簧的一端设置有连接板，磁套管与连接板磁性连接。

5、进一步地，安装机构包括设置在箱体内部的立筒，设置在立筒上端的锥筒，以及开设在立筒和锥筒外表面上的环槽，环槽的内部设置有升降杆，升降杆的一端设置有磁薄板，活动块的一侧设置有吸附块，活动块的外表面上开设有对接孔，对接孔的内部设置有铁板，活动块通过吸附块与磁薄板相连接。

6、进一步地，锥筒包括设置在锥筒外表面上的顶孔，设置在顶孔内部的对接杆，以及设置在锥筒内部的电源，电源的外表面上设置有支弹簧和导线，电源通过支弹簧与对接杆相连接，对接杆与对接孔的孔径相对应。

7、进一步地，箱体包括设置在箱体上表面的外接槽，设置在箱体外表面上的对应槽，以及设置在对应槽内部的侧槽，侧槽设置有两组，且对立设置，导热机构包括设置在侧槽内部的抽拉板a，贯穿设置在抽拉板a内部的竖杆和保温杆，以及设置在保温杆内部的传热杆，抽拉板a的内部设置有隔板，保温杆的外表面上设置有移动杆。

8、进一步地，抽拉板a的上表面设置有穿孔a，抽拉板a的一侧设置有穿孔b，竖杆放置在穿孔a内部，保温杆放置在穿孔b内部，穿孔a与穿孔b垂直设置，隔板的外表面上设置有滑槽，滑槽的内部设置有磁凸块，隔板的外表面上还开设有导孔，导孔与穿孔a设置在同一垂直平面内，保温杆通过移动杆与滑槽活动连接，移动杆与磁凸块磁性连接。

9、进一步地，导电机构包括设置在侧槽内部的抽拉板b，设置在抽拉板b内部的导电板，以及设置在导电板一侧的导电插杆，抽拉板b的一侧还贯穿设置有加长调节杆，加长调节杆的一端与导电板相连接，传热杆与导热孔组相连接，导电插杆与导电孔组相连接。

10、进一步地，位移机构包括设置在箱体底部的导轨板，设置在导轨板内部的支块，以及设置在支块一侧的电动推杆，电动推杆的一端与箱体内壁相连接，支块的外表面上还设置有维稳杆，维稳杆的一端设置有主接块。

11、进一步地，位移机构还包括设置在主接块一侧的插入杆，设置在插入杆一侧的加强座，以及开设在加强座上表面的嵌槽，嵌槽的内部设置有传动轴，传动轴的一端与设置在加强座内部的电机相连接，加强座的外表面上设置有海绵槽孔，加强座通过海绵槽孔与插入杆相连接。

12、进一步地，海绵槽孔设置有两组，且对立设置，两组的海绵槽孔均与插入杆相连接，且支块的高度大于导轨板槽轨的深度。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、1.本发明提出的一种磁控溅射旋转靶，箱体的内部设置有放置板，放置板的外表面上设置有活动块，放置板的两侧设置有导热孔组和导电孔组，放置板的外表面上设置有内槽孔，内槽孔的内部设置有底板，底板的上表面开设有沉槽，沉槽的内部设置有顶升组件，其中沉槽的内部设置有转筒，转筒的外表面上设置有磁套管，磁套管的外表面上设置有锁紧杆，转筒的一侧设置有圆弧孔，转筒的内部设置有对接弹簧，对接弹簧的一端设置有连接板，磁套管与连接板磁性连接，当靶材放置在放置板上时，将底板从内槽孔中抽出，同时将沉槽中的转筒旋转至与底板垂直方向，再利用磁套管将连接板向上移动，且将对接弹簧的一端与靶材相连接，在连接板向上移动的时候，对接弹簧不断的被挤压，对接弹簧挤压度越大，对接弹簧稳定性越高，提高对靶材放置的稳定性，防止出现靶材掉落的现象。

15、2.本发明提出的一种磁控溅射旋转靶，箱体的内部设置有立筒，立筒的上端设置有锥筒，立筒和锥筒的外表面上设置有环槽，环槽的内部设置有升降杆，升降杆的一端设置有磁薄板，活动块的一侧设置有吸附块，活动块的外表面上开设有对接孔，对接孔的内部设置有铁板，活动块通过吸附块与磁薄板相连接，且锥筒的外表面上设置有顶孔，顶孔的内部设置有对接杆，锥筒的内部设置有电源，电源的外表面上设置有支弹簧和导线，电源通过支弹簧与对接杆相连接，对接杆与对接孔的孔径相对应，在放置放置板时，先将活动块与锥筒上的环槽相连接，为防止滑落，将对接杆通入电流，使其带有磁性，从而使得对接杆与铁板相互吸引，在准备结束后，利用升降杆的回拉，使得放置板慢慢下降，直到与对应槽相对应，同理，当需要更换靶材时，先利用升降杆将放置板移动至锥筒上，再利用对接杆对其进行固定，最后再将靶材进行更换，整个更换步骤较为简单，且易操作，节省工作时间，提高工作效率。

16、3.本发明提出的一种磁控溅射旋转靶，侧槽的内部设置有抽拉板a，抽拉板a的内部设置有竖杆和保温杆，保温杆的内部设置有传热杆，抽拉板a的内部设置有隔板，保温杆的外表面上设置有移动杆，抽拉板a的上表面设置有穿孔a，抽拉板a的一侧设置有穿孔b，竖杆放置在穿孔a内部，保温杆放置在穿孔b内部，穿孔a与穿孔b垂直设置，隔板的外表面上设置有滑槽，滑槽的内部设置有磁凸块，隔板的外表面上还开设有导孔，导孔与穿孔a设置在同一垂直平面内，保温杆通过移动杆与滑槽活动连接，移动杆与磁凸块磁性连接，且侧槽的内部还设置有抽拉板b，抽拉板b的内部设置有导电板，导电板的一侧设置有导电插杆，抽拉板b的一侧还贯穿设置有加长调节杆，加长调节杆的一端与导电板相连接，传热杆与导热孔组相连接，导电插杆与导电孔组相连接，横移保温杆，直到传热杆的一端与导热孔组相连接，再放下竖杆，使得竖杆与传热杆的另一端相接触，再将竖杆的一端与外界热量相连接，利用热传递原理，将热量传递给放置板，再由放置板传递给靶材，同时调节加长调节杆，使得导电插杆与导电孔组相连接，完成靶材的通电，整个导热通电过程较为简单，且导热效率较高，提高整个工作的完整性和高效性。