基于宽光谱监控的镀膜工艺方法与流程

文档序号:33958526发布日期:2023-04-26 16:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述步骤s1的将监控片安装到产品转盘上,包括:

3.根据权利要求2所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述步骤s3包括:

4.根据权利要求3所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述根据所述光谱能量获取多组旋转角度与光谱能量对应的采样光谱数据并绘制圆周光谱曲线,包括:

5.根据权利要求1所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述步骤s6包括:

6.根据权利要求3所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述s5的根据所述角度位置触发光谱仪实时采集监控片的光谱能量数据,依据所述光谱能量数据实时拟合出当前膜层的真实厚度,包括:

7.根据权利要求6所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,采用随机搜索方法并根据所述实时透射率对所述估计物理厚度进行修正获得当前膜层已镀膜的真实物理厚度,包括:

8.根据权利要求7所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述利用所述厚度更新值及所述第一透射率差值和第二透射率差值更新所述估计物理厚度得到真实物理厚度,包括:

9.根据权利要求7所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,还包括:设置随机搜索方法的厚度寻优范围、更新迭代步长及其更新系数、以及最大迭代次数;

10.根据权利要求7所述的基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,其特征在于,所述步骤s5的根据所述真实厚度计算换层判停时间,并触发换层判停逻辑进行换层,包括:


技术总结
本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法,所述方法包括:安装待镀膜的工件及监控片;初始化并加载镀膜工艺;绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置;镀膜工艺程序的自动执行;在镀膜过程中,实时采集监控片的光谱能量数据,拟合出当前膜层的真实厚度;并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑;在换层后,对下一个膜层进行镀膜,直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案,可以准确地定位到换层位置,避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷,可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度,特别是在多层镀膜时,能够显著减少换层误差累积,提升了光学薄膜产品的镀膜质量。

技术研发人员:裴宇辉,冀鸣,刘伟基,郭一鸣,易洪波,秦振江,赵刚
受保护的技术使用者:佛山市博顿光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/11
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