一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具的制作方法

1.本实用新型涉及清洗夹具技术领域，具体为一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具。


背景技术：

2.随着社会经济的快速发展，半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，芯片就是采用半导体制作的器件，是指对半导体上圆形部件进行清洗时所需要使用的装夹工具。
3.半导体设备腔室内等离子体作用在晶圆表面，可以产生蚀刻作用或生成沉积膜。设备使用一段时间后，部件等表面也产生沉积膜层，容易脱落或起皮形成颗粒或碎片，掉落在晶圆表面，造成晶圆沉积膜异常，晶圆报废等重大质量事故。因此，需要定期拆解设备零部件进行更换或清洗再生。半导体设备零部件更换成本高昂，一般采用清洗方式实现部件再生，降低设备维护成本。半导体设备圆形部件清洗再生过程中，一般通过旋转打磨去除部件表面等离子体刻蚀层。然而，不同装置部件尺寸有显著差异，旋转打磨操作要求使用多种专门夹具固定部件。
4.但是，现有的不同装半导体设备圆形部件尺寸有显著差异，旋转打磨操作要求使用多种专门夹具固定部件，导致制造成本增加，更换时间较长，影响工作效率；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具，以解决上述背景技术中提出的现有的不同装半导体设备圆形部件尺寸有显著差异，旋转打磨操作要求使用多种专门夹具固定部件，导致制造成本增加，更换时间较长，影响工作效率等问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具，包括驱动转轴，所述驱动转轴的顶端设置有十字连接块，所述十字连接块的上方设置有旋转打磨平台，所述旋转打磨平台的表面设置有四个对称分布的滑轨槽，所述滑轨槽的中间活动设置有装夹滑块，所述装夹滑块的中间贯穿设置有定位连接孔，所述定位连接孔的中间穿插有紧固螺钉，所述装夹滑块的下方设置有导向滑块，所述导向滑块的中间贯穿设置有安装孔，所述安装孔的中间设置有限制镶件，所述限制镶件的上方设置有六角螺母，所述紧固螺钉的底端从六角螺母的中间穿过，所述六角螺母的两侧均贯穿设置有支撑杆，所述支撑杆的一端外侧套有装夹弹簧。
7.优选的，所述支撑杆的两端均设置有支撑定位块，所述支撑定位块通过螺钉固定在旋转打磨平台的底面。
8.优选的，所述支撑定位块与支撑杆连接的表面设置有插接孔，所述支撑杆的端部
插接在插接孔内侧与支撑定位块连接。
9.优选的，所述安装孔的两侧均设置有导向滑槽，所述导向滑槽的内侧活动设置有导向杆，所述导向杆的顶端端面与装夹滑块的底面固定连接。
10.优选的，所述十字连接块端部与端部中间的最小间距尺寸大于六角螺母的最大宽度尺寸。
11.优选的，所述六角螺母和装夹滑块的材质均为优质聚丙烯，所述六角螺母与装夹滑块通过注塑成型。
12.优选的，所述十字连接块的四个端部表面均设置有螺纹孔，所述滑轨槽与滑轨槽的中间均设置有螺钉孔，所述旋转打磨平台与十字连接块通过螺钉连接。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型通过可以快速的不同尺寸的半导体设备圆形部件进行装夹固定，无需使用多种夹具进行固定，有效的降低制造成本并节省更换夹具时间，有效的提高工作效率，且在装夹过程中不会对被装夹部件造成损坏。
附图说明
15.图1为本实用新型整体的结构示意图；
16.图2为本实用新型六角螺母的结构示意图；
17.图3为本实用新型旋转打磨平台的仰视图；
18.图4为本实用新型装夹弹簧的结构示意图。
19.图中：1、驱动转轴；2、十字连接块；3、旋转打磨平台；4、滑轨槽；5、装夹滑块；6、定位连接孔；7、紧固螺钉；8、六角螺母；9、限制镶件；10、导向滑块；11、导向滑槽；12、导向杆；13、支撑杆；14、装夹弹簧；15、支撑定位块；16、安装孔。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
21.请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具，包括驱动转轴1，驱动转轴1的顶端设置有十字连接块2，十字连接块2的上方设置有旋转打磨平台3，旋转打磨平台3的表面设置有四个对称分布的滑轨槽4，滑轨槽4的中间活动设置有装夹滑块5，装夹滑块5的中间贯穿设置有定位连接孔6，定位连接孔6的中间穿插有紧固螺钉7，装夹滑块5的下方设置有导向滑块10，导向滑块10的中间贯穿设置有安装孔16，安装孔16的中间设置有限制镶件9，限制镶件9的上方设置有六角螺母8，紧固螺钉7的底端从六角螺母8的中间穿过，六角螺母8的两侧均贯穿设置有支撑杆13，支撑杆13的一端外侧套有装夹弹簧14。
22.进一步，支撑杆13的两端均设置有支撑定位块15，支撑定位块15通过螺钉固定在旋转打磨平台3的底面。
23.进一步，支撑定位块15与支撑杆13连接的表面设置有插接孔，支撑杆13的端部插接在插接孔内侧与支撑定位块15连接。
24.进一步，安装孔16的两侧均设置有导向滑槽11，导向滑槽11的内侧活动设置有导向杆12，导向杆12的顶端端面与装夹滑块5的底面固定连接。
25.进一步，十字连接块2端部与端部中间的最小间距尺寸大于六角螺母8的最大宽度尺寸。
26.进一步，六角螺母8和装夹滑块5的材质均为优质聚丙烯，六角螺母8与装夹滑块5通过注塑成型。
27.进一步，十字连接块2的四个端部表面均设置有螺纹孔，滑轨槽4与滑轨槽4的中间均设置有螺钉孔，旋转打磨平台3与十字连接块2通过螺钉连接。
28.工作原理：使用时，首先将装夹滑块5推动使得装夹滑块5在滑轨槽4的内侧向旋转打磨平台3的边缘滑动，此时装夹滑块5带动导向滑块10移动使得导向滑块10在支撑杆13的外侧进行滑行，而滑行中的导向滑块10会对位于支撑杆13一端外侧的装夹弹簧14进行压缩，在四个装夹滑块5相互远离后将待加工的圆形部件放置在旋转打磨平台3的中间位置处，并松开四个装夹滑块5，此时装夹弹簧14弹性复原带动导向滑块10进行复位，使得导向滑块10带动装夹滑块5向位于旋转打磨平台3中间的圆形部件靠近并对圆形部件进行装夹，在四个装夹滑块5对圆形部件装夹完毕后，对位于定位连接孔6内侧的紧固螺钉7进行拧动，使得紧固螺钉7通过六角螺母8之间的螺纹传动，将导向滑块10和装夹滑块5锁紧并使得装夹滑块5与六角螺母8与旋转打磨平台3之间不会出现滑动，可以快速的不同尺寸的半导体设备圆形部件进行装夹固定，无需使用多种夹具进行固定，有效的降低制造成本并节省更换夹具时间，有效的提高工作效率。
29.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。