碳化硅晶片抛光用的制备装置的制作方法

1.本实用新型属于硅晶片抛光相关技术领域，具体涉及碳化硅晶片抛光用的制备装置。


背景技术：

2.碳化硅在大自然也存在罕见的矿物。碳化硅又称碳硅石。在当代c、n、b等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。碳化硅晶片在加工过程中需要经过抛光程序，进而需要抛光设备对其表面进行抛光处理，以保证平整度与光滑度。
3.通过在cn201920990419.4公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，该装置通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。
4.现有的碳化硅晶片抛光制备装置技术存在以下问题：现有的碳化硅晶片抛光制备装置在使用过程中，需要手动将硅晶片摆正后，再由固定装置夹固，容错率较低，影响对硅晶片的加工效率，另外晶片固定结构的接触面积较大，进而在抛光过程中晶片受到相对摩擦而易造成划伤的情况。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供碳化硅晶片抛光用的制备装置，以解决上述背景技术中提出的硅晶片夹固的容错率低、晶片固定结构的接触面积较大易造成划伤的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：碳化硅晶片抛光用的制备装置，包括加工机台以及固定在加工机台顶面两侧的支撑杆，所述支撑杆的顶端固定连接有导轨，所述导轨上滑动设置有电动滑座，所述电动滑座的底面安装有抛光设备，所述加工机台的顶面中心位置固定连接有用于放置晶片的放置盘，所述放置盘的两侧对称设置有两个夹壳，所述加工机台的内侧设置有用于驱使两个夹壳夹固晶片的驱动机构，所述夹壳的两端设置有用于顶紧晶片的顶压组件。
7.优选的，所述驱动机构包括电机，所述电机固定安装在加工机台的一侧，所述电机的输出端固定连接有丝杆，所述丝杆的外壁上设有两段螺纹方向相反的螺纹段，所述丝杆的两端外侧套设有螺纹套，两个所述螺纹套分别与两段螺纹段螺纹连接。
8.优选的，所述夹壳的底面固定连接有限位滑块，所述加工机台的左右两侧上端面开设有滑槽，所述限位滑块与滑槽滑动连接，所述限位滑块的底端与螺纹套固定连接。
9.优选的，所述夹壳呈弧形结构，且内壁上固定连接有软棉垫，所述夹壳的底部内壁上嵌设有球体。
10.优选的，所述顶压组件包括套管，所述套管与夹壳固定连接，所述套管的内侧滑动连接有销钉，所述套管的内壁上固定连接有弹簧，所述弹簧的底端与销钉固定连接。
11.优选的，所述销钉的底端伸出套管并延伸至夹壳的内侧，所述销钉的底端呈半球状结构。
12.与现有碳化硅晶片抛光制备装置技术相比，本实用新型提供了碳化硅晶片抛光用的制备装置，具备以下有益效果：
13.1、本实用新型通过在放置盘的两侧对称设置两个夹壳，而在放置盘的内侧设置驱动机构，在将待加工的硅晶片放置在放置盘上后，可通过电机带动丝杆转动，通过丝杆两端螺纹段与螺纹套的螺纹关系下，同时在滑槽对限位滑块的滑动限位下，进而能够驱使两侧夹壳同步向放置盘方向水平滑动，进而使夹壳夹套在硅晶片的两侧，本实用新型对晶片夹固时的容错率较高，可实现对硅晶片的快速夹固，提高加工效率；
14.2、本实用新型通过在夹壳的两端设置顶压组件，且在夹壳的底部内壁上嵌设有球体，在当两侧夹壳向内侧靠拢时，可由球体将晶片顶起，进而使晶片与放置盘保持一定距离，并使晶片顶起销钉克服弹簧的弹力而与夹壳的内壁接触，进而由销钉向下按压晶片，使晶片夹固在两侧夹壳之间，减少晶片与放置盘以及其他固定结构的接触面积，进而避免在抛光过程中晶片受到相对摩擦造成划伤的情况。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
16.图1为本实用新型提出的碳化硅晶片抛光用的制备装置示意图；
17.图2为本实用新型提出的加工机台正视剖面结构示意图；
18.图3为本实用新型提出的图2中a处放大结构示意图；
19.图4为本实用新型提出的加工机台俯视结构示意图；
20.图中：1、支撑杆；2、加工机台；3、导轨；4、电动滑座；5、抛光设备；6、放置盘；7、夹壳；71、球体；72、软棉垫；8、滑槽；9、驱动机构；91、电机；92、丝杆；93、螺纹套；94、限位滑块；10、顶压组件；101、套管；102、弹簧；103、销钉。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：碳化硅晶片抛光用的制备装置，包括加工机台2以及固定在加工机台2顶面两侧的支撑杆1，支撑杆1的顶端固定连接有导轨3，导轨3上滑动设置有电动滑座4，电动滑座4的底面安装有抛光设备5，加工机台2的顶面中心位置固定连接有用于放置晶片的放置盘6，通过将待加工的硅晶片放置在放置盘6上在固定后可由抛光设备5对硅晶片进行抛光处理，进而保证硅晶片表面的光滑度及平整度。
23.需要说明的是，放置盘6的两侧对称设置有两个夹壳7，夹壳7呈弧形结构，且内壁
上固定连接有软棉垫72，夹壳7的底部内壁上嵌设有球体71，在当两侧夹壳7向内侧靠拢时，可由球体71将晶片顶起，进而使晶片与放置盘6保持一定距离。
24.值得提出的是，加工机台2的内侧设置有用于驱使两个夹壳7夹固晶片的驱动机构9，驱动机构9包括电机91，电机91固定安装在加工机台2的一侧，电机91的输出端固定连接有丝杆92，丝杆92的外壁上设有两段螺纹方向相反的螺纹段，丝杆92的两端外侧套设有螺纹套93，两个螺纹套93分别与两段螺纹段螺纹连接，夹壳7的底面固定连接有限位滑块94，加工机台2的左右两侧上端面开设有滑槽8，限位滑块94与滑槽8滑动连接，限位滑块94的底端与螺纹套93固定连接，丝杆92的一端与加工机台2转动连接，通过电机91带动丝杆92转动，通过丝杆92两端螺纹段与螺纹套93的螺纹关系下，同时在滑槽8对限位滑块94的滑动限位下，进而能够驱使两侧夹壳7同步水平滑动。
25.需要注意的是，夹壳7的两端设置有用于顶紧晶片的顶压组件10，顶压组件10包括套管101，套管101与夹壳7固定连接，套管101的内侧滑动连接有销钉103，套管101的内壁上固定连接有弹簧102，弹簧102的底端与销钉103固定连接，销钉103的底端伸出套管101并延伸至夹壳7的内侧，销钉103的底端呈半球状结构，在当球体71将晶片顶起并使晶片与放置盘6保持一定距离时，晶片可顶起销钉103克服弹簧102的弹力而与夹壳7的内壁接触，进而由销钉103向下按压晶片，使晶片夹固在两侧夹壳7之间。
26.本实用新型的工作原理及使用流程：在使用时，通过将待加工的硅晶片放置在放置盘6上，通过电机91带动丝杆92转动，通过丝杆92两端螺纹段与螺纹套93的螺纹关系下，同时在滑槽8对限位滑块94的滑动限位下，进而能够驱使两侧夹壳7同步向放置盘6的方向水平滑动，进而使夹壳7夹套在硅晶片的两侧；
27.由于夹壳7的底部内壁上嵌设有球体71，在当两侧夹壳7向内侧靠拢时，可由球体71将晶片顶起，进而使晶片与放置盘6保持一定距离，并使晶片顶起销钉103克服弹簧102的弹力而与夹壳7的内壁接触，进而由销钉103向下按压晶片，使晶片夹固在两侧夹壳7之间；
28.然后可由电动滑座4在导轨3上左右滑动调整抛光位置，进而由抛光设备5对硅晶片进行抛光处理，保证硅晶片表面的光滑度及平整度。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。