一种新型石墨舟的制作方法

文档序号:31147708发布日期:2022-08-17 00:29阅读:856来源:国知局
一种新型石墨舟的制作方法

1.本实用新型涉及pecvd双舟镀膜技术领域,尤其涉及一种新型石墨舟。


背景技术:

2.石墨双舟是用于太阳能电池片进行pecvd镀膜时用的载体,它由舟片、隔块、卡点、陶瓷杆、石墨杆等配件组成,硅片放入石墨舟载体,然后送进炉管内,化学气体在硅片表面气相沉积。
3.现有的石墨双舟做镀膜工艺,陶瓷隔块表面容易形成导电膜导电,舟片之间产生电弧跟化学气体反应,导致石墨舟上容易起粉尘无法继续使用。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决了现有的石墨双舟做镀膜工艺,陶瓷隔块表面容易形成导电膜导电,舟片之间产生电弧跟化学气体反应,导致石墨舟上容易起粉尘无法继续使用的缺点,而提出的一种新型石墨舟。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种新型石墨舟,包括石墨舟片,所述石墨舟片的表面开设有石墨卡点孔,且石墨舟片的表面安装有第一陶瓷杆,所述石墨舟片的一侧连接有凸耳,且凸耳的表面连接有第二陶瓷杆,所述凸耳的表面设置有石墨杆,且石墨杆的表面安装有封头陶瓷螺母,所述凸耳的表面设置有石墨隔块,且石墨隔块的底端连接有安装板。
7.作为上述技术方案的进一步描述:
8.所述封头陶瓷螺母设置于凸耳的侧部。
9.作为上述技术方案的进一步描述:
10.所述安装板的底端连接有固定板,且固定板的一侧转动连接有第一转动杆,所述第一转动杆的表面连接有第一限位板,所述固定板的一侧嵌合连接有滑槽,且滑槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的一侧连接有第二限位板,所述固定板的顶端一侧开设有第一通槽,且固定板的顶端另一侧开设有第二通槽,所述固定板的内壁转动连接有第二转动杆,且第二转动杆的表面连接有活动板,所述活动板的顶端一侧连接有第一挤压杆,且活动板的顶端另一侧连接有第二挤压杆,所述活动板的底端一侧连接有弹簧。
11.作为上述技术方案的进一步描述:
12.所述第一挤压杆穿过第一通槽与第一限位板的底端一侧之间相连接,所述第二挤压杆穿过第二通槽与第二限位板的底端一侧之间相连接。
13.作为上述技术方案的进一步描述:
14.所述弹簧与固定板的内部底端之间相连接,且固定板的横截面为“凹”字型。
15.综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
16.1、本实用新型中,通过将石墨舟上的陶瓷隔块,改用陶瓷圈和封头陶瓷螺母,可阻断正负极舟片通电,从而解决了镀膜中粉尘舟的问题。
17.2、本实用新型中,将吊装设备移动到第一限位板与第二限位板之间,通过设备的工作,可使其对第二限位板挤压并使其移动,从而可使第二限位板对第二挤压杆以及活动板进行挤压,可使活动板通过第二转动杆转动从而使其连接的第一挤压杆对第一限位板挤压,可使第一限位板通过第一转动杆转动并移动到设备的表面,从而可通过第一限位板与第二限位板对设备进行限位,防止石墨舟在吊运的过程中出现晃动。
附图说明
18.图1为本实用新型中一种新型石墨舟结构示意图;
19.图2为本实用新型中固定板表面部分结构示意图;
20.图3为本实用新型中固定板内部部分结构示意图;
21.图4为现有的石墨舟表面结构示意图。
22.图例说明:
23.1、石墨舟片;2、石墨卡点孔;3、第一陶瓷杆;4、凸耳;5、第二陶瓷杆;6、石墨杆;7、封头陶瓷螺母;8、石墨隔块;9、安装板;10、固定板;11、第一转动杆;12、第一限位板;13、滑槽;14、滑块;15、第二限位板;16、第一通槽;17、第二通槽;18、第二转动杆;19、活动板;20、第一挤压杆;21、第二挤压杆;22、弹簧。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
25.参照图1-3,一种新型石墨舟,包括石墨舟片1,石墨舟片1的表面开设有石墨卡点孔2,且石墨舟片1的表面安装有第一陶瓷杆3,石墨舟片1的一侧连接有凸耳4,且凸耳4的表面连接有第二陶瓷杆5,凸耳4的表面设置有石墨杆6,且石墨杆6的表面安装有封头陶瓷螺母7,凸耳4的表面设置有石墨隔块8,且石墨隔块8的底端连接有安装板9,如附图4所示,本实用新型是将现有的石墨舟上的陶瓷隔块改用陶瓷圈和封头陶瓷螺母7,阻断正负极舟片通电,解决了镀膜中粉尘舟的问题。
26.进一步的,封头陶瓷螺母7设置于凸耳4的侧部,凸耳4处的第二陶瓷杆5的表面是设置有陶瓷圈的,而石墨杆6的表面是设置有封头陶瓷螺母7的。
27.进一步的,安装板9的底端连接有固定板10,且固定板10的一侧转动连接有第一转动杆11,第一转动杆11的表面连接有第一限位板12,固定板10的一侧嵌合连接有滑槽13,且滑槽13的内部滑动连接有滑块14,滑块14的一侧连接有第二限位板15,固定板10的顶端一侧开设有第一通槽16,且固定板10的顶端另一侧开设有第二通槽17,固定板10的内壁转动连接有第二转动杆18,且第二转动杆18的表面连接有活动板19,活动板19的顶端一侧连接有第一挤压杆20,且活动板19的顶端另一侧连接有第二挤压杆21,活动板19的底端一侧连接有弹簧22,滑块14与滑槽13是便于第二限位板15能够进行限位移动的。
28.进一步的,第一挤压杆20穿过第一通槽16与第一限位板12的底端一侧之间相连接,第二挤压杆21穿过第二通槽17与第二限位板15的底端一侧之间相连接,通过对第二限
位板15进行挤压,可使第二限位板15对第二挤压杆21挤压,从而可使第二挤压杆21底端的活动板19通过第二转动杆18转动,从而可使活动板19上的第一挤压杆20移动,从而可使第一挤压杆20对其顶端的第一限位板12挤压,可使第一限位板12通过第一转动杆11进行移动,从而可将第一限位板12移动到设备的表面,便于通过第一限位板12与第二限位板15对设备进行限位,可防止在对石墨舟吊装的过程中其出现晃动。
29.进一步的,弹簧22与固定板10的内部底端之间相连接,且固定板10的横截面为“凹”字型,弹簧22便于对活动板19、第二挤压杆21以及第二限位板15等进行挤压,滑槽13的长度是有一定限制的,通过弹簧22的挤压,可将第二限位板15连接的滑块14移动到滑槽13的顶端,从而保持第二限位板15与第一限位板12处于水平的状态,防止在正常情况下,第一限位板12与第二限位板15相接触,影响吊装设备移动到第一限位板12与第二限位板15之间。
30.工作原理:使用时,首先将吊装设备上的插板等移动到第一限位板12与第二限位板15之间,通过吊装设备的工作,可使插板等对第二限位板15进行挤压并使其通过滑块14在滑槽13的内部移动,从而可使第二限位板15对第二挤压杆21挤压,使第二挤压杆21通过第二通槽17对其底端的活动板19进行挤压,活动板19可通过第二转动杆18进行转动,从而可使活动板19对其顶端另一侧的第一挤压杆20进行挤压,第一挤压杆20可通过第一通槽16对其顶端的第一限位板12进行挤压,可将第一限位板12移动到插板的表面,从而可通过第一限位板12与第二限位板15对插板等进行限位,便于对石墨舟进行吊运,通过陶瓷圈和封头陶瓷螺母7的作用,可有效的阻断正负极舟片通电,从而解决了镀膜中粉尘舟的问题。
31.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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